JPS6154572A - バ−コ−ド読み取り方法 - Google Patents
バ−コ−ド読み取り方法Info
- Publication number
- JPS6154572A JPS6154572A JP17658484A JP17658484A JPS6154572A JP S6154572 A JPS6154572 A JP S6154572A JP 17658484 A JP17658484 A JP 17658484A JP 17658484 A JP17658484 A JP 17658484A JP S6154572 A JPS6154572 A JP S6154572A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dots
- barcode
- bar code
- bar
- spot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K7/00—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
- G06K7/10—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation
- G06K7/10544—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation by scanning of the records by radiation in the optical part of the electromagnetic spectrum
- G06K7/10821—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation by scanning of the records by radiation in the optical part of the electromagnetic spectrum further details of bar or optical code scanning devices
- G06K7/10831—Arrangement of optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はバーコード読み取り方法に関する。
半導体装置やウェハに対して製造または管理上のうえか
らそれらの表面に識別マークを形成しているが、このマ
ークの形成は近年では前処理や乾燥工程が不要なレーザ
ミーキング加工によって行われている。マークの種類と
しては数字やアルファベット等の文字の他にバーコード
があり、これらを形成後所定の認識装置で識別している
。ところで、レーザ光で上記マークを形成する場合、レ
ーザ光をコンピュータ制御されるガルバノメータのよう
な可変光字系により所定のプログラミングに応じてＸお
よびＹ方向にそれぞれ偏向し、これを集光レンズで集束
照射して行っているが、文字やバーコードにしても一つ
のマークは一本の連続した線になって形成されている。
らそれらの表面に識別マークを形成しているが、このマ
ークの形成は近年では前処理や乾燥工程が不要なレーザ
ミーキング加工によって行われている。マークの種類と
しては数字やアルファベット等の文字の他にバーコード
があり、これらを形成後所定の認識装置で識別している
。ところで、レーザ光で上記マークを形成する場合、レ
ーザ光をコンピュータ制御されるガルバノメータのよう
な可変光字系により所定のプログラミングに応じてＸお
よびＹ方向にそれぞれ偏向し、これを集光レンズで集束
照射して行っているが、文字やバーコードにしても一つ
のマークは一本の連続した線になって形成されている。
すなわち、連続発振レーザでなくパルス発掘レーザの場
合では、多数の集束スポットが互いに重り合、りた状態
になっている。このように形成する理由はその認識する
過程にある。たとえばバーコードの場合、一般にＨｅ−
Ｎｅレーザ光を集束スポット光にしてバーコードに直交
する方向に走査してバーコードからの反射光や散乱光を
検知しその光量変化によシ認識している。つまり、連続
した一本の線でなく、不連続では認識用のスポット光が
当らない現象が生じ、認識のための反射光検出ができな
くなるからである。すなわち、従来では認識する側の都
合によシ、熱影響の多い連続的なマークの形成を余儀な
くされていた。
合では、多数の集束スポットが互いに重り合、りた状態
になっている。このように形成する理由はその認識する
過程にある。たとえばバーコードの場合、一般にＨｅ−
Ｎｅレーザ光を集束スポット光にしてバーコードに直交
する方向に走査してバーコードからの反射光や散乱光を
検知しその光量変化によシ認識している。つまり、連続
した一本の線でなく、不連続では認識用のスポット光が
当らない現象が生じ、認識のための反射光検出ができな
くなるからである。すなわち、従来では認識する側の都
合によシ、熱影響の多い連続的なマークの形成を余儀な
くされていた。
本発明は熱影響を小さくしてマークを形成し、しかもそ
のマークを的確に検知し得る方法を提供することを目的
とする。
のマークを的確に検知し得る方法を提供することを目的
とする。
多数のドツトで形成されたバーコードを検出するための
レーザ光を上記バーコードのうちの１バーコードにおけ
る少なくとも二つのドツトにかかる長さをもつ偏平の光
束にしてバーコード上を走査させるようＫしたものであ
る。
レーザ光を上記バーコードのうちの１バーコードにおけ
る少なくとも二つのドツトにかかる長さをもつ偏平の光
束にしてバーコード上を走査させるようＫしたものであ
る。
以下、本発明を実施例を示す図面に基いて説明する。
−ｒなわちｓ１図において（１０ａ）、 （１０ｂ）、
（１０ｃ）、 ・・・はＱスイッチパルス発振ＹＡＧ
レーザ光によってウェハαυ上に形成されたバーコード
で、不連続な多数のドツトｕ２により形成されている。
（１０ｃ）、 ・・・はＱスイッチパルス発振ＹＡＧ
レーザ光によってウェハαυ上に形成されたバーコード
で、不連続な多数のドツトｕ２により形成されている。
−万、αＪは上記バーコードａαを検出する照射装置で
、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器σ力とこの発振器から放出さ
れたレーザ光（Ｌ）を集光する円筒状もしくは半円筒状
のシリンドカルレンズ０９より構成されている。なお（
１６１は光検知器、ｔ１ηはバーコードデコーダ、α樽
は制御プロセッサでどれらと上記照射装置（１３）とで
バーコードリーダシステムを構成している。また、上記
罠おいて、シリンドカルレンズａ９よシ集束されたレー
ザスポットａＩの長さくｔ）と１バーコード、例えばバ
ーコード（１０ａ）のドツトａａ間の間隔（４との関係
はｔ＞１１になり上記スポットＱ’Ｊが２個のドツトα
２にかかる長さになっている。
、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器σ力とこの発振器から放出さ
れたレーザ光（Ｌ）を集光する円筒状もしくは半円筒状
のシリンドカルレンズ０９より構成されている。なお（
１６１は光検知器、ｔ１ηはバーコードデコーダ、α樽
は制御プロセッサでどれらと上記照射装置（１３）とで
バーコードリーダシステムを構成している。また、上記
罠おいて、シリンドカルレンズａ９よシ集束されたレー
ザスポットａＩの長さくｔ）と１バーコード、例えばバ
ーコード（１０ａ）のドツトａａ間の間隔（４との関係
はｔ＞１１になり上記スポットＱ’Ｊが２個のドツトα
２にかかる長さになっている。
バーコード（１０ａ）・・・の検出に当っては、たとえ
ばウェハαυを図中矢印四方向に走査しレーザスポット
ａ９をバーコード（１０ａ）・・・に照射しその散乱光
四を光検知器αｅに入光させる。
ばウェハαυを図中矢印四方向に走査しレーザスポット
ａ９をバーコード（１０ａ）・・・に照射しその散乱光
四を光検知器αｅに入光させる。
検出するレーザ光を偏平な形状に集光しているので、バ
ーコードの間隔を狭くでき、高密度なバーコードでも読
み取ることが可能となる。さらに、ドツトを不連続にし
てバーコードを形成できるので、マーキング時間が短縮
できるだけでなく、ドツト数の少ないだけ熱影響も小さ
くなる効果を得ることができた。
ーコードの間隔を狭くでき、高密度なバーコードでも読
み取ることが可能となる。さらに、ドツトを不連続にし
てバーコードを形成できるので、マーキング時間が短縮
できるだけでなく、ドツト数の少ないだけ熱影響も小さ
くなる効果を得ることができた。
第１図は本発明の一実施例を説明するための模式図、第
２図はレーザスポットとドツト間隔の関係を示す拡大平
面図である。 （１０ａ）、 （１０ｂ）、 （１０ｃ）−Ａ −コ−
）”ａ４・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器 （Ｉ９・・・シリンドカルレンズ 第１図 第２図
２図はレーザスポットとドツト間隔の関係を示す拡大平
面図である。 （１０ａ）、 （１０ｂ）、 （１０ｃ）−Ａ −コ−
）”ａ４・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器 （Ｉ９・・・シリンドカルレンズ 第１図 第２図
Claims (1)
- 被識別物体に刻設された多数のドットにより形成される
バーコードに対しこのバーコードに直交する方向に検出
用のレーザ光を相対的に走査し上記バーコード部分より
の反射光を検知するバーコード読み取り方法において、
上記検出用のレーザ光は１バーコードにおける少なくと
も２以上のドットにかかる長さを有する偏平のスポット
になって上記バーコードに照射されることを特徴とする
バーコード読み取り方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17658484A JPS6154572A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | バ−コ−ド読み取り方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17658484A JPS6154572A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | バ−コ−ド読み取り方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6154572A true JPS6154572A (ja) | 1986-03-18 |
| JPH0158551B2 JPH0158551B2 (ja) | 1989-12-12 |
Family
ID=16016116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17658484A Granted JPS6154572A (ja) | 1984-08-27 | 1984-08-27 | バ−コ−ド読み取り方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6154572A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51135425A (en) * | 1975-05-20 | 1976-11-24 | Nec Corp | Mark reading system |
-
1984
- 1984-08-27 JP JP17658484A patent/JPS6154572A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51135425A (en) * | 1975-05-20 | 1976-11-24 | Nec Corp | Mark reading system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0158551B2 (ja) | 1989-12-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5175425A (en) | Process for marking semiconductor surfaces | |
| KR900002412B1 (ko) | 광학적 정보판독장치 | |
| JPH0196920A (ja) | ウエーハの識別方法 | |
| KR920020700A (ko) | 반도체 칩의 어라이먼트 방법 및 레이저 리페어용 타켓이 형성된 반도체 칩 | |
| JPH11347766A (ja) | レーザドリル装置及びレーザ穴あけ加工方法 | |
| JP2002001561A (ja) | 楕円孔加工方法および楕円孔加工装置 | |
| CA1278392C (en) | Apparatus for and method of positioning and synchronizing a writing laser beam | |
| JP3259695B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
| JPS57183024A (en) | Laser annealing | |
| JPH0158551B2 (ja) | ||
| JP2562423B2 (ja) | バーコードのマーキング方法 | |
| JP2002346775A (ja) | レーザ加工装置及び方法 | |
| JPS5923512A (ja) | 半導体ウエハ−のレ−ザマ−キング方法 | |
| JP2621154B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPH04237589A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPS6224220A (ja) | レ−ザマ−キング装置 | |
| JPS61162738A (ja) | 異物検査方法 | |
| JPH05291104A (ja) | 露光装置 | |
| JPS61254346A (ja) | レ−ザマ−キング装置 | |
| KR0141484B1 (ko) | 화상 읽기 장치 | |
| JPH05104277A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPH0231277Y2 (ja) | ||
| JPS62166477A (ja) | バ−コ−ド読取装置 | |
| JP2001071158A (ja) | レーザマーカ及び印写位置指示装置 | |
| JP2011036881A (ja) | レーザ加工方法 |