JPS6163390U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6163390U JPS6163390U JP1985113765U JP11376585U JPS6163390U JP S6163390 U JPS6163390 U JP S6163390U JP 1985113765 U JP1985113765 U JP 1985113765U JP 11376585 U JP11376585 U JP 11376585U JP S6163390 U JPS6163390 U JP S6163390U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aperture slit
- laser
- processing apparatus
- laser beam
- laser processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図は本考案に係る投影方式のレーザ加工装
置に設置された開口スリツトの一実施例を示す図
、第２図は通常の投影方式のレーザ加工装置を示
す原理的構成図、第３図は従来の投影方式のレー
ザ加工装置に設置された開口スリツトの構成図で
ある。 符号の説明、９…開口スリツト、１１…高反射
膜。
置に設置された開口スリツトの一実施例を示す図
、第２図は通常の投影方式のレーザ加工装置を示
す原理的構成図、第３図は従来の投影方式のレー
ザ加工装置に設置された開口スリツトの構成図で
ある。 符号の説明、９…開口スリツト、１１…高反射
膜。
Claims (1)
- レーザ発振器と、該レーザ発振器から出力され
るレーザ光を絞る開口スリツトと、該開口スリツ
トの像を被加工物上に投影照射するための対物レ
ンズとを有する開口スリツト像投影方式のレーザ
加工装置において、上記開口スリツトに光源側に
高反射膜を設けて開口スリツトがレーザ光の熱で
損傷を受けないように構成したことを特徴とする
レーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985113765U JPH0231277Y2 (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985113765U JPH0231277Y2 (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6163390U true JPS6163390U (ja) | 1986-04-30 |
| JPH0231277Y2 JPH0231277Y2 (ja) | 1990-08-23 |
Family
ID=30672789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985113765U Expired JPH0231277Y2 (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0231277Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49140794U (ja) * | 1973-03-26 | 1974-12-04 | ||
| JPS53133744U (ja) * | 1977-03-30 | 1978-10-23 |
-
1985
- 1985-07-26 JP JP1985113765U patent/JPH0231277Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49140794U (ja) * | 1973-03-26 | 1974-12-04 | ||
| JPS53133744U (ja) * | 1977-03-30 | 1978-10-23 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0231277Y2 (ja) | 1990-08-23 |
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