JPS6149449U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6149449U JPS6149449U JP13359284U JP13359284U JPS6149449U JP S6149449 U JPS6149449 U JP S6149449U JP 13359284 U JP13359284 U JP 13359284U JP 13359284 U JP13359284 U JP 13359284U JP S6149449 U JPS6149449 U JP S6149449U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- stand
- conductive plate
- plate
- insulating plate
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
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- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案のウエハーステージの実施例の
縦断面図、第２図は従来のウエハーステージの縦
断面図を示す。 １…被測定試料、２…試料台、３…プローブ、
４…結線、５…上部絶縁板、６…支持台、７…被
測定素子、８…下部絶縁板、９…下部導体板、１
０…絶縁体スペーサ、１１…上部導体板、１２…
引出しリード。
縦断面図、第２図は従来のウエハーステージの縦
断面図を示す。 １…被測定試料、２…試料台、３…プローブ、
４…結線、５…上部絶縁板、６…支持台、７…被
測定素子、８…下部絶縁板、９…下部導体板、１
０…絶縁体スペーサ、１１…上部導体板、１２…
引出しリード。
Claims (1)
- 被測定試料１を載置する導電性の試料台２と前
記の試料台の底部に位置する上部絶縁板５と、前
記の上部絶縁板の下部に設けられ、支持台６とは
絶縁物８を介して配置されている下部導体板９と
、前記の下部導体板９と電気的に接続され、かつ
前記試料１の上面及びその周囲をおおう上部導体
板１１とを備えてなることを特徴とする低雑音ウ
エハーステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13359284U JPS6149449U (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13359284U JPS6149449U (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6149449U true JPS6149449U (ja) | 1986-04-03 |
Family
ID=30692133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13359284U Pending JPS6149449U (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6149449U (ja) |
-
1984
- 1984-09-04 JP JP13359284U patent/JPS6149449U/ja active Pending