JPS6157919A

JPS6157919A - 顕微鏡ステ−ジの駆動装置

Info

Publication number: JPS6157919A
Application number: JP14409885A
Authority: JP
Inventors: ホルスト・ブルツフ; ユルゲン・タツペルト; トーマス・ドレスラー; ハインツ・メーデル
Original assignee: VEB Carl Zeiss Jena GmbH; Carl Zeiss Jena GmbH
Current assignee: Jenoptik AG; Carl Zeiss Jena GmbH
Priority date: 1984-07-02
Filing date: 1985-07-02
Publication date: 1986-03-25
Also published as: DE3514431A1; DD226091A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】発明の目的産業上の利用分野本発明は顕微鏡試料片を光軸に対して直角に少なくとも
一方方向へ変位させるための顕微鏡ステージ用駆動手段
に関する。

史米立扱先二つの駆動手段を用いて対象物を光軸に対して　　　　
　゛相対的に且つ互いに直角な二つの方向に変位させる
ような幾つかの顕微鏡用ステージが公知である。

これらの駆動手段は個別的にも、または成る共通軸の上
に共軸的も配置することができる。

ドイツ実用新案第７７３５０４１号公報には変位させる
べき構成部材のための駆動手段が記述されており、ここ
ではその駆動作用はラックとピニオンとの組合せによっ
て行なわれている。

またドイツ特許出願公開第３０３７７４１号公報には上
記駆動作用のための摩擦伝動装置が開示されている。こ
の駆動手段の配匝揚所はその顕微鏡の構造の型および駆
動手段とその変位されるべきステージとの間の結合ポジ
ションによって左右される。非常に特殊な入射光線顕微
鏡は別としても、顕微鏡の機能としてはこの連結位置を
ステージの中心から遠くに配置することが要求される。

発明が解決しようとする問題点各スレッジが中央のポジションにあるときにこれらスレ
ッジのためのラックまたは摩擦伝動装置はその被動端に
対して対称的に配置しなければならない、これはそのス
レッジがＸ軸方向に少なくともその一端部においてステ
ージを超えて突出し、これが操作部材を自由に手で操作
するのに障害となると言う欠点を示す、その上にラック
／ビニオン駆動装置の場合にはその駆動の精度が歯車の
バックラッシュの最小であることに依存する。このバン
クラッシュは対象物を非常に大きな倍率の対物レンズの
下に置かなければならないときには不確実な位置合わせ
を招来する。

ステージ駆動系の配置場所は一般にその駆動されるべき
各スレッジへの直接の結合によって決定される。

例えば前記のドイツ特許公開第３０３７７４１号公報に
記述されているように、Ｘ軸方向変位のために小型のス
レッジがステージに操作者から離れた方の側に設けられ
ているときには駆動用カプリングもそこに設けられるこ
とになり得る。しかしながらこれはその駆動装置が他の
顕微鏡操作駆動装置、例えば対物レンズ焦点合わせ用の
精密駆動装置等に関して人間工学的に最適に配置されて
いないと言う欠点を含む。

発明の構成問題点を解決するための手段本発明の目的の一つは上述の欠点を除くことである。

本発明のもう一つの目的は対象物の正確な位置決めを許
容するような顕微鏡ステージ用の駆動機構を提供するこ
とである。

本発明の更に別な目的は、操作用部材を各スレッジの位
置に実質的に無関係にステージの上またはステージの近
傍に配置することを許容するような顕微鏡ステージ用の
駆動機構を提供することである。

本発明よれば、相互に対し、およびその光軸に対して直
角に変位させることのできる二つのスレッジとこれらの
スレッジを変位させるための幾つかの駆動部材とを含み
、その際各波動部材が共軸的に設けられているような顕
微鏡ステージ用の駆動装置が提供される。各゛被動部材
とそれぞれのスレッジとの間の力の伝達は幾つかの転向
案内ローラを介して延びる牽引手段によって達成される
。

有利にはこれら牽引手段は緊張ばねを挿入するが、また
は可動の案内ローラを設けることによって緊張させてお
くのがよい。

それらの緊張手段を各牽引手段のスレッジへの連結位置
のところに設けるのが有利である６土五本発明に従えば、牽引手段のＸ軸方向用スレッジに関し
ての連結位置はこのＸ軸方向用スレッジのＸ＠方向長さ
の中央に配置される。これによってスレッジの寸法を、
このスレッジがステージ領域を超えて著しく突出するこ
とが避けられる限界内に治めることが許容される。

二つのスレッジのうちの一方をラック／ピニオン駆動装
置によって、そしてもう一方のスレッジ。

好ましくはＸ軸方向用スレッジを牽引手段によって駆動
することが可能である。好ましくはこの牽引手段はケー
ブルであるのがよい。

実施例本発明をより容易に理解できるようにするために以下、
本発明に従う装置を例示する二つの具体例を図式的に説
明する添付の図面の参照のもとに本発明を更に詳細に説
明する。

第１図には顕微鏡ステージを逆向きに、すなわち裏側か
ら見たところを示しである。この顕微鏡のステージの変
位不可能なプラントホーム４は図示され−ていない顕微
鏡に固定されており、そしてその各側方部において案内
トラック８．８′と作動的に結合されている。これら案
内トランク８および８′はスレッジ３に固定されており
、このスレッジは上記トラック８および８′を介して上
記プラントホーム４に対して図にあげた画先矢印ｙで示
すｙ軸方向へ変位することができる。このｙ軸方向は操
作者から離れる方向および操作者へ向かう方向への運動
方向である。プラットホーム４および各案内トラック８
および８′は駆動手段の展望を妨げるので、これらはこ
こでは透明であると仮定し、すなわちこれらは図におい
て点線で示しである。

スレッジ３の上にローラ１″および１′′を有する共軸
的操作つまみ１が設けられている。牽引手段としてのケ
ーブル９および９′がそれぞれローラ１および１′を巡
って延びている。ケーブル９′はローラ２′を迂回して
おり、そして連結手段７′によってプラットホーム４と
結合されている。緊張ばね６′がケーブル９′に適当な
張力を与える役目をする。ケーブル９はローラ２および
２ｏニよって案内され、そしてローラ２１　を迂回して
おり、これらのローラは全てスレッジ３に固定されてい
て図の面に対して直角の各平行な軸（図示されていない
）を有している。ケーブル９は連結部材７を介してスレ
ッジ５に結合されており、このスレッジは一方において
このスレッジの縁部５′の近傍でこれに平行なスレッジ
３の部分に設けられた案内トラックを介し、そしてもう
一方において案内トラック１２を介して変位可能に設け
られており、上記案内トランク１２はまたその各末端位
置によって両案内トラック８および８′に固定されてい
る。緊張ばね６．はケーブル９に一定の緊張力を与える
。スレッジ３にはテンションブロック１０が固定されて
おり、これはテンションローラ１１　を有し、このロー
ラは前記ケーブル９のためのローラ２１に対して狭い間
隔でケーブル９との間に配置されており、それによって
このケーブルには追加的な緊張が加えられる。このテン
ションブロック１０はスロットｌＯ″を備え、この中に
植込みピン１０’　が突出してそれによりこのテンショ
ンブロック１０はスロット１０″内で制限されてケーブ
ル９の張力およびこのテンションブロックｌＯに対して
このブロックのテンションローラ１１　と反対側の端部
に作用するばね１５によってもたらされた対向張力とに
抗して変位することができる。

テンションブロック１０はまた固定ねじ（図示されてい
ない）によって特定の位置で調節することも可能である
。

操作に際しては、（大きい方の）操作っまみ１を回した
ときにローラ１′はケーブル９′を動がし、従ってこれ
はカプリング部材７′を動かす。

プラットホーム４は変位不可能であるのでステージ３（
ステージ５と共に）は画先矢印ｙで示す方向の一方へ回
転的な作用で動かされる。

（小さい方の）操作っまみ１を回したときにはローラ１
″がケーブル９を動がし、これがカプリング部材７を介
してスレッジ５を両案内トラック１２および５′の中で
図の画先矢印Ｘで示す方向の一方へ動かす、このＸ方向
用スレッジ５をその長手方向延長筒１１Ｍ（ｘ軸方向）
の中央で結合したことによってスレッジの長さを比較的
短く構成することが可能となり、それによってその変位
した両末端位置においてこのスレッジ５はｙ軸方向用ス
レッジ３からほんの僅がしか突出しない、これによって
若しさもないときはこの顕微鏡の他の操作用部材を自由
に操作するのに妨げとなるようなことがなくなる。

経験に依れば約２０　ｃ■までの突出は操作者にとって
障害或いは煩瑣にはならないことを示している。

正確で滑りのない駆動を得るために、各ケーブル９およ
び９′はそれぞれ緊張ばね６および６′によって緊張さ
れる。テンションブロック１０がテンションローラ１１
　を介してケーブル９に張力を加えるもう一つの可能性
を提供する０両方の緊張手段を同時に用いることも可能
である。更にまた、スレッジ３および５の動きの感度を
ローラ１′および１″の直径の適切な選択によって調節
することができる。もう一つの具体例においてはケーブ
ル９はスレッジ５に固定されている二つの端部を有して
いる。ケーブル９のためのスレッジ５の上に更に追加的
な転向案内ローラが設けられていてそれによってこの装
置は巻き上げ機に似た作動を行ない、これが非常に高感
度の動きを許容する。

第２および第３図について、これらの図においても対応
する構成部分には第１図のものと同じ参照数字が用いら
れている。

第２図においてはスレッジ５をｘｌｉｌｆ１方向に動か
すためのケーブル９を見易くするために第１図の案内ト
ラック８は図示していない、スレッジ３のｙ軸方向運動
をもたらす変位作用力はラック／ピニオンの組合せ工３
、Ｉ４によってもたらされる。

スレッジ５のためのケーブル駆動手段がスレッジ３の陥
凹部内を通っていることが示されている。

テンションブロック１０はケーブル９にテンションロー
ラ１１　を介して緊張を加えるように配置されている。

第３図においては第１図に示したと同様な顕微鏡用ステ
ージが二つの操作つまみ１をスレッジ３の各向い合った
アームの上に配置している具体例が示されている。見易
くするために第３図の具体例の典型的な部分だけが示さ
れており、その他の構成部材は実際には必要であるけれ
ども省略しである。第３図に示す具体例は、従来の変位
手段が許容するものに較べて本発明にしたがう牽引手段
が操作つまみ（両方）１を変位させるためのより大きい
変化の可能性を示し、と言うのはその牽引手段へのスレ
ッジ５の連結位置（７）に無関係に操作つまみ１を配置
することができるからである。

操作つまみ１および（転向）ローラ２をこのように配置
することによってステージを左側から。

および／または右側から操作する糊塗が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従う駆動装置を服務顕微鏡用ステージ
の裏側から見た平面図を示し、第２図はｙ方向の変位の
ためにラック／ピニオン駆動手段を用いた場合の第１図
に対応する部分の図式側面図を示し、そして第３図は本
発明の更に別な態様のものを図式平面図で示す。１・・・操作つまみ１′、１″、２．２″、＋１．２０．２１・・・ローラ
３．５・・・スレッジ４・・・プラットホーム６．６′・・・緊張ばね７．７″・・・結合手段８．８′、１２　・・・案内トラック９．９′・・・牽引手段１０　・・・テンションブロック１０’　　・・・植込みピン　１０″　・・・スロット
１３．１４　　・・・ラック／ピニオン組合せ手段１５
　　・・・ばね手続ネ１１１］ヨ且１（自発）昭和６０年８月２０１１

Claims

【特許請求の範囲】

（１）顕微鏡のステージの第１および第２のスレッジを
第１の面内で相互に対し、またこの顕微鏡の光軸に対し
て直角にｘ、ｙ方向へ変位させるための顕微鏡ステージ
駆動装置において、上記第１面に実質的に平行に上記顕微鏡に変位不可能に
固定されたプラットホームと、上記プラットホームの側方の平行なエッジ部を介してス
ライド可能にこのプラットホームに結合された二つの案
内トラックと、但し上記第１スレッジは上記案内トラックに固定されて
いて且つｙ方向への移動のために上記第１面に対して狭
い間隔で第２の面内に配置されており、上記第２スレッジは一方において上記第１スレッジの上
記二つの案内トラックに対して直角な第１案内部を介し
て上記第１スレッジに、そして他方において上記第１案
内部に平行で上記二つの案内トラックの各対応する端部
に固定された第２の案内部にスライド可能に連結されて
おり、上記第２スレッジはｘ方向への移動に用いられ、上記第１および第２のスレッジを変位させるための、上
記第１スレッジに固定された変位用手段と、第１の運動伝達手段と、第１のカプリング手段と、少なくとも第１の案内ローラと、但し上記第１案内ローラは上記第１スレッジの上に設け
られており、第２の運動伝達手段と、および第２のカプリング手段とを包含し、但し上記第１カプリング手段は上記第１運動伝達手段を
上記変位不可能なプラットホームに連結し、上記第２カプリング手段は上記第２運動伝達手段を上記
第２スレッジに連結し、上記変位用手段は上記第１および第２のスレッジをそれ
ぞれ上記第１および第２の運動伝達手段を介して個別に
作動させることよりなる、上記顕微鏡ステージ駆動装置
。
（２）上記変位用手段が共軸的駆動装置である、特許請
求の範囲第１項記載の顕微鏡ステージ駆動装置。
（３）上記第１および第２の運動伝達手段がケーブルで
ある、特許請求の範囲第２項記載の顕微鏡ステージ駆動
装置。
（４）各ケーブルが無端ベルトの型のものであり、そし
てこれらケーブルに緊張手段が設けられている、特許請
求の範囲第３項記載の顕微鏡ステージ駆動装置。
（５）少なくとも１本のケーブルを緊張させるために第
１スレッジの上にテンションブロックが設けられている
、特許請求の範囲第４項記載の顕微鏡ステージ駆動装置
。
（６）第２スレッジが静止ポジションにあるときに、第
２カプリング手段が第２スレッジの動かされるｘ方向の
中央に位置している、特許請求の範囲第５項記載の顕微
鏡ステージ駆動装置。
（７）上記変位用手段が、上記第１スレッジの各対向す
る第１コーナー位置に回転可能に配置された二つの駆動
用部材よりなり、そして上記第１スレッジの上記第１コ
ーナー位置と向い合った第２コーナー位置に二つのロー
ラが配置されており、また上記二つのローラに隣り合っ
て更に二つのローラが設けられており、その際上記二つ
のローラおよび上記更に二つのローラが上記ケーブルの
少なくとも一部を実質的に上記第１案内部の近傍におい
てこれに平行に案内するに適している、特許請求の範囲
第１項記載の顕微鏡ステージ駆動装置。
（８）上記二つのローラおよび上記更に二つのローラが
それぞれ上記光軸に実質的に平行な回転軸を有している
、特許請求の範囲第７項記載の顕微鏡ステージ駆動装置
。
（９）上記第１運動伝達手段がラックであって、上記第
１カプリング手段がピニオンであり、その際上記ラック
はその一方の端部が上記第２スレッジに固定されている
、特許請求の範囲第１項記載の顕微鏡ステージ駆動装置
。
（１０）上記第１ローラがｙ軸方向に見て上記第１スレ
ッジの遠方側端の上に上記共軸的駆動装置と向い合って
配置されており、そして上記第１運動伝達手段が上記共
軸的駆動装置および上記第１ローラと作動的に結合され
ている、特許請求の範囲第２項記載の顕微鏡ステージ駆
動装置。
（１１）第２のローラが少なくとも上記第１ローラの近
傍に配置されており、また第３のローラがｘ方向に見て
上記第２ローラと反対側に設けられていて、上記第２運
動伝達手段が上記共軸的駆動装置を上記第２ローラを介
して上記第３ローラと作動的に結合しており、そして上
記第２カプリング手段が上記第２運動伝達手段を上記第
２ローラおよび第３ローラの実質的に中間のところで上
記第２スレッジと結合している、特許請求の範囲第１０
項記載の顕微鏡ステージ駆動装置。