JPS6159860B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6159860B2 JPS6159860B2 JP55108502A JP10850280A JPS6159860B2 JP S6159860 B2 JPS6159860 B2 JP S6159860B2 JP 55108502 A JP55108502 A JP 55108502A JP 10850280 A JP10850280 A JP 10850280A JP S6159860 B2 JPS6159860 B2 JP S6159860B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- thermal displacement
- sensor
- control device
- numerical control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form
- G05B19/182—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by the machine tool function, e.g. thread cutting, cam making, tool direction control
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は工作機械の熱変位補正に係り、特に主
軸方向の伸びを補正する機能を備えた数値制御装
置に関する。
軸方向の伸びを補正する機能を備えた数値制御装
置に関する。
工作機械の熱変位については種々の対策が提案
されている。特にマシニングセンタにおいては三
次元構造である点からしてもその熱変位の問題に
対する各種の対策が積極的に行われている。これ
らの対策案をまとめてみると、 例えば、 (イ) 発熱そのものを減少させる方法 (ロ) 熱交換による熱の除去 (ハ) ウオーミングアツプの実施 (ニ) 熱対称構造の採用 (ホ) 熱変位補正装置の採用 (ヘ) 雰囲気コントロール（例えばシヤワによる） などの各種方法があり上記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)は多
く
採用されて来ているが(ホ)についてはほとんど実施
されていないのが現状である。
されている。特にマシニングセンタにおいては三
次元構造である点からしてもその熱変位の問題に
対する各種の対策が積極的に行われている。これ
らの対策案をまとめてみると、 例えば、 (イ) 発熱そのものを減少させる方法 (ロ) 熱交換による熱の除去 (ハ) ウオーミングアツプの実施 (ニ) 熱対称構造の採用 (ホ) 熱変位補正装置の採用 (ヘ) 雰囲気コントロール（例えばシヤワによる） などの各種方法があり上記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)は多
く
採用されて来ているが(ホ)についてはほとんど実施
されていないのが現状である。
このことは(イ)〜(ニ)の対策によりＸ−Ｙ座標方向
の変位は少くなつてきたがＺ軸即ち主軸々方向の
伸びについては一般に精度がＸ、Ｙ軸方向に比べ
それほど必要ではないという事情もあつたと思わ
れる。
の変位は少くなつてきたがＺ軸即ち主軸々方向の
伸びについては一般に精度がＸ、Ｙ軸方向に比べ
それほど必要ではないという事情もあつたと思わ
れる。
しかしこのＺ軸方向における加工精度について
も次第に要求される精度は高まりつゝあり、更に
は無人化等への対応からも対策の必要が迫られて
いる。
も次第に要求される精度は高まりつゝあり、更に
は無人化等への対応からも対策の必要が迫られて
いる。
本発明はＺ軸方向の熱変位は機械を構成する構
成部材の温度勾配に起因するものとして、Ｚ軸方
向における最大発熱部である主軸頭ノーズ部の温
度と比較的温度変化の少ない他の部分の温度との
温度差と主軸頭ノーズ部の熱変位との関係式を求
め、測定した温度差に従つて熱変位を補正しよう
とするものである。
成部材の温度勾配に起因するものとして、Ｚ軸方
向における最大発熱部である主軸頭ノーズ部の温
度と比較的温度変化の少ない他の部分の温度との
温度差と主軸頭ノーズ部の熱変位との関係式を求
め、測定した温度差に従つて熱変位を補正しよう
とするものである。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は横型マシニングセンタMTの側面概観
図であり、同図１１はコラムベツドで同ベツド１
１上にはコラム１２がＺ方向に摺動可能に載置さ
れている。又コラムベツド１１の左方端はサドル
１３、テーブル１４の搭載されているベツド１１
Ａが設けられている。
図であり、同図１１はコラムベツドで同ベツド１
１上にはコラム１２がＺ方向に摺動可能に載置さ
れている。又コラムベツド１１の左方端はサドル
１３、テーブル１４の搭載されているベツド１１
Ａが設けられている。
１５はコラム１２内に収納されＹ方向に移動さ
れる主軸頭先端部を構成する主軸頭ノーズであつ
てその内部には主軸軸受部を内蔵している。尚１
６は自動工具交換に用いられる工具マガジンであ
る。
れる主軸頭先端部を構成する主軸頭ノーズであつ
てその内部には主軸軸受部を内蔵している。尚１
６は自動工具交換に用いられる工具マガジンであ
る。
主軸頭ノーズ１５にはセンサ位置Ｓ１において
温度検出用のセンサｔ１が取付けられており又も
う１つのセンサｔ２がコラムベツド１１の右端近
傍のセンサ位置Ｓ１に取付けられている。センサ
位置Ｓ２の位置としてはこのマシニングセンタ
MTの機体温度が比較的安定しており稼動中も
ほゞ一定に保たれる位置であることが好ましい。
従つてセンサ位置Ｓ１とＳ２のＺ方向間隔はこの
場合直接意味をもつているわけではない。
温度検出用のセンサｔ１が取付けられており又も
う１つのセンサｔ２がコラムベツド１１の右端近
傍のセンサ位置Ｓ１に取付けられている。センサ
位置Ｓ２の位置としてはこのマシニングセンタ
MTの機体温度が比較的安定しており稼動中も
ほゞ一定に保たれる位置であることが好ましい。
従つてセンサ位置Ｓ１とＳ２のＺ方向間隔はこの
場合直接意味をもつているわけではない。
第２図は温度上昇テストの一例を示すデータを
グラフ化して示すものであり横軸は主軸回転数
（rpm）及び同回転数の保持される経過時間をと
り、縦軸には温度（℃）をとり、センサ位置Ｓ
１，Ｓ２での温度変化およびセンサの種類として
ICセンサ、アルコール温度計による温度の推移
を示す。
グラフ化して示すものであり横軸は主軸回転数
（rpm）及び同回転数の保持される経過時間をと
り、縦軸には温度（℃）をとり、センサ位置Ｓ
１，Ｓ２での温度変化およびセンサの種類として
ICセンサ、アルコール温度計による温度の推移
を示す。
第３図イ，ロは主軸を3150rpmで3.5時間駆動
した場合の時間経過に対するＺ軸方向の変位（同
図イ）および温度変化（同図ロ）を示す。
した場合の時間経過に対するＺ軸方向の変位（同
図イ）および温度変化（同図ロ）を示す。
同図イにおいてはテストバー先端の変位と主軸
端面の変位およびコラム、コラムベツド間の変位
をそれぞれ示す。
端面の変位およびコラム、コラムベツド間の変位
をそれぞれ示す。
同図ロには主軸頭ノーズに内蔵されている主軸
軸受部（センサ位置Ｓ１）でのICセンサとアル
コール温度計による温度変化およびコラムベツド
位置（センサ位置Ｓ２）におけるICセンサによ
る温度変化と室温の変化を示す。
軸受部（センサ位置Ｓ１）でのICセンサとアル
コール温度計による温度変化およびコラムベツド
位置（センサ位置Ｓ２）におけるICセンサによ
る温度変化と室温の変化を示す。
第４図はそれぞれICセンサ、アルコール温度
計による主軸端面の熱変位の推移を示すグラフで
あつてその横軸座標にはセンサ位置Ｓ１，Ｓ２に
おける温度差Δｔ＝t1−t2をとつてある。各セン
サによるグラフは主軸を3150rpmで駆動し、3.5
時間でほゞ熱的平衡状態に達したあと主軸回転を
停止せしめた場合に対応しており、矢印で示すよ
うに点Ｐ１，Ｐ２まで変位の増大するグラフ部分
は主軸駆動中に対応している。
計による主軸端面の熱変位の推移を示すグラフで
あつてその横軸座標にはセンサ位置Ｓ１，Ｓ２に
おける温度差Δｔ＝t1−t2をとつてある。各セン
サによるグラフは主軸を3150rpmで駆動し、3.5
時間でほゞ熱的平衡状態に達したあと主軸回転を
停止せしめた場合に対応しており、矢印で示すよ
うに点Ｐ１，Ｐ２まで変位の増大するグラフ部分
は主軸駆動中に対応している。
図の如くヒステリシスがあるのはコラムやベツ
ド等の機械部材の熱的な慣性の存在によるもので
ある。
ド等の機械部材の熱的な慣性の存在によるもので
ある。
同図の直線Ｌは上述の各グラフ曲線を代表させ
るため実験データに基づいて得た温度（差）Δｔ
に関する１つの近似的直線であつてその実験式と
して以下の如く構成される。
るため実験データに基づいて得た温度（差）Δｔ
に関する１つの近似的直線であつてその実験式と
して以下の如く構成される。
ZCOMP＝ＺＴＭＰＡ／１００・（t1−t2）・２４／１０００＋ZTMPB −(1)
ここに
ZCOMP；Ｚ軸方向熱変位補正量（ミクロン）
ｔ１；主軸頭ノーズ部温度（ICセンサ温度）
ｔ２；コラムベツド温度（ICセンサ温度）
ZTMPA；シスステムパラメータ
０≦ZTMPA≦999
ZTMPB；システムパラメータ
−200≦ZTMPB≦200
上記式(1)の定数ZTMPA、ZTMPBを実験デー
タによつて定めると、 ZCOMP６３８／１００（t1−t2）−26 (2) となる。
タによつて定めると、 ZCOMP６３８／１００（t1−t2）−26 (2) となる。
第５図は第１図に示される本実施例において各
センサによつて検出された温度信号が数値制御装
置CNCへ入力される回路構成を示しており、同
図で１０１，１０２は温度センサであつてセンサ
位置Ｓ１，Ｓ２に取付けられた同センサ１０１，
ｔ１，１０２，ｔ２の各検知温度ｔ１，ｔ２は電
気信号に変換され増幅器１０３，１０４へ与えら
れる。
センサによつて検出された温度信号が数値制御装
置CNCへ入力される回路構成を示しており、同
図で１０１，１０２は温度センサであつてセンサ
位置Ｓ１，Ｓ２に取付けられた同センサ１０１，
ｔ１，１０２，ｔ２の各検知温度ｔ１，ｔ２は電
気信号に変換され増幅器１０３，１０４へ与えら
れる。
１０５はセレクタであつてセンサ１０１，１０
２を数値制御装置CNCにとり込むため増幅器１
０３，１０４を順次切換える。
２を数値制御装置CNCにとり込むため増幅器１
０３，１０４を順次切換える。
１０６はアナログデイジタル変換器（Ａ／Ｄ変
換器）１０７Ａは同Ａ／Ｄ変換器１０６の出力を
２進数で表わしこれを保持するバツフアユニツト
である。
換器）１０７Ａは同Ａ／Ｄ変換器１０６の出力を
２進数で表わしこれを保持するバツフアユニツト
である。
１０７はｉ／Ｏユニツトで前記バツフアユニツ
ト１０７Ａをその中に含み又セレクタ１０５への
切換指令が同１０７からセレクタ１０５へ与えら
れている。１０８は数値制御装置CNCの演算処
理装置CPU、又１０９，１１０はそれぞれデー
タメモリ、プログラムメモリである。
ト１０７Ａをその中に含み又セレクタ１０５への
切換指令が同１０７からセレクタ１０５へ与えら
れている。１０８は数値制御装置CNCの演算処
理装置CPU、又１０９，１１０はそれぞれデー
タメモリ、プログラムメモリである。
第６図はＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動指令が与えら
れる場合同移動量に対し熱変位補正量を関与せし
めるプロセスを示すフローチヤートであつて第５
図のプログラムメモリ（Ｐ・Ｍ）１１０の一部で
ある。
れる場合同移動量に対し熱変位補正量を関与せし
めるプロセスを示すフローチヤートであつて第５
図のプログラムメモリ（Ｐ・Ｍ）１１０の一部で
ある。
同図においてプログラムステツプSTj−２は次
のサンプリング時間での各軸サーボ指令値（今Ｚ
軸のみを考えるとΔＺに相当する）を計算する。
次いでSTj−１においてピツチ誤差補正処理が行
われSTj−２での演算結果ΔＺに対しΔZPが加え
られる。次いで熱変位補正用のプログラムステツ
プSTjに移り先ずSTj１でセンサｔ１での検出温
度ｔ１をデータメモリ１０９にとり込み、次いで
STj２でセンサｔ２での検出温度ｔ２をとり込
む。次にSTj３でその差Δｔ＝t1−t2を計算す
る。
のサンプリング時間での各軸サーボ指令値（今Ｚ
軸のみを考えるとΔＺに相当する）を計算する。
次いでSTj−１においてピツチ誤差補正処理が行
われSTj−２での演算結果ΔＺに対しΔZPが加え
られる。次いで熱変位補正用のプログラムステツ
プSTjに移り先ずSTj１でセンサｔ１での検出温
度ｔ１をデータメモリ１０９にとり込み、次いで
STj２でセンサｔ２での検出温度ｔ２をとり込
む。次にSTj３でその差Δｔ＝t1−t2を計算す
る。
次にSTj４において
ZCOMP＝ＺＣＯＭＰ／１００×（t1−t2）×２４／１０００＋ZTMPB
が計算される。ここにZTMPA、ZTMPBはデー
タメモリ１０９内に予じめストアされている。
タメモリ１０９内に予じめストアされている。
STj５では
ΔZCOMP（ｎ）＝ZCOMP（ｎ）−ZCOMP（ｎ−１）
として前回（ｎ−１）の補正量算出値と今回
（ｎ）のそれとの差ΔZCOMP（ｎ）が計算され
る。
（ｎ）のそれとの差ΔZCOMP（ｎ）が計算され
る。
次にSTj６においてSTj５の出力ΔZCOMP
（ｎ）がSTj−１での出力 ΔＺ＋ΔZP に加えられ、 ΔＺ＝ΔＺ＋ΔZP＋ΔZCOMP となる。
（ｎ）がSTj−１での出力 ΔＺ＋ΔZP に加えられ、 ΔＺ＝ΔＺ＋ΔZP＋ΔZCOMP となる。
STj＋１はバツクラツシユ補正処理であつてＺ
軸駆動系のバツクラツシユ補正量ΔZBがTj６の
出力ΔＺに対し賦与されたのちサーボ系に与えら
れるようになつている。
軸駆動系のバツクラツシユ補正量ΔZBがTj６の
出力ΔＺに対し賦与されたのちサーボ系に与えら
れるようになつている。
尚STj１〜STj６のステツプはピツチエラー補
正処理STj−１よりも手前で遂行されるようにし
てもよいが必ずバツクラツシユ補正処理STj＋１
の前になければならないことは当然である。
正処理STj−１よりも手前で遂行されるようにし
てもよいが必ずバツクラツシユ補正処理STj＋１
の前になければならないことは当然である。
第７図イ，ロ，ハはパートプログラムのＺ軸方
向移動指令内容（シーケンス番号N001、N002）
に対するＺ軸移動Ｚ＝1000、Ｆ＝100とセンサｔ
１，ｔ２の温度差および補正のなされるタイミン
グを示す。各信号の横軸はＺ軸方向座標値を示
す。
向移動指令内容（シーケンス番号N001、N002）
に対するＺ軸移動Ｚ＝1000、Ｆ＝100とセンサｔ
１，ｔ２の温度差および補正のなされるタイミン
グを示す。各信号の横軸はＺ軸方向座標値を示
す。
第７図では補正の動作が実際におこなわれるの
はそれぞれプログラムブロツクごとに行われる例
を示した。
はそれぞれプログラムブロツクごとに行われる例
を示した。
第８図イ，ロ，ハではより一般的な補正動作を
示しており１つの移動指令が有効である間第６図
のプログラムフローSTj１〜STj６がサーボ出力
ΔＺ（STj−２）の出力される毎にΔZCOMPが
すなわち ΔZCOMP(1)、ΔZCOMP(2)、ΔZCOMP(3) ………ΔZCOMP（ｎ） が次々と与えられることを示す。尚各サンプル時
刻ｉでΔｔ＝t1−t2が変化しなければΔZCOMP
（ｉ）は零である。
示しており１つの移動指令が有効である間第６図
のプログラムフローSTj１〜STj６がサーボ出力
ΔＺ（STj−２）の出力される毎にΔZCOMPが
すなわち ΔZCOMP(1)、ΔZCOMP(2)、ΔZCOMP(3) ………ΔZCOMP（ｎ） が次々と与えられることを示す。尚各サンプル時
刻ｉでΔｔ＝t1−t2が変化しなければΔZCOMP
（ｉ）は零である。
尚温度差Δｔ＝t1−t2の検出精度を向上させる
ため10回のサンプリング（セレクタの切換）を行
ない最大値と最小値を除去した平均値をΔｔとす
るようにしている。即ち である。
ため10回のサンプリング（セレクタの切換）を行
ない最大値と最小値を除去した平均値をΔｔとす
るようにしている。即ち である。
第９図は熱変位補正を行つた場合のデータをプ
ロツトしたものであり、主軸端面位置の変位が補
正しない場合に比し大幅に減少していることがわ
かる。
ロツトしたものであり、主軸端面位置の変位が補
正しない場合に比し大幅に減少していることがわ
かる。
尚以上の説明においてはＺ軸についてのみ説明
したが、他の移動軸Ｘ，Ｙ方向についても適用さ
れることはいうまでもない。そのためにはＸ，Ｙ
軸方向にセンサｔ１Ｘ，ｔ２Ｘを設けるだけでよ
い。又補正のため関数を一次式として示したがこ
れもt1−t2の範囲に応じて適宜システムパラメー
タZTMPA、ZTMPBを他の値に選択すること、
やさらに現在のマシニングセンタMTの温度状態
がそれまでの主軸駆動状態からみて第４図の矢視
がどちらの側に対応しているかなどを考慮して前
記パラメータを適宜修正するようなことも容易に
可能である。
したが、他の移動軸Ｘ，Ｙ方向についても適用さ
れることはいうまでもない。そのためにはＸ，Ｙ
軸方向にセンサｔ１Ｘ，ｔ２Ｘを設けるだけでよ
い。又補正のため関数を一次式として示したがこ
れもt1−t2の範囲に応じて適宜システムパラメー
タZTMPA、ZTMPBを他の値に選択すること、
やさらに現在のマシニングセンタMTの温度状態
がそれまでの主軸駆動状態からみて第４図の矢視
がどちらの側に対応しているかなどを考慮して前
記パラメータを適宜修正するようなことも容易に
可能である。
以上説明したように本発明によれば２個のセン
サを機械中に取付け、又数値制御装置CNC内に
温度補正用のプログラムを設けるだけで主軸駆動
に伴う熱変位補正を行うことが可能となりとくに
第６図のフローに示す如く移動指令中Δｔの変化
がある場合絶えずこれに伴う変位を補正できるよ
うになつているので高い精度で加工ができる。
サを機械中に取付け、又数値制御装置CNC内に
温度補正用のプログラムを設けるだけで主軸駆動
に伴う熱変位補正を行うことが可能となりとくに
第６図のフローに示す如く移動指令中Δｔの変化
がある場合絶えずこれに伴う変位を補正できるよ
うになつているので高い精度で加工ができる。
又とくに主軸方向（Ｚ）の熱変位はほとんど主
軸頭ノーズ近傍において発生するので本発明にお
いては補正動作に関してＺ軸の現在位置やパート
プログラムにて指令される移動量と関係なく補正
量を決定できるのでプログラム処理が簡単であり
各サーボ出力（ΔＺ）ごとに補正量を組み入れる
ことができるものである。
軸頭ノーズ近傍において発生するので本発明にお
いては補正動作に関してＺ軸の現在位置やパート
プログラムにて指令される移動量と関係なく補正
量を決定できるのでプログラム処理が簡単であり
各サーボ出力（ΔＺ）ごとに補正量を組み入れる
ことができるものである。
第１図はマシニングセンタの側面概観図、第２
図は温度上昇テストを示すグラフ、第３図は主軸
を3150rpmで駆動したときの温度及変位の状態を
示すグラフ、第４図は各センサの温度差に対する
主軸端面の変位を示すグラフ、第５図はセンサと
数値制御装置との結合を示すブロツク図、第６図
は熱変位補正のプロセスを示すフローチヤート、
第７図イ，ロ，ハは移動指令が与えられる毎に補
正を行う場合の説明図、第８図イ，ロ，ハはほゞ
連続して補正を行わしめる場合の説明図、第９図
は補正を行つた場合の主軸端面の熱変位を示すグ
ラフである。 １１……コラムベツド、１２……コラム、１３
……サドル、１４……テーブル、１５……主軸頭
ノーズ、１６……工具マガジン、Ｓ１，Ｓ２……
センサ位置。
図は温度上昇テストを示すグラフ、第３図は主軸
を3150rpmで駆動したときの温度及変位の状態を
示すグラフ、第４図は各センサの温度差に対する
主軸端面の変位を示すグラフ、第５図はセンサと
数値制御装置との結合を示すブロツク図、第６図
は熱変位補正のプロセスを示すフローチヤート、
第７図イ，ロ，ハは移動指令が与えられる毎に補
正を行う場合の説明図、第８図イ，ロ，ハはほゞ
連続して補正を行わしめる場合の説明図、第９図
は補正を行つた場合の主軸端面の熱変位を示すグ
ラフである。 １１……コラムベツド、１２……コラム、１３
……サドル、１４……テーブル、１５……主軸頭
ノーズ、１６……工具マガジン、Ｓ１，Ｓ２……
センサ位置。
Claims (1)
- １ 工作機械の熱変位を補正する数値制御装置に
おいて、前記工作機械の主軸頭部の温度を検知す
る第１のセンサと前記工作機械の比較的温度変化
の少ない機体部分の温度を検知する第２のセンサ
を用いて検知した２ケ所の温度の差（Δｔ）と主
軸の伸び量との関係を表わす温度差−熱変位量の
関数式をプログラムメモリ内にストアすると共
に、前記主軸に対し軸方向移動指令が与えられた
状態で前記数値制御装置内での補間演算に伴つて
出力されるサーボ出力（ΔＺ）に対し前記関数式
から得られる熱変位補正量（ΔZCOMP）を賦与
せしめるプログラムステツプをストアするプログ
ラムメモリを有する熱変位補正機能を備えた数値
制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10850280A JPS5733938A (en) | 1980-08-07 | 1980-08-07 | Numerical value controlling device with heat displacement compensating function |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10850280A JPS5733938A (en) | 1980-08-07 | 1980-08-07 | Numerical value controlling device with heat displacement compensating function |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5733938A JPS5733938A (en) | 1982-02-24 |
| JPS6159860B2 true JPS6159860B2 (ja) | 1986-12-18 |
Family
ID=14486395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10850280A Granted JPS5733938A (en) | 1980-08-07 | 1980-08-07 | Numerical value controlling device with heat displacement compensating function |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5733938A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7098078B2 (en) | 1990-09-24 | 2006-08-29 | Tessera, Inc. | Microelectronic component and assembly having leads with offset portions |
| US7676338B2 (en) | 2006-12-11 | 2010-03-09 | Okuma Corporation | Method for detecting abnormality of temperature sensor in machine tool |
| US7766541B2 (en) | 2006-12-18 | 2010-08-03 | Okuma Corporation | Method for detecting abnormality of temperature sensor in machine tool |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63237104A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-03 | Mori Seiki Seisakusho:Kk | 熱変位補正数値制御工作機械 |
| JP3413068B2 (ja) * | 1997-08-19 | 2003-06-03 | オークマ株式会社 | 工作機械の熱変位推定方法 |
| KR101355232B1 (ko) * | 2012-04-12 | 2014-01-27 | 현대위아 주식회사 | 공작 기계의 열 변위 보상 장치 및 그의 구동 방법 |
| JP5892850B2 (ja) * | 2012-05-10 | 2016-03-23 | 三菱電機株式会社 | 工作機械およびその熱変位補正方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5182466A (en) * | 1975-01-17 | 1976-07-20 | Niigata Engineering Co Ltd | Kosakukikainiokeru netsuheni no hoshohoho |
| JPS5190083A (en) * | 1975-02-06 | 1976-08-06 | Kosakukikaino netsuhenihoseisochi | |
| JPS51115378A (en) * | 1975-04-03 | 1976-10-09 | Shin Nippon Koki Kk | Method and apparatus for correcting thermal deformation in machine too l |
| JPS592045B2 (ja) * | 1978-03-17 | 1984-01-17 | 株式会社大隈「鉄」工所 | 数値制御機械における位置決めの温度補償方法および装置 |
-
1980
- 1980-08-07 JP JP10850280A patent/JPS5733938A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7098078B2 (en) | 1990-09-24 | 2006-08-29 | Tessera, Inc. | Microelectronic component and assembly having leads with offset portions |
| US7271481B2 (en) | 1990-09-24 | 2007-09-18 | Tessera, Inc. | Microelectronic component and assembly having leads with offset portions |
| US7676338B2 (en) | 2006-12-11 | 2010-03-09 | Okuma Corporation | Method for detecting abnormality of temperature sensor in machine tool |
| US7766541B2 (en) | 2006-12-18 | 2010-08-03 | Okuma Corporation | Method for detecting abnormality of temperature sensor in machine tool |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5733938A (en) | 1982-02-24 |
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