JPS616613A - 自動焦点機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は自動焦点機構に係シ、特に高精度な自動焦点位
置決めを志向した自動焦点機構に関するものである。

〔発明の背景〕

まず従来の自動焦点＋Ａ１１ｌ　（Ｕ、３．ｐａｔｅｎ
ｔ２．８９７，７２２および３，５０６，８３９　）を
、図面を用いて説明する。

第５図は、従来の自動焦点機構を示す略示図、第６図は
、第５図における結像光学系の球面収差による集光点近
傍のビームの拡がシ状態を示す光路図、第７図は、第６
図におけるビームの拡がシの具体的状態を示す説明図で
ある。

第５図（ａ）において、１は対象物であシ、照明光学系
２の照明ランプ３．集光レンズ４からの照明光１４・を
、ビームスプリッタ５を経て、該対象物１に集光させて
照明する。この対象物１からの反射光１５ａはビームス
プリッタ５を通過したのち、結像光学系の結像レンズ６
を経て受光部に係る受光素子１１に集光される。この受
光素子１１の前には一ピアホール板８が置かれておシ、
ピンホールに結像する状態（ΔＸ；０）では、受光素子
１１の出力Ｖｏｏは最大値を示す（第５図（ｂ）の出力
特性図参照）が、ピンホール位置からΔＸだけずれて語
源する場合には結像光１５ｂがピンホール板８で遮へい
されるため、ずれ量ΔＸに応じて出力Ｖｎｏが減少する
。したがって出力Ｖ　ｏ　ｏが最大直をとるように駆動
装置（図示せずンによシ対象吻１の位置を光軸方向（Ｘ
方向ンへ制御してやれば、対象物１に焦点を自動的に位
置決めすることができる。

しかし、このような従来の自動焦点機構には次のような
欠点があった。

（１）対象物１が光軸に対して傾いた場合、結像光は１
５ｂから１５ｂ’（破線）の状態になるため、ピンホー
ル板８のピンホールの位置からずれてしまい、出力ＶＤ
Ｏが得られなくなシ、反射光１５ａの検出ができず自動
焦点位置決めが不可能になった。

（２）結像レンズ６の球面収差の影響により、結像光１
５ｂは、第６，７図に示すように焦光点で十分に絞られ
ず、該集光点の近傍ｔの範囲にわたってビーム径Ｗが拡
がる。この結果ＶＤＯのΔＸに対する出力特性が最大値
近傍で広範囲においてθＶＤＯ／ａＸ中Ｏになってしま
い、ΔＸに対する分解能が低下するため、高精度な自動
焦点機能が得られないものであった。

〔発明の目的〕

本発明は、上記した従来技術の欠点を除去して、対象物
の光軸からの傾きに関係なく反射光を検出可能とする自
動焦点機能を有するとともに、結像レンズの球面収差の
影響を改善した、高精度な自動焦点機構の提供を、その
目的とするものである。

〔発明の概要〕

本発明に係る自動焦点機構の構成は、照明光学からの′
光により対象物を照明し、この対象物からの反射光を結
像光学系の受光部に集光し、この受光部の出力に基づい
て前記対象物に焦点を自動的に位置合わせすることがで
きるように構成した自動焦点機構において、結像光の中
央部を遮光することができる遮光板を光路中に設けるよ
うにしたものである。

さらに詳しくは、対象物が光軸から傾いた場合でも、そ
の反射光を検出可能とするため、結像光の外周部を遮へ
いした従来のピンホール板に代えて、該結像光の中央部
を遮へいすることができる遮光板を受光素子の前に設け
るようにした。また、結像レンズの球面収差によシ集光
位置での検出精度が低下するのを改善するため、該結像
レンズの球面収差の少ない領域を光が透過するように、
光路内に円環状スリットを設けるようにしたものである
。

〔発明の実施例〕

以下、実施例によって説明する。

第１図は、本発明の第１の実施例に係る自動焦点機構を
示す略示図、第２図は、第１図における遮光板の後方の
光路断面図、第３図は、第１図における受光素子の出力
特性図である。

第１図において、第５図と同一番号を付したものは同一
部分である。この実施例は、結像光１５ｂの中央部を遮
光する第１．２の遮光板９ａ、９ｂを設けたものである
。

第１図を用いて詳細に説明すると、７は、結像レンズ６
の後方に設けられたビームスプリッタ、１２ａは、この
ビームスプリッタ７を通過した結像光１５ｂの集光点位
置前方に配設された第１の受光素子、ｌ）１，９ａは、
この第１の受光素子Ｄ１１２ａの前面に配設され、結像
光１５ｂの中央部を遮光し、外周部の光を導く第１の遮
光板、１２ｂは、前記ビームスプリッタ７で反射した結
像光１５ｂの集光点位置後方に配設された第２の受光素
子Ｄ２．９ｂは、この第２の受光素子Ｄ＊１２ｂの前面
に、中間に集光レンズ２５を介して配設された第２の遮
光板、１６は、第１の受光素子Ｄ１１２８と第２の受光
素子Ｄ＊１２ｂとに接続・された減算器、１０は、対象
物１に照明光１４を集光する対物レンズである。なお、
前記第１．２の遮光板９ａ、９ｂは、透明ガラス板の中
央部にマスキングを施すことによシ得られるものであシ
、これら第１．２の遮光板９ａ、９ｂと第１．２の受光
素子Ｄｓ　　１２ａ、Ｄ２　１２ｂとの間の距離は、０
から所定値まで任意の大きさに設定できるようになって
いる。

このように構成した自動焦点機構において、照明光学系
２からの照明光１４は、対物レンズ１０によって対象物
１に集光され、この対象物１からの反射光１５ａは対物
レンズ１０．ビームスプリッタ５．結像レンズ６を通っ
て、ビームスプリッタ７により第１，２の受光素子り、
１２ａ。

Ｄ２１２ｔ）へ導かれる。これら両受光素子Ｄｔ　１２
ａ＋Ｄ２１２ｂからの出力は、減算器１６を通して出力
Ｖｘを得る。この出力Ｖｘの特性は、第３図に示すよう
になっており、合焦点位置（ΔＸ＝０）ではＶｘ＝０と
なるので、駆動装置（図示せず）にょ１）Ｖｘ＝Ｏとな
るように対象物１を移動させることによシ、対象物１に
焦点が自動的に位置決めされる。

以上説明した実施例によれば、対象物１が光軸Ｘ方向に
対して傾いて結１象光１５ｂの中心が光軸からずれて１
５ｂ’となった場合（第２図参照ンでも、第１，２の受
光素子ＤＩ　　１２ａ、Ｄｚ１２ｂで光量を検出できる
とともに、結像レンズ６の中央部の球面収差の影響が取
除かれるので、従来よりも高精度々自動焦点機能が得ら
れるという効果がある。

なお、本実施例においては、前記駆動装置により対象物
１を移動させるようにしたが、照明光学系２を移動させ
るようにしてもよい。さらに、本実施例においては、第
２の受光素子Ｄ２１２ｂの前面に集光レンズ２５を設け
たが、結像光の径よりも該受光素子Ｄｚ１２ｂの受光素
子面が大きい場合には、集光し／ズ２５を省くことがで
きる。

次に、この実施例の変形例を説明する。

第４図は、第１図に係る実施例の変形例の要部略示図で
ある。

第４図において、第１図と同一番号、同一記号を付した
ものは同一部分である。この実施例は、第１図における
第１の受光素子Ｄｔ１２ａの代シに、上下に２分割した
画素から構成した第１の受光素子Ｄ＋’１２ａ’を配設
し、前記両画床に接続する第１減算器１７ａと第１加算
器１８ａとを設け、また、第１図における第２の受光素
子Ｄ２１２ｂの代シに、左右に２分割した画素から構成
した第２の受光素子Ｄａ’１２ｂ’を配設し、前記両画
床に接続する第２減算器１７ｂと第２加算器１８ｂとを
設け、さらに、第１那算器１８ａと第２加算器１８ｂと
に接続する第３減算器１９を設け、第１減算器１７ａか
らの出力が０になり且つ第２減算器１７ｂからの出力も
Ｏになるように対象物１の傾きを制御する姿勢制御装置
（図示せず）と、第３減算器１９からの出力がＯになる
ように対象物１（もしくは照明光学系）を移動させるこ
とができる駆動装置（図示せず）とを設けるようにした
ものである。

このように構成した自動焦点機構において、第１減算器
１７ａからの出力Ｖ−１（対象物ｌの傾き角θ、に相当
する出力）と第２減算器１７ｂからの出力■θア（対象
物１の傾き角θアに相当する出力）とが何れも０になる
ように、前記姿勢制御装置によシ対象物１の傾きが修正
され、結像光１５ｂの中心が常に光軸Ｘ方向に一致して
から、前記駆動装置により、第３減算器１９からの出力
Ｖｘが０になるように対象＊１を光軸Ｘ方向へ移動させ
ることにより、対象物１に焦点が自動的に位置決めされ
る。

この変形例によれば、前記第１図に係る実施例の効果に
加えて、対象＊Ｊ１を光軸Ｘ方向に正確に向けた状態で
自動焦点の調整ができるので、さらに高精度な自動焦点
の位置決めができるという利点がある。

第８図は、本発明の第２の実施例に係る自動焦点機構を
示す略示図である。

第８図（ａ）において、第１図と同一番号、同一記号を
付したものは同一部分であり、また第８図（ｂ）におい
て、第４図と同一番号、同一記号を付したものば同一部
分である。

第８図（ａ）において、７Ａは、結像レンズ６の後に配
設した、反射ミラー２１を取付けたビームスグリツタ、
１３ａは、このビームスシリツタ７Ａを通過した結像光
１５ｂの集光点位置後方に配設された、上下左右方向に
分割した画素からなる第１の受光素子Ｄｉ１３ａであシ
、この第１の受光素子Ｄａ１３ａには、第８図（ｂ）に
示すように、対向する上下一組の画素に接続する第１減
算器１７ａと、対向する圧右一組の画素に接続する第２
減算器１７ｂとが設けられている。８ｂは、反射ミラー
２１で反射した結像光１５ｂの集光点位置に設けられた
ピンホール板、１３ｂは、この後方に配設された第２の
受光素子Ｄ４でろシ、前記第１減算器１７ａからの出力
が０になり且つ第２減算器１７ｂからの出力も０になる
ように対象物１の傾きを制御する姿勢制御装置（図示せ
ず）と、第２の受光素子Ｄ４１３ｋｌからの出力が最大
となるように対象物１（もしくは照明光学系）を移動さ
せふとンができる駆動装置（図示せず）とを設けるよう
にしたものである。

このように構成したものにおいて、前記姿勢制御装置に
よシ、第１減算器１７ａからの出力Ｖ　ｅ　ｔと第２減
算器１７ｂからの出力■りの何れもがＯになるように、
予め対象物１の傾きが補正されるので、結像光１５ｂは
ピンホール板８ｂのビンホールから外れることがなくな
るという効果がある。

また、特別に遮光板を設けなくとも、ビームスプリッタ
７Ａに反射ミラー２１を取付ければよいので、装置が簡
単になるという利点もある。

なお、前記ピンホール板８ｂは静止しているものである
が、一定振幅の振動を与えるようにしてもよい。

さらに、第２の受光素子Ｄ４１３ｂを用いずに、１個の
受光素子Ｄｓ１３ａのみで自動焦点位置決めを行なうこ
ともできる。この場合には、第１の受光素子Ｄａ１３ａ
の前にピンホール板８ａを設けるとともに、第８図（ｂ
）で破線で示すように、第１加算器１８ａ、第２加算器
１８ｂ、第３加算器２０を設け、予め対象物１の傾きを
補正したのち、１を光軸方向に移動させるようにすれば
よい。

さらにまた、本実施例においては、結像レンズ６は１枚
として示しであるが、収差を改善するために、複数枚の
レンズで構成するようにしてもよい。

次に、この実施例の変形例を説明する。

第９図は、第８図に係る実施例の変形例の要部略示図、
第１０図は、結像レンズの代表的な球面収差を示す球面
収差図である。

この変形例は、第８図における反射ミラー２１０代シに
、円墳状反射ミラー２２．マスキング（遮光部）２３を
取付けるようにしたものである。

このように構成することによシ、結像光は円環状になり
、円環状の結像光１５Ｃが得られる。この円環状の結像
光１５ｃは、結像レンズ６のほぼ同一収差の領域を透過
した光であるため、集光点でのビーム径Ｗ（第６図参照
ンが著しく小さくなシ、第２の受光素子Ｄ４１３ｂの出
力のΔＸに対する変化が大きく得られ、自動焦点の位置
決め精度が著しく向上するという効果がある。

このことを−例として第１０図を用いて説明すると、結
像レンズ６の光軸からのいろいろの高さにおける球面収
差の大きさは、ｄ（黄色）、Ｃ（赤色）２ｇ（青色）線
のスペクトルに対し図のような傾向を示し、レンズの中
心から半径方向に６０〜７０％のところでｄｄに対する
球面収差は一定値を保ち、かつ色収差が最も小さくなっ
ている。したがって、環状反射ミラー２２を１吏用し、
このような領域に光を透過させるようにすれば収差は改
善され、高精度な自動焦点位置決めが行なえる。

第１１図は、本発明の第３の実施例に係る自動焦点機構
を示す略示図である。

この第１１図において、第１図と同一番号、同一記号を
付したものは同一部分である。この実施例は、円環状ス
リット２４を光路中に設けることによシ、結像レンズ６
の球面収差の変化が小さい領域（あるいは色収差の小さ
い領域）を選択的に使用するようにしだものである。

第１１図を用いて詳細に説明すると、２４は、結像レン
ズ６の後方に設けられた円環状スリットであシ、この後
に設けられたビームスプリッタ７を通過した円墳状の結
像光１５ｅの集光点位置後方に第１の受光素子Ｄｌ　１
２ａが設けられ、ビームスグリツタ７で反射した円環状
の結像光１５ｃの集光点位置前方に第２の受光素子Ｄｚ
１２ｂが設けられている。減算器１６とこれに接続され
た駆動装置（図示せず）の機能は、第１図に係る実施例
と同様である。

このように構成した自動焦点機構は、結像レンズ６０球
面収差の小さい円環状の領域を使用するようにしたので
、自動焦点位置決めの精度を向上させることができると
ともに、対象物１が光軸に対して傾いて円環状の結像光
１５Ｃの中心が光軸からずれていても第１．２の受光素
子Ｄ１１２ａｌＤｚ１２ｂで光量を検出することができ
るという効果がある。

なお、第１．２の受光素子Ｄ＋　　１２　ａ　、　Ｄｚ
１２ｂの前面にはピンホール板８ａ、８ｂが置かれてい
る。

次に、この実施例の変形例を説明する。

第１２図は、第１１図に係る実施例の第１の変形例の要
部略示図、第１３図は、第１１図に係る実施例の第２の
変形例を示す略示図である。

第１２図に示した第１の変形例は、第１の受光素子Ｄｔ
１２ａの前面に遮光板９ａを置いて円環状の結像光１５
Ｃの中央部から遮光するようにしたものであシ、このよ
うにしても前記第１１図の実施例と同様な検出、制御が
可能である。ただし、この場合に社、出力Ｖ　ｘ　＝　
ＶＤＩ　　ＶＤＩは逆極性となる。また、第８図に係る
実施例として説明したように、第１の受光素子に、４分
割受光素子を用いれば、対象物１の傾き角補正も可能で
ある。さらに、円環状スリット２４によシ結像レンズ６
の色収差の小さい領域を使うようにすれば、白色光源を
用いても比較的精度良く自動焦点位置決めが行なえる。

なお、対物レンズ１０による対象物１に対する入射角度
αはＯ〜９０″までの適当な値を光学系によシとること
ができる。

第１３図に示した第２の変形例は、円環状スリット２４
を照明光学系２の出口に配置したものである。このよう
にしても結像レンズ６の特定部分を使うことによシ収差
を改善することができる。

なお、第１３図の照明光はリング状になるが、照明光は
必ずしもリング状である必要はなく、リング円周上の円
弧または一点のみを通る細いビームにして結像レンズ６
の特定円弧または点を透過させるようにしてもよい。

以上の各実施例においては、自動焦点位置決めを行なわ
せるのに、対象物１または照明光学系のどちらかを光軸
方向に動かす必要があった。しかし、対象物１や照明光
学系の重量が大きく、光軸方向に動かしたくない等の場
合には、次に説明する第１４図に係る実施例が有効であ
る。

第１４図は、本発明の第４の実施例に係る自動焦点機構
を示す略示図である。

この第１４図において、第１図と同一番号を付したもの
は同一部分である。そして、２４１は、照明光学系２の
出口に、光軸方向に移動可能に設けられた遮光板に係る
円環状スリットである。この円環状スリット２４′は、
駆動装置（図示せず）によって、光軸方向（Ｓ方向）に
ｓｌから５２までの範囲を往復動可能である。

このように構成したので、円環状スリット２４′の往復
動に伴ない照明光は１４−１から１４−２までの範囲を
円環状ビームとして変化し、集光レンズ４′で対象物１
上を照明する。対象物１からの反射光は、照明光１４−
１．１４−２に対応して１５−３．１５−４の範囲で変
化し、結像レンズ６の通過領域が円環状スリット２４′
の位置に対応して変化することになる。結像レンズ６の
球面収差は、例えば前記した第１０図のようであるから
、特定波長の光を用いた場合、結像レンズ６の球面収差
を利用して、ピンホール板８ａ、８ｂ。

第１の受光素子り、１２ａ、第２の受光素子Ｄｚ１２ｂ
の光学系によって定まる合焦点位置に集光させることが
できる。このときの円環状スリット２４′の位置Ｓと対
象物１のＸ方向の位置とが対応する。したがって、対象
物１がＹ方向に移動しでいる場合に、対象物１上のＡ、
Ｂ点の高さの差をΔＳによって検出することができると
いう効果がある。

なお、この実施例において、対象物１の前に対物レンズ
を置いてもよい。

ざらに、円環状スリット２４／は光路中の任意の場所に
置くことができ、たとえば第１１図のように結像レンズ
６の近傍に置いてもよい。

また、円環状スリット２４′の代シに、円周上の円弧ス
リットまたはピンホール（複数も可）でもよく、この場
合には、該円周上の円弧スリットまたはピンホールを元
軸と直角方向に移動させても第１４図に係る実施例と同
様な効果が得られることは言うまでもない。

さらにまた、上記実施例における円環状スリン）２４’
、ピンホール板ｇａ、Ｊ３ｂは機械的に加工したもので
あるが、この代夛に電気光学効果を有する素子（ＰＬＺ
Ｔ、　Ｂ　８０等）を用いて電圧印加手段によシ透過光
量を場所によシ変化させて、ピンホールやスリットと同
じ機能を持たせることができ、かつその光透過部の位置
を移動させることができる。

なお、前記各実施例においては、照明光学系２の光源と
して特定波長の光を使用するようにしたが、波長が連続
的おるいは段階的に変化するように、各波長ごとのフィ
ルタを照明光学系２の中に内蔵したものを用いても、結
像レンズ６の特定領域を用いて色収差を利用した自動焦
点機構が可能となる。

最後にもう一つの実施例を説明する。

第１５図は、本発明の第５の実施例に係る自動焦点機構
の要部略示図である。

これまで説明してきた各実施例においては、照明光ビー
ムスプリッタ５を用いて反射光との同軸化を図ったが、
この第１５図のごとく照明光１４の光軸と反射光１５ａ
の光軸とは必ずしも一致させる必要はない。このように
構成しても、本発明の目的を達成することができる。

〔発明の効果〕

以上詳細に説明したように本発明によれば、対象物の′
光軸からの傾きに関係なく反射光を検出可能とする自動
焦点機能を有するとともに、結像レンズの球面収差の影
響を改善した、高精度な自動焦点機構を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１の実施例に係る自動焦点機構を
示す略示図、第２図は、第１図における遮光板の後方の
光路断面図、第３図は、第１図における受光素子の出力
特性図、第４図は、第１図に係る実施例の変形例の要部
略示図、第５図は、従来の自動焦点機構を示す略示図、
第６図は、第５図における結像光学系の球面収差による
集光点近傍のビームの拡がシ状態を示す光路図、第７図
は、第６図におけるビームの拡がシの具体的状態を示す
説明図、第８図は、本発明の第２の実施例に係る自動焦
点機構を示す略示図、第９図は、第８図に係る実施例の
変形例の要部略示図、第１０図は、結像レンズの代表的
な球面収差を示す球面収差図、第１１図は、本発明の第
３の実施例に係る自動焦点機構を示す略示図、第１２図
は、第１１図に係る実施例の第１の変形例の要部略示図
、第１３図は、第１１図に係る実施例の第２の変形例を
示す略示図、第１４図は、本発明の第４の実施例に係る
自動焦点機構を示す略示図、第１５図は、本発明の第５
の実施例に係る自動焦点機構の要部略示図である。 １・・・対象物、２・・・照明光学系、７，７Ａ、７Ｂ
・・・ビームスプリッタ、８ａ、８ｂ・・・ピンポール
板、９ａ・・・第１の遮光板、９ｂ・・・第２の遮光板
、１２ａ・・・第１の受光素子ＤＩ、１２ａ’・・・第
１の受光素子Ｄ１′、１２ｂ・・・第２の受光素子Ｄ２
．１２ｂ’・・・第２の受光素子Ｄｚ’　、１３ａ・・
・第１の受光素子Ｄｓ　、１３　ｂ・・・第２の受光素
子Ｄａ、１４・・・照明光、１５ａ・・・反射光、１５
ｂ・・・結像光、１５ｃ・・・円環状の結像光、１６・
・・減算器、１７ａ・・・第１減算器、１７ｂ・・・第
２減算器、１８ａ・・・第１加算器、１８ｂ・・・第２
加算器、１９・・・第３減算器、２０・・・第３加算器
、２１・・・反射ミラー、２２・・・円環状反射ミラー
、２３・・・マスキング、２４．２４’・・・円環状ス
リット。 第１図 第２図　　　　　　　第３目 第４図 第５図 （ａ−２ 一晦 第１Ｉ　ｌ￥ｌ 拓１７閃 第１３関

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、照明光学系からの光により対象物を照明し、この対
   象物からの反射光を結像光学系の受光部に集光し、この
   受光部の出力に基づいて前記対象物に焦点を自動的に位
   置合わせすることができるように構成した自動焦点機構
   において、結像光の中央部を遮光することができる遮光
   板を光路中に設けたことを特徴とする自動焦点機構。 ２、結像光学系にビームスプリッタを設け、このビーム
   スプリッタを通過した結像光の集光点位置前方に第１の
   受光素子を設け、この第１の受光素子の前面に遮光板に
   係る第１の遮光板を設け、前記ビームスプリッタで反射
   した結像光の集光点位置後方に第２の受光素子を設け、
   この第２の受光素子の前面に遮光板に係る第２の遮光板
   を設け、前記第１の受光素子と第２の受光素子とに接続
   する減算器を設け、この減算器からの出力が０になるよ
   うに対象物もしくは照明光学系を移動させることができ
   る駆動装置を設けるようにしたものである特許請求の範
   囲第１項記載の自動焦点機構。 ３、第１の受光素子を、上下に２分割した画素から構成
   し、両画素に接続する第１減算器と第１加算器とを設け
   、第２の受光素子を、左右に２分割した画素から構成し
   、両画素に接続する第２減算器と第２加算器とを設け、
   前記第１加算器と第２加算器とに接続する第３減算器を
   設け、前記第１減算器からの出力が０になり且つ第２減
   算器からの出力も０になるように対象物の傾きを制御す
   る姿勢制御装置と、前記第３減算器からの出力が０にな
   るように前記対象物もしくは照明光学系を移動させるこ
   とができる駆動装置とを設けるようにしたものである特
   許請求の範囲第２項記載の自動焦点機構。 ４、結像光学系に遮光板に係る反射ミラーを取付けたビ
   ームスプリッタを設け、このビームスプリッタを通過し
   た結像光の光路中に、上下左右方向に分割した画素から
   なる第１の受光素子を設け、これらのうち対向する上下
   一組の画素に接続する第１減算器と、対向する左右一組
   の画素に接続する第２減算器とを設け、前記反射ミラー
   で反射した結像光の光路中にピンホール板を、その後方
   に第２の受光素子を設け、前記第１減算器からの出力が
   ０になり且つ第２減算器からの出力も０になるように対
   象物の傾きを制御する姿勢制御装置と、前記第２の受光
   素子からの出力が最大となるように前記対象物もしくは
   照明光学系を移動させることができる駆動装置を設ける
   ようにしたものである特許請求の範囲第１項記載の自動
   焦点機構。 ５、反射ミラーの中央部を遮光したものである特許請求
   の範囲第４項記載の自動焦点機構。 ６、結像光学系と遮光板に係る円環状スリットと、その
   後にビームスプリッタを設け、このビームスプリッタを
   通過した結像光の光路中に第１の受光素子を設け、前記
   ビームスプリッタで反射した結像光の光路中に第２の受
   光素子を設け、前記第１の受光素子と第２の受光素子と
   に接続する減算器を設け、この減算器からの出力が０に
   なるように対象物もしくは照明光学系を移動させること
   ができる駆動装置を設けるようにしたものである特許請
   求の範囲第１項記載の自動焦点機構。 ７、照明光学系の出口に遮光板に係る円環状スリットを
   設け、結像光学系にビームスプリッタを設け、このビー
   ムスプリッタを通過した結像光の光路中に第１の受光素
   子を設け、前記ビームスプリッタで反射した結像光の光
   路中に第２の受光素子を設け、前記第１の受光素子と第
   ２の受光素子とに接続する減算器を設け、この減算器か
   らの出力が０になるように対象物もしくは照明光学系を
   移動させることができる駆動装置を設けるようにしたも
   のである特許請求の範囲第１項記載の自動焦点機構。 ８、照明光学系の出口に、光軸方向に移動可能な遮光板
   に係る円環状スリットを設け、結像光学系にビームスプ
   リッタを設け、このビームスプリッタを通過した結像光
   の光路中に第１の受光素子を設け、前記ビームスプリッ
   タで反射した結像光の光路中に第２の受光素子を設け、
   前記第１の受光素子と第２の受光素子とに接続する減算
   器を設け、この減算器からの出力が０になるように前記
   円環状スリットを光軸方向へ移動させることができる駆
   動装置を設けるようにしたものである特許請求の範囲第
   １項記載の自動焦点機構。