JPS6164983U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6164983U JPS6164983U JP14803984U JP14803984U JPS6164983U JP S6164983 U JPS6164983 U JP S6164983U JP 14803984 U JP14803984 U JP 14803984U JP 14803984 U JP14803984 U JP 14803984U JP S6164983 U JPS6164983 U JP S6164983U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum suction
- suction tool
- tapered
- stripes
- cermet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011195 cermet Substances 0.000 claims 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Description
第１図イは従来から使用されている真空吸着具
の破断面図であり第１図ロは同図イにて示した真
空吸着具の下面図である。第２図ａ，ｂ，ｃ，ｄ
は本案による真空吸着具の使用態様例を説明する
ための側断面図である。 １……吸着具、２……下面、４……吸引孔、５
……テーパ条。
の破断面図であり第１図ロは同図イにて示した真
空吸着具の下面図である。第２図ａ，ｂ，ｃ，ｄ
は本案による真空吸着具の使用態様例を説明する
ための側断面図である。 １……吸着具、２……下面、４……吸引孔、５
……テーパ条。
Claims (1)
- 少なくとも一対の対向辺にテーパ条を有する下
面のほぼ中央に開口した吸入孔を備えた真空吸引
具において、少なくとも上記テーパ条をアルミナ
、炭化珪素、窒化珪素、サーメツト、ジルコニア
などのセラミツク材で形成したことを特徴とする
真空吸着具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14803984U JPS6164983U (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14803984U JPS6164983U (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6164983U true JPS6164983U (ja) | 1986-05-02 |
Family
ID=30706260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14803984U Pending JPS6164983U (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6164983U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63129699A (ja) * | 1986-11-20 | 1988-06-02 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品装着装置 |
| JPH0238798U (ja) * | 1988-09-05 | 1990-03-15 |
-
1984
- 1984-09-29 JP JP14803984U patent/JPS6164983U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63129699A (ja) * | 1986-11-20 | 1988-06-02 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品装着装置 |
| JPH0238798U (ja) * | 1988-09-05 | 1990-03-15 |