JPS6155709A

JPS6155709A - 非接触位置決め装置

Info

Publication number: JPS6155709A
Application number: JP17808084A
Authority: JP
Inventors: Hajime Sudo; 肇須藤
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1984-08-27
Filing date: 1984-08-27
Publication date: 1986-03-20
Anticipated expiration: 2009-03-02
Also published as: JPH0616243B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、物体の位置を広範囲に亙って高苗度に決定で
きるようにした非接触位置決め装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕従来、物体の二次元的または三次元的な位置を比較的精
度良く定める方法の一つとして、滑らかなガイドに載口
されたプレートを請書ボールネジで移動させる方法が知
られている。しかしながら、このように観械的な位置決
めを行なう方法は、部品を極めて高い清度で加工しなけ
ればならず、たとえ部品の５精度な加工が可能であると
しても、ボールネジのいわゆるバックラッシュを完全に
回避することができない。このため、従来のこの梗の位
置決め装置では高い精度で位置決めを行なうことができ
なかった。また、このような装置で三次元的な位置決め
を行なう場合には、空間の持つ自由度の数と同数の６ｆ
１７ａの位置決め装置を併せて用いなければならず、全
体として大型で高師なものになっていた。

そこで、このような欠点を克服し得る位置決め装置とし
て、例えばｕ　５ｐ４０８８０１８号に提案されている
ように、位置決め対象物を非接触で磁気支承し、上記対
象物に印加された磁気力を変化させることによって上記
対象物の位置を決定するようにした非接触位置決め装置
が提案されている。この装置によれば、我械的な誤差を
ほとんど考慮する必要が無いため、極めて７２Ｒ度の位
置決めを行なうことができる。

しかしながら、従来のこの任の位置決め装置は、固定体
の磁極に囲まれた空間内に位置決め対数である浮揚体を
浮揚させるものであるため、浮揚体を、固定体との間の
ギヤツブ分だけしか移動させることができなかった。し
たがって、浮揚体の大きな移動量を確保することは困難
であり、広範囲に亙って高蹟度の位置決めを実現するに
は、前記磁極と前記浮揚体との間の空隙を広く取らなく
てはならず、この結果、磁気支承に必要な剛性および負
荷各位の低下を招くという問題があった。これを防止す
るには、浮揚体に強力な磁気力を供給すれば良いが、こ
の場合には、潤費電力の大櫃な増加や装置全体の大型化
を回避することができない。

〔発明の目的〕

本発明は、かかる問題点に鑑みなされたものであり、そ
の目的とするところは、殿械的な誤差の少ない非接触位
置決め装置にあって、磁気支承の際の削性や負荷各位の
低下を招くことなしに、広範囲に亙って高錆度の位置決
めを行なうことができる非接触位置決め装置を提供する
ことにある。

〔発明の概要〕

まず第１の発明は、浮揚体と、この浮揚体を磁気力で支
承する固定体と、この固定体と前記浮揚体との間の磁気
力を制即して少なくとも上記固定体と上記浮揚体との対
向面でかつ磁気支承のための磁路を形成する面の広がる
方向に上記浮揚体の位置を調整する浮揚体位置調整手段
とを備えたことを特徴としている。

また、第２の発明は、上記のような浮揚体と、固定体と
、位置調整手段とで単位位置決め手段を措成し、前段の
前記浮揚体が後段の前記固定体と一体化される如く前記
単位位置決め手段を多段に設けたことを特徴としている
。

〔発明の効果〕

第１の発明によれば、少なくとも前記固定体と前記浮揚
体との対向面でかつ磁気支承のための［ｕ路を形成する
面の広がる方向、すなわち、磁気ギャソブに対して何笠
影舌を与えない方向に浮ノ、９体の位置を制御するよう
にしている。このため、浮揚体と固定体との間の゛磁気
ギャップを極微小に設定したままで、浮揚体の移動距離
を従来に較べて、大幅に拡大化させることができる。し
たがって、磁気支承の際の剛性や負荷容量の低下を招く
ことなしに、広範囲に亙っで高精度の位置決めを行なう
ことができる。

また、第２の発明によれば、浮揚体、固定体および浮揚
体位置調整手段で単位位置決め手段を構成し、これを多
段に設けるとともに、前段の浮揚体が後段の固定体と一
体化されるように構成しているので、各単位位置決め手
段を４Ｚ成している固定体そのものを移動させることが
可能になる。このため、一つの単位位置決め手段に着目
した場合、その固定体の移動の自由度と浮揚体の移動の
自由度とが加算され、上記浮揚体の自由度や移動距離を
大幅に拡大化させることができる。

〔発明の実施例〕

以下、図面を参照し本発明の一実施例について説明する
。

第１図乃至第４図は、２段の単位位置決め手段を組み合
せて装置を構成した例を示すものであり、この装置は、
大別して位置決め装置本体Ａと、この位置決め装置本体
Ａを制御する制御装置Ｂとでイ苫成されている。

説明を簡単にするために第１図に示した直角座標の各軸
を基準にして説明すると、位置決め装置本体Ａは、Ｘ、
Ｙ軸面と平行するように設けられたベース１と、このベ
ース１に固定された固定体２と、この固定体２に非接触
状態で磁気支承される中間浮揚体３と、さらにこの中間
浮揚体３に非接触状態でｆ１気支承される浮揚体４とで
構成されている。

浮揚体４は、Ｘ、ｚ軸面と平行に設けられており、第２
図に示すように、略正方形の板状体の中央部から図中下
端部にかけて切欠部Ｐを有したコの字板状の浮揚体本体
５と、こ９浮揚体本体５の四隅両面に装着された同一大
きさの磁性板６ａ、　６ｂ。

７ａ、　７ｂ、　８ａ、　８ｂ、　９ａ、　９ｂ　（但
し８ｂは図示せず）と、Ｘ軸と直交する浮揚体本体５の
両側縁中央部の両面に装むされた同一大きざの磁性板１
０ａ　、　１０ｂ　。

１１ａ　、　１１ｂとで構成されている。そして、浮揚
体４には、例えばその上端部中央位置のＨ軸上に、図示
しないアンテナなどの位置決め対象物が装着される。

前記中間浮揚体３は、次のように（か成されている。す
なわち、Ｎ１図中１６は、中間浮揚体本体であり、この
中間浮揚体本体１Ｇは、その横断面が全体的に十字形状
を呈するように、前記浮揚体４を挟んで対向配置された
第１の板状部１７．１８と、この第１の根状部１７．１
８の対向面とは反対側の面から外側に向けて延出する第
２の板状部１９．２０とを直交配置するとともに、第２
図に示すように上記第１の板状部１７．１８を前記浮揚
体４の前記切欠部Ｐを非接触に貫通して設けられた連結
部材２１で一体的に連結したものとなっている。第１の
板状部１７、１８は、Ｘ軸方向の両側縁部の対向面Ｑ１
゜Ｑ２　、Ｑ３　、Ｑ４を、他の対向面に較べて離間さ
せるように、クランク状に屈折させたものとなっている
。そして、これら対向面Ｑ１〜Ｑ４には、前記浮揚体４
に装着された磁性板６ａ、　６ｂ、　７ａ、・・・。

８ｂ、　９ａ、　９ｂと対向する位置に、浮揚体４を磁
気的に支承するとともにＺＩｉ１！１方向の位置調整を
行なうための磁石２６ａ　、　２６ｂ　、　２７ａ　、
　２７ｂ　、　２８ａ　、　２８ｂ　。

２９ａ　、　２９ｂ　　（但し２８ａ　、　２８ｂは図
示せず）が固定されている。また、対向面Ｑ１〜Ｑ４に
は、前記浮揚体４に装着された磁性板１０ａ　、　１０
ｂ　、　１１ａ　。

１１ｂと対向する位置に、浮揚体４のＸ軸方向の位置調
整を行なうための磁石３０ａ　、　３０ｂ　、　３１ａ
　。

３１ｂが固定されている。

前記磁石２６ａ　、　２６ｔ）　、　・、　２９ａ　、
　２９ｂは、第３図に磁石２６ａ　、　２Ｇｂ　、　２
７ａ　、　２７ｂを代表して示すように磁性材で形成さ
れ、その両端磁極面を図中上下（Ｚ軸方向）に位置させ
て浮揚体４に対向配置された口字状の継鉄Ｆと、これら
継鉄Ｆに巻装されたコイルＣとで構成されている。そし
て、各継鉄Ｆは、その上側に位置する磁極面の上端縁と
下側に位置する磁極面の下端縁との間の距離が、これら
継鉄Ｆに対向する前記磁性板の上下端縁間の粗溶より長
くなる寸法に形成されている。一方、前記ｆ１ｉ石３０
ａ　、　３０１＋　、　３１ａ　、　３１ｂは、第４図
に示すように、磁性材で形成され、その両端Ｊｉ　４１
面を図中左右（Ｘ軸方向）に位置させて浮揚体４に対向
配置された口字状の継鉄Ｇと、これら継鉄Ｇに巻装され
たコイルＣとで１苫成されている。そして、各群ａＧは
、その左側に位置する磁極面の左端縁と右側に位置する
磁極面の右端縁との間の粗溶が、これらＩ　ＧＩ　Ｇに
対向する前記磁性板の左右側縁間距離より長くなる寸法
に形成されている。したがって、各ｍ鉄Ｆおよび磁性板
６ａ、　６ｂ、・・・９ａ、　９ｂで形成される磁路と
、各継鉄Ｇおよび磁性板１０ａ。

１０ｂ　、　１１ａ　、　１１ｂで形成される隘路とは
直交している。そして、磁石２１３ａ　、　２６ｂ　、
　・、　２９ａ　、　２９ｂおよび磁石３０ａ　、　３
０ｂ　、　３１ａ　、　３１ｂの各コイルＣの線端はケ
ーブル３２を介して制ｆｉｌ装ＵＢに接続されている。

また、対向ｖｆＪＱｔ　、Ｑ２には、前記磁性板Ｇａ、
　９ａの上端縁部に対向するように、浮揚体４の２＠力
方向置およびギャップ方向位置（Ｙ軸方向位置）を検出
する非接触位置検出器３３ａ。

・３゛３ｂが固定されている。同作に、対向面Ｑ１゜Ｑ
２には、４１９体４の側端部でかつＦＩｔ性板６ａ、　
７ａと磁性板１０ａとの間の部分および磁性板８ａ、　
９ａと磁性板１１ａとの間の部分と対向するように、そ
れぞれ浮揚体４のＸ軸方向位置およびギヤツブ方向像ｆ
ｆ１（Ｙ軸方向位置）を検出する非接触位置検出器３４
ａ　、　３４ｂ　、　３４ｃ　、　３４ｄが設置されて
いる。

しかして、第２の板状部１９．２０のＹ軸方向側縁部両
面には、中間浮揚体３の支承および位置調整に供される
磁性板３５ａ　、　３５ｂ　、　３６ａ　、　３６ｂ　
、　３７ａ　。

３７ｂ　、　３８ａ　、　３８ｂ　　（但し３８ａ　、
　３８ｂは図示せず）が装着されている。また、第２の
板状部１９．２０の上記側縁部でかつＺＩＩ１１方向の
中間位置の両面には、中間浮揚体３のＹ軸方向の位置制
御に供される磁性板３９ａ　、　３９ｂ　、　４０ａ　
、　４０ｂ　　（但し４０ａ　、　４０ｂは図示せず）
が装置されている。

一方、前記固定体２は、次のように構成されている。す
なわち、ベース１の上面に、前記中間浮揚体３の第２の
板状部１９．２０の前記側縁部をそれぞれ挟んで対向す
るように固定体本体４６ａ　、　４６ｂおよび４７ａ　
、　４７ｂを固定されている。この固定体本体４Ｇａ　
、　４６ｂ　、　４７ａ　、　４７ｂ　ハ、全体的ニ２
２長の板状に形成された対向板部　４８ａ　、　４８ｂ
　、　４９ａ　。

４９ｂと、この対向板部４８ａ　、　４８ｂ　、　４９
ａ　、　４９ｂを支持するための支持部５０ａ　、　５
０ｂ　、　５１ａ　、　５１ｂとで（構成されている。

対向板部　４８ａ　、　４８ｂ　、　４９ａ　。

４９ｂの前記中間浮揚体３との対向面Ｒ１、Ｒ２。

Ｒ３，Ｒ＋には、前記中間浮揚体３の磁性板３５ａ。

３５ｂ、・・・、　３８ａ　、　３８ｂと対向する位置
に、中間浮揚体３を磁気的に支承するとともに位置調整
するための磁石５２ａ　、　５２ｂ　、　５３ａ　、　
５３ｂ　、　５４ａ　、　５４ｂ　。

５５ａ　、　５５１）　　（但し５５ａ　、　５５ｂは
図示せず）が固定されている。また、対向面Ｒ１〜Ｒ４
には、前記中間浮揚体３に装置された磁性板　３９ａ　
、　３９ｂ　。

４０ａ　、　４０ｂと対向する位置に、前記中間浮揚体
３のＹ軸方向の位置を制御するための磁石　５６ａ。

５Ｇｂ　、　５７ａ　、　５７ｂ　　（但し５７ａ　、
　５７ｂは図示せず）が固定されている。上記磁石５２
ａ　、　５２ｂ　、・・・。

５５ａ　、　５５ｂおよび上記磁石　５６ａ　、　５６
ｂ　、　５７ａ　。

５７ｂは、それぞれ前述した磁石２ｆ３ａ　、　２６１
）、・・・。

ｔ’ａａ　、　２９１）および磁石３０ａ　、　３０ｂ
　、　３１ａ　、　３１ｂと同様な構成の電磁石であり
、それぞれのコイルＣのｍ端はケーブル３２を介して制
御装置Ｂに接続されている。また、上記対向面Ｒｔ　、
Ｒａには、前記磁性板３５ａ　、　３７ａの上端縁部に
対向するように、中間浮揚体３の２軸方向位匝およびギ
ャップ方向位置（Ｘ軸方向位置）を検出する位置検出器
６１ａ。

６１ｂが設置されている。同様に、対向面Ｒ工。

Ｒ３には、中間浮揚体３の第２の板状部１９．２０の側
端部でかつ磁性板３５ａ　、　３６ａと磁性板３９ａと
の間の部分および磁性板３７ａ　、　３８ａと磁性板４
０ｂとの間の部分と対向するように、それぞれ中間浮揚
体３のＹ軸方向位置およびギヤツブ方向像ｆｆ１（Ｘ軸
方向位置）を検出する位置検出器６２ａ　、　６２ｂ　
。

６２ｃ　、　６２ｃｌが設置されている。

このように構成された非接触位置決め装置は、固定体２
と中間浮Ｊε体３とで第１段の単位位置決め手段を（ｊ
４成し、さらに上記中間浮揚体３と浮１易休４とで第２
段の単位位置決め手段を構成する。

次に、このように構成された本実施例に係る非接触位置
決め装置の作用について説明する。

説明を簡単にするために、ここでは中間浮揚体３側で浮
揚体４の位ｎ制御を行なう場合に付いて説明する。

いま、中間浮揚体３の磁石２Ｇａ　、　２６ｂ　・、　
２９ａ　。

２９１１の各コイルＣに制御装置Ｂから電流を供給する
と、第３図に示すように、中間浮揚体３の継鉄Ｆと、浮
揚体４の磁性板６ａ、　６ｂ・・・、　９ａ、　９ｂと
で形成される磁気回路中に磁束Ｍ１が発生する。この磁
束Ｍ１によって、浮揚体４は、中間浮揚体３に非接触状
態で磁気力支承される。浮揚体４のＹ軸方内位ｎ、すな
わちギヤツブ方向像かは、６つの位Ｕ　検出器３３ａ　
、　３３ｂ　、　３４ａ　〜３４ｄによってモニタされ
る。このモニタ結果は、制御波ＵＳにフィードバックさ
れ、制御波ｆｆ２Ｂは上記モニタ結果に対応して各磁石
のコイルＣの付勢電流を制御する。

このため、浮揚体４は、中間浮揚体３に対して常に安定
に非接触支承される。

しかして、浮揚体４を２軸方向およびＸ軸方向に位［決
めする場合には次のような制御が行われ為。すなわち、
Ｚ＠力方向位置決めを行なう場合を例にとると、まず浮
揚体４のＺ軸方向の中心と第１の板状部１７．１８のＺ
軸方向の中心とを一致させるときには、上記第１の板状
部１７．１８のＺ軸方向の中心を墳にして上側に位置す
る磁石２６ａ。

２（３ｂ　、　２９ａ　、　２９ｂの各コイルＣと、下
側に位置する磁石２７ａ　、　２７ｏ　、　２８ａ　、
　２８ｂの各コイルＣとを均一に付勢する。このように
付勢すると、第３図に示すように上側に位置する磁石で
発生した磁束Ｍｔｌによって磁性板６ａ、　（ｉｂ、　
９ａ、　９ｂに加わるＺ軸方向下向きの磁気的吸引力と
、下側に位置する磁石で発生した磁束Ｍ１２によって磁
性板７ａ、　７ｂ。

８ａ、　８ｂに加わるＺ軸方向上向きの磁気的吸引力と
が釣り合う位置まで浮揚体４が移動して安定する。

前述のにうに、上側に位置する磁性板Ｃ＞ａ、　６ｂ、
　９ａ。

９ｂと下側に位置する磁性板７ａ、　７１）、　８ａ、
　８ｂとは浮揚体４のＺ軸方向の中心を境にして対称的
に設けられており、また磁石２６ａ　、　２Ｇｂ　、　
２９ａ　、　２９ｂと磁石２７ａ　、　２７ｂ　、　２
８ａ　、　２８ｂとは第１の板状部１７゜１８の２軸方
向の中心を現にして対称的に設けられ′ており、さらに
各磁性板の２＠方向の長さは各磁石の継鉄Ｆの２＠方向
の長さより短く形成されている。したがって、浮揚体４
が静止安定する位置は、浮揚体４の２＠方向の中心と第
１の板状部１７゜１８の２＠方向の中心とが一致した位
置となる。このとき、浮揚体４のＸ軸方向の位置は次の
ようになる。すなわち、浮揚体４のＸ軸方向の中心を境
にして両側に設けられている一方側の磁性板Ｇａ。

６ｂ、　７ａ、　７ｂと他方側（７）　Ｉｉｌ性板８ａ
、　８ｂ、　９ａ、　９ｂとは上記中心を境にして対称
的に設けられており、また第１の板状部１７．１８のＸ
！！’Ｉ１１方向の中心を境にして両側に設けられてい
る一方側の磁石２６ａ　、　２６ｂ　。

２７ａ　、　２７ｂと他方側の磁石２８ａ　、　２８ｂ
　、　２９ａ　、　２９ｂとは上記中心を境にして対称
的に設けられている。コノタメ、各磁石２６ａ　、　２
６ｂ−２９ａ　、　２９ｂ　Ｔ：発生した磁束ｆｖｌ　
工によって各磁性板６ａ、　６ｂ・・・９ａ。

９ｂに加わるＸ軸方向の磁気的吸引力は互いに相殺され
る。したがって、浮揚体４のＸ＠力方向位置は、第１の
板状部１７．１８のＸ＠力方向中心を境にして対称的に
設けられた一方側の磁石３０ａ　、　３０ｂで発生する
磁束Ｍ２１と他方側の磁石３１ａ　、　３１ｔ）で発生
ずる磁束Ｍ２２とだけによって決まる。

しかして、浮揚体４をＺ＠力方向、かつ第３図中上方へ
移動させ、ある位置に位置決めする場合には次のような
制御が行われる。すなわち、この場合には、各コイルＣ
に流れる電流を制御して第１の板状部１７．１８の２＠
方向の中心を境にして図中上側に位置する磁石２６ａ　
、　２（３ｂ　、　２９ａ　、　２９ｂで発生する磁束
Ｍｓｔと、下側に位置している磁石２７ａ　、　２７ｂ
、　２８ａ　、　２８１１で発生する磁束Ｍ１２とを、
Ｍｒ　１＜Ｍｔ　２の関係に設定する。このように設定
すると、下側に位置する磁性板７ａ、　７ｂ、　ａａ。

８ｂの上端面に作用する上向きの磁気的吸引力の方が磁
性板６ａ、　Ｇｂ、　９ａ、　りｂの下端面に作用する
下向きの磁気的吸引力より大きくなり、この結果、）♀
携体４は上方へと移動する。そして、浮揚体４は、磁性
板Ｇａ、　Ｇｂ、　りａ、　９ｂの下端面に作用する下
向きの吸引力と磁性板７ａ、　７ｂ、　８ａ、　８ｂの
上端面に作用する上向きの吸引力とがバランスする位置
に停止する。同様に、Ｍｘｔ＞Ｍｔｚの関係に設定する
ことによって浮揚体４を第３図中下方に移動させること
ができる。したがって、各位置検出器３３ａ。

３３ｂで浮揚体４の位置をモニタしながらｍ束〜１１工
および磁束Ｍ１２を制御することにより浮揚体４のＸ軸
方向の位置を高粒度に位置決めすることができる。また
、同（コ１の制御を磁石　３０ａ。

３０ｂ　、　３１ａ　、　３１ｂについても行なうこと
によって、浮揚体４のＸ軸方向の位置を高精度に位置決
めすることができる。

このように、中間浮揚体３と浮揚体４との間では、各磁
石２６ａ　、、　２６ｂ　、−、３１ａ　、　３１ｂの
磁気力の大小を組合わせることによって、浮揚体４のＸ
軸方向およびＸ軸方向の単独および並進運動、あるいは
β方向の回転運動を実現することができる。

そして、この場合、各磁石２Ｇａ　、　２Ｇｂ　、−、
３１ａ　。

３１１）と、各磁性板６ａ、　Ｇｂ、　・、　Ｉｌａ　
、　１１ｂとの間を極微小間隙に設定した状態で上述し
た位置制御を行なうことができるので、浮揚体４を、高
い磁気剛性の下で安定に磁気支承させることができる。

一方、固定体２と中間浮揚体３との間でも、各磁石５２
ａ　、　５２１）　、　−、５７ａ　、　５７ｂの磁気
力の大小を相合わせることによって、中間浮揚体３をＹ
軸方向およびＸ軸方向への単独および並進運動、あるい
はα方向への回転運動を行なわせることができる。そし
て、この場合にも、やはり高い磁気剛性の下での安定支
承が可能である。したがって、固定体２に対する中間浮
揚体３の（多動制御と、中間浮揚体３に対する浮揚体４
の移動制御とを組合わせることによって、全体としては
浮揚体４のＸ帖、Ｙ軸、Ｚ！￥Ｉ１１方向ならびにα、
βの各方向への８動制御が、高い磁気剛性の下で可能化
できる。

なお、固定体２、中間浮揚体３および浮揚体４の間の磁
気ギャップの許す範囲内においてγ方向への回転動作が
可能であることは言うまでもない。

このように、本実施例によれば、高い磁気剛性および高
い負荷容量を維持したままで、位置決め対象物を３次元
的に極めて広い範囲に亙って移動させ位置決めすること
ができる。しかも、この４％合、中間浮揚体３および浮
揚体４は、非接触位置検出器３３ａ　、　３３ｂ　、　
３４ａ　〜３４ｄ　、　６１ａ　、　６１ｂ　。

６２ａ−Ｇ２ｄで常時モニタされ、制御装置Ｂで帰還制
御されているので、位置決め装置としての精度および分
解能は、非接触位置検出器の精度および分解能によって
決定される。通常、この種の位置検出器の精度は、ボー
ルネジなどの様械的なものに勝るので、結局、高い位置
決め精度を確保することができる。

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
い。例えば、浮揚体４に溝道的な剛性がさらに要求され
る場合には、第５図に示すように、浮揚体４の中央部や
中間浮揚体３の第１および第２の板状部１７〜２０の接
続部に図中上下に延びる厚肉部７１．７２を設け、また
、連結部材２１を厚肉構造にすることによって、必要な
剛性を確保すればよい。また、この場合、必要に応じて
肉逃げを行なうようにすれば、製作上の困難性を伴うこ
ともない。

また、第６図に示すように、浮揚体４の上端部に中空円
筒部８１を形成し、この中空円筒部８１の内面にコイル
８２を装むするとともに、上記コイル８２の装着された
中空円筒上部８１の内部に非接触状態で磁性材製の円柱
体８３を装管すれば、浮揚体４に対する円柱体８３の２
＠方向への動きを加算することができ、ざらにｖｃｆｆ
ｉ全体の自由度を高めることが可能である。

また、各磁石を永久磁石単体または、永久磁石とｆｆｌ
磁石との組合わせで（構成するようにしてもよい。また
、上述した実施例では、中間浮揚体３の第１の板状部１
７．１８と、第２の板状部１９．２０とを直角に連結し
ているが、所望する駆動方向に応じて任意の角度に設定
できることは言うまでもない。

さらには１、特に多段に組合わせずとも、少なくとも固
定体と浮揚体との対向面でかつ磁気支承のための磁路を
形成する面の広がる方向に前記浮揚体の位置を制御する
ようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明の一実施例に係る非接触位置
決め装置を示す図であり、第１図は同装置の全体構成を
示す斜視図、第２図は同装置を一部切欠した斜視図、第
３図は同装置を第１図にお（ブる矢印Ｅの向きから見た
側面図、第４図は同装置を第１図におけるＤ−Ｄ線に沿
って切断し矢印の向きに見た断面図、第５図および第６
図はそれぞれ他の実施例に係る非接触位置決め装置の一
部切欠斜祝図である。Ａ・・・位置決め装２本体、Ｂ・・・制ｍ装口、１・・
・ベース、２・・・固定体、３・・・中間浮拐体、４・
・・浮揚体、５・・・浮揚体本体、６ａ、　ｅｂ、　７
ａ、γｂ、　８ａ、　８ｂ、　９ａ。９ｂ−Ｐｉ磁性板１０ａ　、　１０ｂ　、　１１ａ　、
　１１ｂ　・・・磁性板、１６−・・中間浮揚体本体、
２Ｇａ　、　２Ｇｂ　、　２７ａ　、　２７ｂ　。２８ａ　、　２８ｂ　、　２９ａ　、　２９ｂ　・・・
磁石、３０ａ　、　３０ｂ　。３１ａ　、　３１ｂ−ＰＪ石、３３ａ　、　３３ｂ　、
　３４ａ　〜３４ｄ　−・・非接触位置検出器、３５ａ
　、　３５ｂ　、　３６ａ　、　３６ｂ　、　３７ａ　
。３７ｂ　、　３８ａ　、　３８ｂ−磁性板、３９ａ　、
　３９ｂ　、　４０ａ　。４０ｂ−Ｅｆｉ性磁性５２ａ　、　５２ｂ　、　５３ａ
　、　５３ｂ　、　５４ａ　。５４ｂ　、　５５ａ　、　５５ｂ−・・磁石、５６ａ　
、　５６ｂ　、　５７ａ　。５７ｂ・・・磁石、６１ａ　、　６１ｂ　、　６２ａ　
〜６２ｄ　−・・非接触位置検出器、７１．７２・・・
厚肉部、８１・・・中空円筒部、８２・・・コイル、８
３・・・円筒体、Ｆ、Ｇ・・・継鉄、Ｃ・・・コイル。第２図ＨＭ　４　図第５図第　６　図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）浮揚体と、この浮揚体を磁気力で非接触支承する
固定体と、この固定体と前記浮揚体との間の磁気力を制
御して少なくとも上記固定体と上記浮揚体との対向面で
かつ磁気支承のための磁路を形成する面の広がる方向に
上記浮揚体の位置を調整する浮揚体位置調整手段とを具
備してなることを特徴とする非接触位置決め装置。
（２）前記浮揚体位置調整手段は、前記浮揚体を前記固
定体に対して二次元的に移動させるものであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の非接触位置決め装
置。
（３）前記浮揚体は磁性部材を一部に備え、前記固定体
は前記磁性部材と非接触に嵌合する位置に上記磁性部材
中に磁束を発生させる支承磁石を配置したものであり、
かつ前記浮揚体位置調整手段は前記固定体の前記磁性部
材と非接触に嵌合する位置に固定され上記磁性部材中に
発生させた磁束数を選択的に変化させる駆動磁石を備え
たものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の非接触位置決め装置。
（４）前記支承磁石は、前記駆動磁石と兼用されてなる
ものであることを特徴とする特許請求の範囲第３項記載
の非接触位置決め装置。
（５）浮揚体と、この浮揚体を磁気力で非接触支承する
固定体と、この固定体と前記浮揚体との間の磁気力を制
御して少なくとも上記固定体と上記浮揚体との対向面で
かつ磁気支承のための磁路を形成する面の広がる方向に
上記浮揚体の位置を調整する浮揚体位置調整手段とで単
位位置決め手段を構成し、前段の前記浮揚体が後段の前
記固定体と一体化される如く前記単位位置決め手段を多
段に設けてなることを特徴とする非接触位置決め装置。
（６）前記浮揚体位置調整手段は、前記浮揚体を前記固
定体に対して二次元的に移動させるものであることを特
徴とする特許請求の範囲第５項記載の非接触位置決め装
置。
（７）前記浮揚体は磁性部材を一部に備え、前記固定体
は前記磁製部材と非接触に嵌合する位置に上記磁性部材
中に磁束を発生させる支承磁石を配置したものであり、
かつ前記浮揚体位置調整手段は前記固定体の前記磁性部
材と非接触に嵌合する位置に固定され上記磁性部材中に
発生させた磁束数を選択的に変化させる駆動磁石を備え
たものであることを特徴とする特許請求の範囲第５項記
載の非接触位置決め装置。
（８）前記支承磁石は、前記駆動磁石と兼用されてなる
ものであることを特徴とする特許請求の範囲第７項記載
の非接触位置決め装置。