JPS6160317B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6160317B2 JPS6160317B2 JP17459082A JP17459082A JPS6160317B2 JP S6160317 B2 JPS6160317 B2 JP S6160317B2 JP 17459082 A JP17459082 A JP 17459082A JP 17459082 A JP17459082 A JP 17459082A JP S6160317 B2 JPS6160317 B2 JP S6160317B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- shaft
- link
- driving
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/44—Mechanical actuating means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弁体の駆動装置に関し、特に、真空処
理装置における可変コンダクタンスバルブ等の弁
体の駆動装置に関するものである。
理装置における可変コンダクタンスバルブ等の弁
体の駆動装置に関するものである。
半導体、ICその他の電子機器等の製造工程に
おいては、真空あるいは低圧のガス中で処理する
工程が少なくない。その処理工程としては、例え
ば、蒸着、スパツタリング、化学的ガス分解によ
る膜の製造、あるいはドライエツチングなどの工
程が挙げられる。これらの装置では、処理室に特
定ガスを導入し圧力を一定に保持しながら処理す
る。この場合、処理室と真空ポンプの間には、ポ
ンプの排気速度を調節するための可変コンダクタ
ンスバルブが取り付けられている。
おいては、真空あるいは低圧のガス中で処理する
工程が少なくない。その処理工程としては、例え
ば、蒸着、スパツタリング、化学的ガス分解によ
る膜の製造、あるいはドライエツチングなどの工
程が挙げられる。これらの装置では、処理室に特
定ガスを導入し圧力を一定に保持しながら処理す
る。この場合、処理室と真空ポンプの間には、ポ
ンプの排気速度を調節するための可変コンダクタ
ンスバルブが取り付けられている。
従来の可変コンダクタンスバルブ等の駆動装置
は、原動回転駆動軸の動きを直接弁体の回転軸の
動きとしている。しかし、この方法では、弁体の
開閉機構を考慮すれば明らかなように、原動回転
駆動軸の回転率とコンダクタンスの変化率との関
係が比例しなかつた。このため、可変コンダクタ
ンスバルブを自動制御する場合や原動回転駆動軸
の回転角度でコンダクタンスを制御する場合に、
非常に不便である。更に、従来の駆動装置では、
弁体の閉近辺領域での原動回転駆動軸の回転率に
対するコンダクタンスの変化率が大きいため、弁
体の閉近辺領域でのコンダクタンスの微調節が困
難であつた。
は、原動回転駆動軸の動きを直接弁体の回転軸の
動きとしている。しかし、この方法では、弁体の
開閉機構を考慮すれば明らかなように、原動回転
駆動軸の回転率とコンダクタンスの変化率との関
係が比例しなかつた。このため、可変コンダクタ
ンスバルブを自動制御する場合や原動回転駆動軸
の回転角度でコンダクタンスを制御する場合に、
非常に不便である。更に、従来の駆動装置では、
弁体の閉近辺領域での原動回転駆動軸の回転率に
対するコンダクタンスの変化率が大きいため、弁
体の閉近辺領域でのコンダクタンスの微調節が困
難であつた。
本発明の目的は、弁体を自動制御する場合や原
動回転駆動軸の回転角度でコンダクタンスを制御
する場合に、最適な弁体の駆動装置を提供するこ
とにある。
動回転駆動軸の回転角度でコンダクタンスを制御
する場合に、最適な弁体の駆動装置を提供するこ
とにある。
本発明の別の目的は、弁体の閉近辺領域でのコ
ンダクタンスの微調節を容易に行なうことができ
る弁体の駆動装置を提供することにある。
ンダクタンスの微調節を容易に行なうことができ
る弁体の駆動装置を提供することにある。
本発明によれば、弁体の回転軸に原動回転駆動
軸を連結するための装置において、前記原動回転
駆動軸に一端が固定される第１のリンクと、該第
１のリンクの他端に一端が回転自在に取り付けら
れた第２のリンクと、該第２のリンクの他端に一
端が回転自在に取り付けられ、他端が前記弁体の
回転軸に固定された第３のリンクとを有し、前記
第１、前記第２、及び前記第３のリンクの長さ
は、前記弁体を閉じる方向に前記原動回転駆動軸
を回転させるにつれて、該原動回転駆動軸の回転
角に対する前記弁体の回転軸の回転角の比率が連
続的に減少するように選択されていることを特徴
とする弁体の駆動装置が得られる。
軸を連結するための装置において、前記原動回転
駆動軸に一端が固定される第１のリンクと、該第
１のリンクの他端に一端が回転自在に取り付けら
れた第２のリンクと、該第２のリンクの他端に一
端が回転自在に取り付けられ、他端が前記弁体の
回転軸に固定された第３のリンクとを有し、前記
第１、前記第２、及び前記第３のリンクの長さ
は、前記弁体を閉じる方向に前記原動回転駆動軸
を回転させるにつれて、該原動回転駆動軸の回転
角に対する前記弁体の回転軸の回転角の比率が連
続的に減少するように選択されていることを特徴
とする弁体の駆動装置が得られる。
次に本発明の実施例について図面を参照して説
明する。
明する。
第１図を参照すると、本発明の一実施例は、真
空処理装置における可変コンダクタンスバルブの
弁体９の駆動装置である。第１図の可変コンダク
タンスバルブの状態は、弁体９の全開時を示して
いる。
空処理装置における可変コンダクタンスバルブの
弁体９の駆動装置である。第１図の可変コンダク
タンスバルブの状態は、弁体９の全開時を示して
いる。
まず、可変コンダクタンスバルブについて説明
する。従軸６は、弁箱７に対する真空シールする
ための弾性シール材８を介して、弁体９に固定さ
れている。弁体９の外周には、弾性シール材１０
が装着されており、弁体９の全閉時の弁箱７に対
する真空シールを行なつている。
する。従軸６は、弁箱７に対する真空シールする
ための弾性シール材８を介して、弁体９に固定さ
れている。弁体９の外周には、弾性シール材１０
が装着されており、弁体９の全閉時の弁箱７に対
する真空シールを行なつている。
次に、第２図をも参照して弁体９の駆動装置を
説明する。なお、第２図も、第１図と同様に、弁
体９の全開時を示している。そして、第２図の２
点鎖線部は弁体９の全閉時のリンク位置を示した
ものである。１は原動回転駆動軸であり、これは
リンク２の一端に固定されている。リンク２の他
端は軸３を介してリンク４の一端に回転自在に取
り付けられている。また、リンク４の他端も軸３
を介してリンク５の一端に回転自在に取り付けら
れている。リンク５の他端は従軸６に固定されて
いる。
説明する。なお、第２図も、第１図と同様に、弁
体９の全開時を示している。そして、第２図の２
点鎖線部は弁体９の全閉時のリンク位置を示した
ものである。１は原動回転駆動軸であり、これは
リンク２の一端に固定されている。リンク２の他
端は軸３を介してリンク４の一端に回転自在に取
り付けられている。また、リンク４の他端も軸３
を介してリンク５の一端に回転自在に取り付けら
れている。リンク５の他端は従軸６に固定されて
いる。
このように、本実施例の弁体の駆動装置は、弁
体９の回転軸（即ち従軸）６と原動回転駆動軸１
とを、２個の回り対偶を連結するリンク装置（即
ち、リンク２，４，５を有する装置）で連結した
ものである。そして、本実施例では、３つのリン
ク２，４、及び５は、弁体９の全開状態（第２図
の実線位置の状態）から、弁体９を閉じる方向
（矢印Ａの方向）に原動回転駆動軸１を回転させ
るにつれて、原動回転駆動軸１の回転角に対する
弁体９の回転軸６の回転角の比率が連続的に減少
するように選択されている。
体９の回転軸（即ち従軸）６と原動回転駆動軸１
とを、２個の回り対偶を連結するリンク装置（即
ち、リンク２，４，５を有する装置）で連結した
ものである。そして、本実施例では、３つのリン
ク２，４、及び５は、弁体９の全開状態（第２図
の実線位置の状態）から、弁体９を閉じる方向
（矢印Ａの方向）に原動回転駆動軸１を回転させ
るにつれて、原動回転駆動軸１の回転角に対する
弁体９の回転軸６の回転角の比率が連続的に減少
するように選択されている。
第３図に、上述した従来の駆動装置を用いた場
合と、第１図及び第２図の実施例の駆動装置を用
いた場合の、原動回転駆動軸の回転率（弁体９の
全開位置を100とする）とコンダクタンスの変化
率（弁体９の全開時のコンダクタンスを100とす
る）との関係を示した。この図から明らかなよう
に、本実施例の駆動装置を用いれば、原動回転駆
動軸の回転率とコンダクタンスの変化率は直線状
特性を示すので、弁体を自動制御することや原動
回転駆動軸の回転角度でコンダクタンスを制御す
ることを極めて容易にかつ正確に行なうことが可
能となる。また、上述した従来の駆動装置を用い
た場合には、弁体の閉近辺領域での原動回転駆動
軸の回転率に対するコンダクタンスの変化率が大
きいため、弁体の閉近辺領域でのコンダクタンス
の微調節が困難であつたが、本実施例の駆動装置
を用いれば、比較的、弁体の閉近辺領域での原動
回転駆動軸の回転率に対するコンダクタンスの変
化率が小さくなるため、弁体の閉近辺領域でのコ
ンダクタンスの微調節が容易になる。
合と、第１図及び第２図の実施例の駆動装置を用
いた場合の、原動回転駆動軸の回転率（弁体９の
全開位置を100とする）とコンダクタンスの変化
率（弁体９の全開時のコンダクタンスを100とす
る）との関係を示した。この図から明らかなよう
に、本実施例の駆動装置を用いれば、原動回転駆
動軸の回転率とコンダクタンスの変化率は直線状
特性を示すので、弁体を自動制御することや原動
回転駆動軸の回転角度でコンダクタンスを制御す
ることを極めて容易にかつ正確に行なうことが可
能となる。また、上述した従来の駆動装置を用い
た場合には、弁体の閉近辺領域での原動回転駆動
軸の回転率に対するコンダクタンスの変化率が大
きいため、弁体の閉近辺領域でのコンダクタンス
の微調節が困難であつたが、本実施例の駆動装置
を用いれば、比較的、弁体の閉近辺領域での原動
回転駆動軸の回転率に対するコンダクタンスの変
化率が小さくなるため、弁体の閉近辺領域でのコ
ンダクタンスの微調節が容易になる。
以上説明したように、本発明によれば、弁体を
自動制御する場合や原動回転駆動軸の回転角度で
コンダクタンスを制御する場合に、最適な弁体の
駆動装置が得られる。更に、本発明によれば、弁
体の閉近辺領域でのコンダクタンスの微調整を容
易に行なうことができる弁体の駆動装置が得られ
る。
自動制御する場合や原動回転駆動軸の回転角度で
コンダクタンスを制御する場合に、最適な弁体の
駆動装置が得られる。更に、本発明によれば、弁
体の閉近辺領域でのコンダクタンスの微調整を容
易に行なうことができる弁体の駆動装置が得られ
る。
第１図は本発明の一実施例による弁体の駆動装
置を示した正面図、第２図は第１図を下側から見
た図、第３図は従来品と本発明実施品の原動回転
駆動軸の回転率とコンダクタンスの変化率との関
係を示した図である。 １……原動回転駆動軸、２，４，５……リン
ク、３……軸、６……従軸、７……弁箱、８，１
０……弾性シール材、９……弁体。
置を示した正面図、第２図は第１図を下側から見
た図、第３図は従来品と本発明実施品の原動回転
駆動軸の回転率とコンダクタンスの変化率との関
係を示した図である。 １……原動回転駆動軸、２，４，５……リン
ク、３……軸、６……従軸、７……弁箱、８，１
０……弾性シール材、９……弁体。
Claims (1)
- １ 弁体の回転軸に原動回転駆動軸を連結するた
めの装置において、前記原動回転駆動軸に一端が
固定される第１のリンクと、該第１のリンクの他
端に一端が回転自在に取り付けられた第２のリン
クと、該第２のリンクの他端に一端が回転自在に
取り付けられ、他端が前記弁体の回転軸に固定さ
れた第３のリンクとを有し、前記第１、前記第
２、及び前記第３のリンクの長さは、前記弁体を
閉じる方向に前記原動回転駆動軸を回転させるに
つれて、該原動回転駆動軸の回転角に対する前記
弁体の回転軸の回転角の比率が連続的に減少する
ように選択されていることを特徴とする弁体の駆
動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17459082A JPS5965685A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 弁体の駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17459082A JPS5965685A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 弁体の駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965685A JPS5965685A (ja) | 1984-04-13 |
| JPS6160317B2 true JPS6160317B2 (ja) | 1986-12-20 |
Family
ID=15981220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17459082A Granted JPS5965685A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 弁体の駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5965685A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4694006B2 (ja) * | 2001-02-09 | 2011-06-01 | キヤノンアネルバ株式会社 | ゲートバルブ |
| JP2008075741A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Taiho Kogyo Co Ltd | バルブアセンブリ |
| JP2009144699A (ja) | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Hyundai Motor Co Ltd | 車エンジン用インパルスチャージャー |
| CH700100B1 (de) * | 2008-12-12 | 2013-02-28 | Inficon Gmbh | Ventil. |
-
1982
- 1982-10-06 JP JP17459082A patent/JPS5965685A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5965685A (ja) | 1984-04-13 |
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