JPS6165749A - ウエハ−の枚葉取出し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えばスライシングマシン等により切り出さ
れるウェハーの枚葉取出し劃１こ関する。

周知のようにシリコン、ゲルマニウム、ＧＧＧ。

称する）からスライシングマシンにより薄片状ウェハー
に切り出して実用される。これらの「且子材料は硬質か
つ脆性を有し、収り出し嘉こ際し往々１どして折損また
は疵？発生するおそれがある。

このためウェハーの枚葉取り出しには吸着手段が用いら
れるのは公知のことであるが、次に述べるような欠点が
ある。即ちウェハーの切り出しに際し供給される冷却水
がウェハーと回転刃との間に介入しその表面張力により
真空状態となって密着することがあり、ウェハーは回転
刃の、・呵れ面に沿っての移行は容易であるが、吸着手
段により回転刃に直角に引き離すことが困雌となる例が
しばしばみられた。従って回転刃との密着と吸気手段の
吸引力並びに回転する回転刃による横方向への移行の相
互の力関係により、吸ｎミスが生じ往々にしてウェハー
を落下するのみならずウェハー全無理に剥す状態となり
ウェハーまたは回転刃ブレード念変形せしめる等の欠点
があった。

また、上記ウェハーは切り出し時のみに限らず例えば積
重された場合においてもウェハー相互が密着し、一枚づ
つ即ち枚葉取出しが困雌なことはよく経験されることで
ある。

本発明はかかる点に濫みてなされたもので、上記ウェハ
ーの回転刃またはウェハー相互の密着を解消し、吸着手
段による吸着把持全確実ならしめることを目的とするも
ので、ウェハーに対する吸着把持Ｒｈｑと、ウェハーの
反射面に圧力空気金穴きつける空気吹込管とより構成し
たこと？要旨とするものである。

以下、本発明を図面に示す一実施例に基づいて詳細に説
明する。

本実施例は、前記電子材料よりなるインゴットａ′５−
＋７１［Ｌ、ウェハーｂ２形成するスライシングマシン
Ａに本発明全適用した例企示すもので、カッタＣは内周
５ど切刃ｔ−備えたドーナツ状の薄板を以て構成され、
インゴット２はカッタＣの内腔にかつ水平に位置せしめ
、インゴットａを徐々２こ上昇してウェハーｂｌ切断す
る周知構造のものである。ｄはインゴットλに取り付け
られ、切断時ウェハーｂの損傷全防止するためのダミー
である。

上記ウェハーｂに対する取出し装置ｌは、吸着把持ａｍ
　２　ｈ、ウェハーｂに対し上記吸着把持機＋１１２の
吸着面とは反対側に圧力空気を吹きつける空気吹込′１
′τ８とよりなる。吸引把持ｔＪ　４．．１．ｑ　２は
適宜の昇降手段４にアーム５全介して取りつけられる。

昇降手段礁は適宜構造のものが適用できるが、図はその
１例を示す。この昇降手段４はスライシングマシンＡの
取付台Ｆｒご取りつけられる支持ブラケット６と、この
支持ブラケット６に取りつけられる支持板６洟により図
において左右方向番ど摺動可脂に支持される本体フレー
ム７とを備え、本体フレーム７は左右移行用シリンダ８
により左右方向、即ち吸着把持機構２全ウニ／％−ｂに
対し近接離間せしめる。本体フレーム７は昇降モータ９
並びにこの昇降モータ９の回動１ζより昇降される昇降
杆１Ｏｔ−備え、これらは本体フレーム７に１挿される
主軸１１に固着される支持ブロック１２に収りつけられ
、前記アーム６は昇降杆１０の下端に連結されている。

１Ｂは主軸ｌｌの回動用ロータリーアクチュエータであ
る。これによりアーム６は昇降モータ９の回動により鎖
線５λで示す下降位置から、インゴット３の上昇と同期
して実線で示す上昇位ｉ？ｌに上昇され、少くともウエ
ノλ−すの切り落し直前において左右移行用シリンダ８
により吸着把持機ＦＦｔ２をウェハーｂに近接し、ウェ
ハーｂの切；祈完了後は再び吸着把持機構２を後退せし
め、次いで鎖１ｉ５ａの位置に降下せしめると共に、主
＠ｌｌを中心として鎖線５ｂに示す回動位置に回動し、
吸着したウェハーｂＢ適宜の奉送手段（図示省略）Ｉご
対し受渡し供給するようＩζしたものである。

吸着把持機構２は、吸気手段（図示省略）に連結される
取付孔２１全備えた吸着本体２０と、この本体２０に取
付けられる吸着パッド８８を先端に具えた成木２４と２
　＜・Ｉｌｒえている。

空気吹込管８はウェハーすの裏面即ちカッタＣＩご対向
せしめ、好ましくはウェハーｂｉご対しカッタＣの回転
方向上流側に位置して設けられる。その取付は要領は上
記吸着把持機構２の適所にアームを取付け、これに止着
してもよく、あるいはスライシングマシンＡの適所に取
付けられる。尚、インゴットλは前述の如くカッタＣの
内腔位置力ら徐々に上昇されるもので、従って空気吹込
管８は切断完了位置付近のウェハーｂｌど対向して取り
付けられる（第２図参照） 上記構成において、吸着把持機構２は少くともウェハー
ｂの切落し直前にセいて昇降手段４の左右移行用シリン
ダ８の作動により、ウェハーｂに対する近接位置に押し
出され、同時に吸気作用が印加されるので吸盤２４はウ
ェハーｂに接触し、吸着する。

インゴットλの切断に際しては通常冷却水が注水されて
おり、ウェハーｂとカッタＣとの間にはではＰｉｉ間さ
れない場合がある。

空気吹込管８はこの密着全解消するようにしたもので、
インゴットλよりウェハーｂが切り落される直前におい
て圧力空気が吹きつけられることにより、ウェハーｂと
カッタＣとの間の水膜が破　　□壊され、ウェハーすは
カッタＣに対する密着力が失なわれるため、その後の吸
着作用ｌこよりカッタＣより確実かつ容易に離間され、
昇降手段４の作・ｒＩ）Ｊによりウェハーｂは適所に飛
出される。

上記実炊例は、本発明？回転するカッタＣによりインゴ
ット友から、ウェハーｂ￥を切り出す方式のスライシン
グマシンに適用した例全示したが。

マルチワイヤソーによりインゴットを切断する方式のス
ライシングマシンにおいてモ、上記ワイヤソーは極めて
細く、切り出されるウエハーは前述と同、曙の理由によ
りウエハー相互間またはインゴットに密着するおそれが
あり、本発明を適用することは有効である。その他つェ
ハー全積み重ね一枚づつ取出す場合にも同様に適用する
ことができる。

ただしこの場谷、圧力空気？ウニ／％−下面に吹き込む
ためには、先づ吸着把持機構２によりウェハーを吸着し
、若干横方向に移動して下層のウェハーと段違いとする
ことにより効果的に行うことができる。

また吸着把持機構２として真空による吸着把持手段を例
示したが、ウェハーが磁性体であるときは磁力により吸
着するようにしてもよい。

また本発明に沿いては圧力空気全噴射せしめる例につい
て説明したが、ウエハーと回・伝力のブレードとの間ま
たはウェハー相互間の密着解消に用いるガス体としては
空気に限らず、ガス、蒸気、噴霧状気体等が使用可能で
ある。

前述のスライシングマシンにおいてインゴットからウェ
ハーに切り出す切１祈運動と関連して、インゴツｈｉ切
断完了（ダミ一部分で末だ接読状態）時においてインゴ
ットの上昇位１Ｌｓ１からの信号で先ず空気吹込管８の
開閉弁ｔ−ｉｌｌ放して空気吹込み全開始してウェハー
の密着全解消せしめると共にタイマーをセットし、次い
で吸着把持機構２？ウエハーに近接作動せしめタイマー
のタイムアツプで真空装置が劾き、ウニ／Ｎ−を吸着保
持するよう第４図示系統図の如く連動制御せしめる電気
的な自動運転制御装置を設ける。

上述の如（ウェハーの吸着把持に先立って空気を吹きつ
けウェハーの密着？解除した後吸着するから無理に剥が
すような力が全く作用せずウェハーの変形が防止できた
。第５図に変位計で測定した空気吹付けの有無によるウ
エハー変位）を示す。

（連続運転時）。

以上の如く本発明によるときは、ウェハーの取ら、ウェ
ハーが水膜等による密着を破壊することができ、従って
吸引把持機構は比較的弱い吸引力によっても確実に吸着
把持せしめることができると共にウニへ−＋Ｃ全く変形
がなく、しかも例えば多数のウェハーが積み重ねられた
場合においても確実に一枚づつ取り出すことができ、構
成簡単で把持不良によるウェハーの損傷全防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一邦切欠したスライシングマシンの要・６の概
略説明図、第２図は第１図におけるＸ　−Ｘ線に沿う矢
視図、渠８図は第２図における平面図、４４図は制ａＩ
装置の系読図、第６又は空気吹付けの有無によるウェハ
ーの変位蚤？示す測定データである。 １９０．取出し装置 ２０１．吸引把持機構 ８１６．空気吹込管 す６０．ウェハー λ１６．インゴット 特許出願人　　　　大阪チタニウム裂造株式会社特許出
願人　　　九州電子金属株式会社特許出願人　　　　日
本スピンドｌし製造株式会社コ 代　理　　人　　　　池　　　１）　　万　喜　生　１
一−１シ；− 外　　１名 第１図 ｒＡ２図 第３図　　。 ミ一−二（枢藝馴　←

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウエハーに対向し吸着力により把持する吸着把持機構と
   、上記ウエハーの反対面に圧力空気を吹きつけるように
   配備された空気吹込管とより構成したことを特徴とする
   ウエハーの枚葉取出し装置。