JPS615588A - 気体レ−ザ装置 - Google Patents
気体レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS615588A JPS615588A JP12530184A JP12530184A JPS615588A JP S615588 A JPS615588 A JP S615588A JP 12530184 A JP12530184 A JP 12530184A JP 12530184 A JP12530184 A JP 12530184A JP S615588 A JPS615588 A JP S615588A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- anode
- gas
- gas flow
- auxiliary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
- H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
- H01S3/09716—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation by ionising radiation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明は大出力ガスレーザ、就中大出力ＣＯ。
レーザの励起できる気体レニザ装置★こ関する。
２軸直行形ＣＯ，レーザの代表例を第５図に構□造
□の立体図を示す。
□の立体図を示す。
多数のピン状陰極１７をレーザガスの流れ２に沿って配
置し、ガスの流れの下流に流れにほぼ直交し棒状陽極１
８を設ける。陰極１７と陽極１８との間に図示しない電
源（直流またはパルス）。
置し、ガスの流れの下流に流れにほぼ直交し棒状陽極１
８を設ける。陰極１７と陽極１８との間に図示しない電
源（直流またはパルス）。
辰電安定化インピーダンス（抵抗または容量）を接続し
、空間８に励起されたレーザガスを生成する。この励起
されたレーザガスを挟み共振用ミラー９を設け、流れに
ほぼ直交したレーザビーム出力を得る。
、空間８に励起されたレーザガスを生成する。この励起
されたレーザガスを挟み共振用ミラー９を設け、流れに
ほぼ直交したレーザビーム出力を得る。
この形の欠点はビーム出力を数ＫＷ以上の装置ではピン
状陰極を数百ないし千木程度設ける必要があり製作の作
業性が悪いこと。保等９点検に時間を要する欠点がある
ピン状陰極の取出部１９が流体抵抗となりガス循環用ブ
ロアを大形化にしなければならなかった。また、放電電
極間が離れているために、放電起動時の電源４の開放電
圧を高くする必要がある。このような従来例は、製作性
が悪く、シかも装置の小形化が困難であった。さらに、
この他の従来例では円形断面を用いた陰極をガス流番こ
′はぼ直交して配置した方式が知られている。憾えば米
国特許Ｋ ３，７７２．６１０号ｌこ示されている。し
かしこのような装置では大きな放電電力を投人員ようと
すると５陰極表面積が不足しアークに郡内し易い欠点が
あった。
状陰極を数百ないし千木程度設ける必要があり製作の作
業性が悪いこと。保等９点検に時間を要する欠点がある
ピン状陰極の取出部１９が流体抵抗となりガス循環用ブ
ロアを大形化にしなければならなかった。また、放電電
極間が離れているために、放電起動時の電源４の開放電
圧を高くする必要がある。このような従来例は、製作性
が悪く、シかも装置の小形化が困難であった。さらに、
この他の従来例では円形断面を用いた陰極をガス流番こ
′はぼ直交して配置した方式が知られている。憾えば米
国特許Ｋ ３，７７２．６１０号ｌこ示されている。し
かしこのような装置では大きな放電電力を投人員ようと
すると５陰極表面積が不足しアークに郡内し易い欠点が
あった。
本発明は陰極構造を変え構造を簡素化し、流体抵抗を低
くし装置を小形化し、しかも起動電極を設け、電源の開
放電圧を低くすることのできる大出力用に適した気体レ
ーザ装置を提供することを目的とする。
くし装置を小形化し、しかも起動電極を設け、電源の開
放電圧を低くすることのできる大出力用に適した気体レ
ーザ装置を提供することを目的とする。
本発明は、ガスの流れにほぼ直交する棒状陰極を配しそ
の棒状陰極の軸に垂直な断面がガスの流れに沿って長く
伸びた扁平断面であるものを用いたもので、陰極の表面
積を減らすことなく、流体抵抗を減らし、さらにこの扁
平面に対向して陰極に平行に補助陽極あるいは起動動電
極を設は主陽極と陰極との放電開始電圧を低下させるこ
とを可・能とした気体レーザ装置である。
の棒状陰極の軸に垂直な断面がガスの流れに沿って長く
伸びた扁平断面であるものを用いたもので、陰極の表面
積を減らすことなく、流体抵抗を減らし、さらにこの扁
平面に対向して陰極に平行に補助陽極あるいは起動動電
極を設は主陽極と陰極との放電開始電圧を低下させるこ
とを可・能とした気体レーザ装置である。
また、流れに垂直な断面が中空扁平陰極の補助＠極ｌこ
対向する部分ｔこ円孔または補助陽極にほぼ平行なスリ
ット状孔を設け、中空部分にホロー陰極放電を起すこと
により陰極面の実効電流密度が大きく取れるようにした
気体レーザ装置である。
対向する部分ｔこ円孔または補助陽極にほぼ平行なスリ
ット状孔を設け、中空部分にホロー陰極放電を起すこと
により陰極面の実効電流密度が大きく取れるようにした
気体レーザ装置である。
本発明によれば、陰極の構造が単純で流体抵抗が低いの
で、レーザ発振装置が小形化出来、しかも保守の作業性
が良くなる。また、補助陽極を用いているので、陰極上
場極間の放電開始電圧が小さくなり電源も小形ｆじ出来
る。
で、レーザ発振装置が小形化出来、しかも保守の作業性
が良くなる。また、補助陽極を用いているので、陰極上
場極間の放電開始電圧が小さくなり電源も小形ｆじ出来
る。
本発明の一実施例を断面構成図を第１図に示す。
本実施例は陰極を１つ用いた場合の構造である。
陰極１の断面は流れ（こ沿って長く伸び、この陰極は紙
面に垂直ｌこ十分な長さを持っている。陽極 （３
は本実施例では２個に分割されている。電源４の陽極側
ｔζバラスト抵抗５，５を介して陽極３に接続されてい
る。陽極３の一内部に冷却媒体りを流せる円管部分と、
その流れの後部にフィン状のブロックＢが設けである。
面に垂直ｌこ十分な長さを持っている。陽極 （３
は本実施例では２個に分割されている。電源４の陽極側
ｔζバラスト抵抗５，５を介して陽極３に接続されてい
る。陽極３の一内部に冷却媒体りを流せる円管部分と、
その流れの後部にフィン状のブロックＢが設けである。
電源４の陽極側に制限抵抗６を介し補助陽極７が接続さ
れている。この補助陽極７は陰極１の扁平断面側に長手
方向に陰極１とほぼ平行に設けられている。
れている。この補助陽極７は陰極１の扁平断面側に長手
方向に陰極１とほぼ平行に設けられている。
このような構造にしておくと、グロー放電は陰極１、と
補助陽極７との間に起る。ここで生じた荷電粒子の一部
は、ガス流（矢印２）に乗って陽極３に達するので陰極
ｌと陽極３との間の主グロー放電は補助陽極７が設、け
られていない場合に比較して低い電圧で始動する。また
陰極１と補助陽極７との間のグロー放電により陰極面全
面にほぼ一様なグローが生じ、一つの陰極に流す電流量
が大きくとれる。このためガスの励起領域８に大きな放
−電電力が安定に投入出来るので装置の小形化が可能と
なった。なお、レーザビームはミラー９゜９で反射され
出力される。
補助陽極７との間に起る。ここで生じた荷電粒子の一部
は、ガス流（矢印２）に乗って陽極３に達するので陰極
ｌと陽極３との間の主グロー放電は補助陽極７が設、け
られていない場合に比較して低い電圧で始動する。また
陰極１と補助陽極７との間のグロー放電により陰極面全
面にほぼ一様なグローが生じ、一つの陰極に流す電流量
が大きくとれる。このためガスの励起領域８に大きな放
−電電力が安定に投入出来るので装置の小形化が可能と
なった。なお、レーザビームはミラー９゜９で反射され
出力される。
第２図および第３図は第１図に示した陰極部の変形例で
、第１図に示した陰極ｆは中実であるが。
、第１図に示した陰極ｆは中実であるが。
これは扁平中空導体を用いたもので、中空扁平断面の陰
極１０の側面に孔１１が設けられている。
極１０の側面に孔１１が設けられている。
また第３図に示すように扁平中空導体１２に側面の孔１
３と補助陽＠！、７側に垂直な方向に長さを有するスリ
ット孔１４を設けである。このような構造では中空扁平
陰極の内部１５にホロー陰極放電が生じ、安定なグロー
放電電流を大きく、取れ、装置の小形比が可能となった
。
３と補助陽＠！、７側に垂直な方向に長さを有するスリ
ット孔１４を設けである。このような構造では中空扁平
陰極の内部１５にホロー陰極放電が生じ、安定なグロー
放電電流を大きく、取れ、装置の小形比が可能となった
。
また、孔１１．１３は複数個設ける代りにスリットｌこ
して設けて、も作用は変らない。
して設けて、も作用は変らない。
第４図は本発明の他の実施例で、流れ２に坦り □
て長い扁平断面を有する陰極１を複数個（図では
□２個）設けである。この陰極に対しバラスト抵抗１６
が陰極と電源の陰極側とに挿入されている。
て長い扁平断面を有する陰極１を複数個（図では
□２個）設けである。この陰極に対しバラスト抵抗１６
が陰極と電源の陰極側とに挿入されている。
陰極１は第２図および第３図で示したホロー陰極を用い
ても作用効果は変らない。
ても作用効果は変らない。
Claims (2)
- （１）レーザガスの上流側に陰極と、下流側に主陽極を
設け、この間に高圧直流電圧を印加し、ガスの流れとほ
ぼ平行なグロー放電を生成する、ガス循環型横方向励起
ガスレーザにおいて陰極をガス流にほぼ直交して配置さ
れガスの流れに沿って長く伸びた扁平断面を有する棒、
あるいは扁平断面を有する中空筒を少なくとも一個以上
設け、この偏平陰極の偏平面に対向し、この陰極にほぼ
平行な棒状電極を配置し、該棒状電極を補助陽極とする
気体レーザ装置。 - （２）中空扁平陰極の補助陽極に対向する部分に円孔ま
たはスリット状孔を設けた特許請求の範囲第１項記載の
気体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12530184A JPS615588A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 気体レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12530184A JPS615588A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 気体レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS615588A true JPS615588A (ja) | 1986-01-11 |
Family
ID=14906694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12530184A Pending JPS615588A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 気体レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS615588A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62261184A (ja) * | 1986-05-08 | 1987-11-13 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ励起装置 |
-
1984
- 1984-06-20 JP JP12530184A patent/JPS615588A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62261184A (ja) * | 1986-05-08 | 1987-11-13 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ励起装置 |
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