JPS6164980U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6164980U JPS6164980U JP14968084U JP14968084U JPS6164980U JP S6164980 U JPS6164980 U JP S6164980U JP 14968084 U JP14968084 U JP 14968084U JP 14968084 U JP14968084 U JP 14968084U JP S6164980 U JPS6164980 U JP S6164980U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- main body
- casing
- tip
- working means
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案のクリーンロボツトの断面図、
第２図は作業手段としてのホルダーの平面図、第
３図は伝達系のスケルトン図である。 １……クリーンロボツト、２……本体、３……
多関節アーム、４……第１のアーム、５……第２
のアーム、６……先端アーム、７，８，９……軸
、１２，１３，１４……ギヤモータ、１５，１７
……タイミングベルト、１６，１８……タイミン
グプーリ、２０……真空ポンプ、２３……排気チ
ユーブ、２４……吸引チユーブ。
第２図は作業手段としてのホルダーの平面図、第
３図は伝達系のスケルトン図である。 １……クリーンロボツト、２……本体、３……
多関節アーム、４……第１のアーム、５……第２
のアーム、６……先端アーム、７，８，９……軸
、１２，１３，１４……ギヤモータ、１５，１７
……タイミングベルト、１６，１８……タイミン
グプーリ、２０……真空ポンプ、２３……排気チ
ユーブ、２４……吸引チユーブ。
Claims (1)
- 本体よりアームを上継ぎ状に連結して多関節ア
ームを構成し、先端アームには作業手段を支持し
、本体、各アームがそれぞれ内部に駆動源、伝達
手段等を有してケーシングで囲まれ、かつそれぞ
れのケーシング内には、排気手段を設け、先端ア
ームに設けた作業手段をアーム、本体よりも上方
に位置させてなることを特徴とするクリーンロボ
ツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984149680U JPH0347834Y2 (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984149680U JPH0347834Y2 (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6164980U true JPS6164980U (ja) | 1986-05-02 |
| JPH0347834Y2 JPH0347834Y2 (ja) | 1991-10-11 |
Family
ID=30707849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984149680U Expired JPH0347834Y2 (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0347834Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011082532A (ja) * | 2001-07-13 | 2011-04-21 | Brooks Automation Inc | 独立多エンドエフェクタを備えた基板移送装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5590290A (en) * | 1978-12-07 | 1980-07-08 | Reis Walter Gmbh & Co | Handling device |
| JPS5890481A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-30 | 株式会社日立製作所 | 産業用ロボツト |
| JPS5924292U (ja) * | 1982-08-05 | 1984-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 腕状機構 |
-
1984
- 1984-10-02 JP JP1984149680U patent/JPH0347834Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5590290A (en) * | 1978-12-07 | 1980-07-08 | Reis Walter Gmbh & Co | Handling device |
| JPS5890481A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-30 | 株式会社日立製作所 | 産業用ロボツト |
| JPS5924292U (ja) * | 1982-08-05 | 1984-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 腕状機構 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011082532A (ja) * | 2001-07-13 | 2011-04-21 | Brooks Automation Inc | 独立多エンドエフェクタを備えた基板移送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0347834Y2 (ja) | 1991-10-11 |