JPS6160331B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6160331B2 JPS6160331B2 JP51093961A JP9396176A JPS6160331B2 JP S6160331 B2 JPS6160331 B2 JP S6160331B2 JP 51093961 A JP51093961 A JP 51093961A JP 9396176 A JP9396176 A JP 9396176A JP S6160331 B2 JPS6160331 B2 JP S6160331B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean room
- air chamber
- temperature
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
未発明は超恒温（±0.1℃）で最高のクリーン
度（クラス100）を維持し且つ温度を屋外環境以
下としたクリーン・ルームをプリハブ化して得ら
れ、その環境条件の維持管理を簡便適確とし、既
存の室内に簡単に設置できるようにしたクリー
ン・ルームに関する。
度（クラス100）を維持し且つ温度を屋外環境以
下としたクリーン・ルームをプリハブ化して得ら
れ、その環境条件の維持管理を簡便適確とし、既
存の室内に簡単に設置できるようにしたクリー
ン・ルームに関する。
従来、見られるクリーン・ルーム施設は、第２
図で示すように、送風機Ｆによつてクリーン・ル
ームａとエヤーチヤンバーｂ間を循還させる空気
は、その戻り空気の全量を常に冷却コイルＣ，Ｃ
又は再熱コイルＨ・Ｃによつて冷却或いは加熱調
和してエヤーチヤンバーｂ内に送込み炉過壁を経
てクリーン・ルームａ内に吹出すようにし、或い
は第３図で示すように冷却時のみは戻り空気を分
流させて冷却コイルＣ，Ｃで処理してエヤーチヤ
ンバーｂ内に送込んでいるが、加熱処理は戻り空
気の全風量を再熱コイルＨ，Ｃにより行なうもの
で、上記従来例ではいづれの場合にも加熱処理に
際しては戻り空気の全風量を処理していた。従つ
てこれらのものは機構的には単純化されてプリハ
ブには好適であるが、加熱する空気は戻り空気の
全風量を対象とするため再熱コイルＨ，Ｃの制御
に無理を生じ戻り空気の全風量即ちクリーン・ル
ームａへの吹出空気の全量を±0.1℃程度に調温
することは極めて困難であり、例えば電気ヒータ
ーの立上り性能に支配されたオーバーシユートを
必然的に発生するの欠陥がある。本発明はこのよ
うな欠陥を排除して空気温度を超恒温（±0.1
℃）に維持させるようにしたもので、一側を炉過
壁でエヤーチヤンバーと区劃したクリーン・ルー
ムの他側を空気循還用送風機を介してエヤーチヤ
ンバーに連通させ、該エヤーチヤンバー内に冷却
コイルと再熱コイルと小型送風機から成るエヤー
チヤンバー内の空気調和装置を設けて、空気循還
用送風機によりクリーン・ルーム内に循還する空
気の一部をエヤーチヤンバー内で調温することを
特徴とする。
図で示すように、送風機Ｆによつてクリーン・ル
ームａとエヤーチヤンバーｂ間を循還させる空気
は、その戻り空気の全量を常に冷却コイルＣ，Ｃ
又は再熱コイルＨ・Ｃによつて冷却或いは加熱調
和してエヤーチヤンバーｂ内に送込み炉過壁を経
てクリーン・ルームａ内に吹出すようにし、或い
は第３図で示すように冷却時のみは戻り空気を分
流させて冷却コイルＣ，Ｃで処理してエヤーチヤ
ンバーｂ内に送込んでいるが、加熱処理は戻り空
気の全風量を再熱コイルＨ，Ｃにより行なうもの
で、上記従来例ではいづれの場合にも加熱処理に
際しては戻り空気の全風量を処理していた。従つ
てこれらのものは機構的には単純化されてプリハ
ブには好適であるが、加熱する空気は戻り空気の
全風量を対象とするため再熱コイルＨ，Ｃの制御
に無理を生じ戻り空気の全風量即ちクリーン・ル
ームａへの吹出空気の全量を±0.1℃程度に調温
することは極めて困難であり、例えば電気ヒータ
ーの立上り性能に支配されたオーバーシユートを
必然的に発生するの欠陥がある。本発明はこのよ
うな欠陥を排除して空気温度を超恒温（±0.1
℃）に維持させるようにしたもので、一側を炉過
壁でエヤーチヤンバーと区劃したクリーン・ルー
ムの他側を空気循還用送風機を介してエヤーチヤ
ンバーに連通させ、該エヤーチヤンバー内に冷却
コイルと再熱コイルと小型送風機から成るエヤー
チヤンバー内の空気調和装置を設けて、空気循還
用送風機によりクリーン・ルーム内に循還する空
気の一部をエヤーチヤンバー内で調温することを
特徴とする。
本発明の実施態様を図面によつて説明する。
１はクリーン・ルームでその一側は２個連設し
たフイルター層２ａ，２ｂから成る炉過壁２を介
してエヤーチヤンバー３と隣接するよう区劃し、
クリーン・ルーム１の他側４は天井裏５を経て空
気循還用送風機６を介してエヤーチヤンバーｂに
連通させ、かくて空気は送風機６によりクリー
ン・ルーム１とエヤーチヤンバーｂとを循還す
る。
たフイルター層２ａ，２ｂから成る炉過壁２を介
してエヤーチヤンバー３と隣接するよう区劃し、
クリーン・ルーム１の他側４は天井裏５を経て空
気循還用送風機６を介してエヤーチヤンバーｂに
連通させ、かくて空気は送風機６によりクリー
ン・ルーム１とエヤーチヤンバーｂとを循還す
る。
エヤーチヤンバー３内に冷却コイル７と再熱コ
イル８並に小型送風機９から成る空気調和機１０
を設けて、空気循還用送風機６からチヤンバー３
内に送込まれる空気の一部を調和させるように
し、この調和された空気を混入した空気を炉過壁
２を経てクリーン・ルーム１内に送出すようにし
た。
イル８並に小型送風機９から成る空気調和機１０
を設けて、空気循還用送風機６からチヤンバー３
内に送込まれる空気の一部を調和させるように
し、この調和された空気を混入した空気を炉過壁
２を経てクリーン・ルーム１内に送出すようにし
た。
尚、図示例においてクリーン・ルーム１内に水
平方向の空気層流を得るようにルーム１の両側に
多孔壁１１，１２を設けた。
平方向の空気層流を得るようにルーム１の両側に
多孔壁１１，１２を設けた。
図中１３は照明灯、１４は出入口部、１５は補
助空気取入口を示し、以上の設備を有するクリー
ン・ルーム１は外壁１６内にプリハブ化して構成
し、これを既存の室内に設置し得る。
助空気取入口を示し、以上の設備を有するクリー
ン・ルーム１は外壁１６内にプリハブ化して構成
し、これを既存の室内に設置し得る。
以上のように構成されるクリーン・ルーム１で
は循還用送風機６でエヤーチヤンバー３とクリー
ン・ルーム１内を循還させる空気は外壁１６で限
られた空間内を循還するため大きな温度条件の変
化はなく、従つて温度調整は僅かの補償で済む
が、従来既存のクリーン・ルームではその循還風
量の多少に拘らずその全風量を再熱コイルで加熱
する手段を採用しているため超恒温（±0.1℃）
状態を維持するため微温調整の制御が困難である
が、本発明によるときはエヤーチヤンバー３内に
おける循還空気の主流中に空気調和装置１０を設
けて該循還空気流の一部を調温し、これを循還主
流の中に混入して調和空気を得るため再熱コイル
によるオーバーシユートの影響が、緩和されその
微量制御を容易とする。
は循還用送風機６でエヤーチヤンバー３とクリー
ン・ルーム１内を循還させる空気は外壁１６で限
られた空間内を循還するため大きな温度条件の変
化はなく、従つて温度調整は僅かの補償で済む
が、従来既存のクリーン・ルームではその循還風
量の多少に拘らずその全風量を再熱コイルで加熱
する手段を採用しているため超恒温（±0.1℃）
状態を維持するため微温調整の制御が困難である
が、本発明によるときはエヤーチヤンバー３内に
おける循還空気の主流中に空気調和装置１０を設
けて該循還空気流の一部を調温し、これを循還主
流の中に混入して調和空気を得るため再熱コイル
によるオーバーシユートの影響が、緩和されその
微量制御を容易とする。
このように本発明によるとき循還用送風機によ
る循還空気の主流中に空気調和装置を設けて循還
用空気の一部のみを調和するため微量な温度制御
を可能にしクリーン・ルームの超恒温状態を常に
維持し且つその制御を容易にした効果を有する。
る循還空気の主流中に空気調和装置を設けて循還
用空気の一部のみを調和するため微量な温度制御
を可能にしクリーン・ルームの超恒温状態を常に
維持し且つその制御を容易にした効果を有する。
第１図は本発明のクリーン・ルームを示す截断
側面図、第２図および第３図は従来例の截断側面
図である。 １……クリーン・ルーム、２……炉過壁、３…
…エヤーチヤンバー、６……循還用送風機、７…
…冷却コイル、８……再熱コイル、９……小型送
風機、１０……空気調和装置。
側面図、第２図および第３図は従来例の截断側面
図である。 １……クリーン・ルーム、２……炉過壁、３…
…エヤーチヤンバー、６……循還用送風機、７…
…冷却コイル、８……再熱コイル、９……小型送
風機、１０……空気調和装置。
Claims (1)
- １ 一側を炉過壁でエヤーチヤンバーと区劃した
クリーン・ルームの他側を空気循還用送風機を介
しエヤーチヤンバーに連通させ、該エヤーチヤン
バー内に冷却コイルと再熱コイルと小型送風機か
ら成るエヤーチヤンバー内の空気調和装置を設け
て、空気循還用送風機によりクリーンルーム内に
循還する空気の一部をエヤーチヤンバー内で調温
することを特徴とするクリーン・ルームにおける
空気調和装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9396176A JPS5319661A (en) | 1976-08-09 | 1976-08-09 | Air conditioner in clean room |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9396176A JPS5319661A (en) | 1976-08-09 | 1976-08-09 | Air conditioner in clean room |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5319661A JPS5319661A (en) | 1978-02-23 |
| JPS6160331B2 true JPS6160331B2 (ja) | 1986-12-20 |
Family
ID=14096994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9396176A Granted JPS5319661A (en) | 1976-08-09 | 1976-08-09 | Air conditioner in clean room |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5319661A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230014569A (ko) * | 2021-07-21 | 2023-01-30 | 한국전력공사 | 배열 회수 보일러의 핀 튜브 검사장치 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5795536A (en) * | 1980-12-05 | 1982-06-14 | Takasago Thermal Eng Co Lts | Apparatus for preparing work environment for manufacturing integrated circuits or the like |
| KR960007979B1 (ko) * | 1991-04-17 | 1996-06-17 | 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤 | 클리인공간시스템 |
| FR2878315B1 (fr) * | 2004-11-19 | 2007-06-01 | Matal Sa | Installation pour menager une zone de travail sous atmosphere controlee au sein d'un local |
-
1976
- 1976-08-09 JP JP9396176A patent/JPS5319661A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230014569A (ko) * | 2021-07-21 | 2023-01-30 | 한국전력공사 | 배열 회수 보일러의 핀 튜브 검사장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5319661A (en) | 1978-02-23 |
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