JPS6166218A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は高密度磁気記録に適する磁気記録媒体に関する
ものである。

（従来例の構成とその問題点） 近年磁気記録は短波長化と狭トラツク化が進み記録密度
の向上が目覚しく、磁気記録媒体として強磁性金属薄膜
を磁気記録層とするものが多くなってきた。現状では、
Ｃｏ、ＣｏＮＩの部分酸化膜を直接高分子フィルム上に
形成したものが実用化の最短距離にある。

これは、連続入射角変化蒸着法を酸素雰囲気で行なって
得られるが、耐食性、耐すシ傷性などの面から膜中に含
まれる酸素量が多く、従って、飽和磁束密度が小さくな
シ、角形比も０．８以下で、採石ｔｈ力の大きい磁気記
録層は保磁力の分布がブロードとなシ、感度が低い欠点
があシ、よシ高密度化をはかる上では、耐食性、耐すシ
傷性を低下させずに磁気特性を向上することが必要であ
る。

また、Ｃｏ　−０、Ｃｏ　−Ｎｉ−０系の垂直磁化膜に
ついては配向性が不十分で、これについても改良が必要
である。

（発明の目的） 本発明の目的は、従来例の欠点を解消し、磁気特性を改
良した、実用性のある磁気記録媒体を提供することであ
る。

（発明の構成） 本発明の磁気記録媒体は１１ｃｐ構造をもつ垂直結晶上
に部分酸化された強磁性金属薄膜を配したものである。

（実施例の説明） 本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

図において、１は高分子基板、２は垂直結晶でかつｈａ
ｐ構造から成る薄膜、３は部分酸化された強磁性薄膜、
４は保眼層である。

薄膜２は厚さ０．０３μｍないし０．３μｍであるが、
好ましくは０．０５μｍないし０．１５μｍの垂直結晶
で、かつｈｃｐｌ’を造である。すなわちｈａｐ　ＪＲ
造の結晶のＣ軸が膜面にほぼ垂直であるもので、この条
件を満足させることのできる材料としては、Ｂｅ。

Ｍｇ、Ｓｅ、Ｙ＋ＴＩ、Ｚｒ＋Ｈｆ　＋Ｔｅ＋Ｒｅ　ｒ
Ｒｕ　＋Ｏｓ　、Ｚｎ　＋Ｃｄ、Ｔｉ　＋Ｇｄ　、Ｄｙ
　ＩＨＯＩＥｒ　ｌ　Ｔｂ　ｌＴｍ等があげられる。

製法としては電子ビーム蒸着法、スｄ’ツタリング法、
イオンブレーティング法等で、はぼ垂直入射の条件で成
膜するのが好ましい。

また、表面がそれ自身の酸化物で被覆された垂直結晶と
なるよう微量の酸素の介在下で、前記薄膜の形成を行な
ってもよい。

上記のような薄膜の存在によフ、強磁性金属薄膜のうち
部分酸化膜を磁気記録層としたとき、その磁気記録層は
Ｃｏを主成分とするものＫついては特に結晶磁気異方性
が、同種のエピタキシャル成長効果によシ、大きくなり
、異方性分散も税く“なる。従って、面内磁什膜では角
形性が改良され、かつ保磁力の分布がシャープになシ、
垂直磁化膜では垂直配向性が改良される。

いずれの容易方向を利用するにしても、本発明による効
果はＳへ比の向上につながるものである。

本発明に用いることのできる高分子基板は、ポリエステ
ル類、７＋？リオレフイン類、セルローズ誘導体、ポリ
アミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等であるが、ま
たは無機微粒子を含む下塗シ層を配したものでもよい。

本発明に用いることのできる強磁性金属薄膜は、Ｃｏ−
０，Ｃｏ−Ｎ１−０　＋　Ｃｏ−Ｍｎ−０、Ｃｏ−Ｍｇ
−０＋Ｃｏ−Ｔｊ−０＋Ｃｏ−８ｃ　−０＋　Ｃｏ−Ｙ
−０＋　Ｃｏ−Ｚｒ−０、Ｃｏ−Ｈｆ−０，Ｃｏ−Ｒｅ
−（ＬＣｏ−Ｒｕ−０、Ｃｏ−０ｓ−０＋　Ｃｏ−Ｚｎ
−０＋Ｃｏ−Ｃｄ−０＋Ｃｏ−Ｔｔ−０＋Ｃｏ−Ｇｄ−
０ｒ　Ｃｏ−Ｄｙ−０ｒ　Ｃｏ−Ｈｏ−（Ｌ　Ｃｏ−Ｅ
ｒ　−０＋　Ｃｏ−Ｔｂ−０。

Ｃｏ−Ｔｍ−０，Ｃｏ−Ｂｅ−０，Ｃｏ−Ｃｕ−０等で
磁気容易軸方向には無関係である。

本発明に用いることのできる保護膜は公知のものであれ
ば、いずれもよく、必要に応じてパック層を設ける等本
発明の要旨を逸脱しない範囲での変形は自由に実施でき
る。

以下さらに具体的に一実施例について詳細に述べる。

基板として厚さ１１μｍの？リエチレンテレ７タレート
フィルムを用い、入射角±５°のほぼ垂直蒸着を行なっ
た。結晶構造はｘｒ！！回折で調べた。つぎに、電子ビ
ーム蒸着で酸素中で斜め蒸着と、垂直蒸着を行なりた。

比較例は、垂直蒸着薄膜層を設けないものを用いた。

垂直磁化膜の垂直配向け、Ｘ線回折像により求めた。（
ｏｏｏ２）面のロッキング曲線の半値幅Δθ５゜で評価
した。

磁気記ｉ媒体としては、記録波長０．６μｍ、）ラック
幅１１．５μｍの信号の再生出力を信号対雑音比で評価
した。

条件と得られた結果は表にまとめて示した。表から明ら
かなように本発明は磁気特性にすぐれ、結果的に高密度
記録再生で良好なＳ／Ｎ比を達成できるものである。

本実施例以外の他の前述の材料の組み合わせにおいても
、はぼ類似の効果が確認できた。

本発明は磁気テープ、磁気ディスクの形態を問わず実施
できるもので高密度磁気記録に有効である。

（発明の効果） 本発明によれば、ｈｃｐ構造の垂直結晶からなる薄膜上
に部分酸化された強磁性金属薄膜を配することで、磁気
特性を改良し、高密度磁気記録再生を可能にするもので
、その実用的効果は犬である。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例による磁気記録媒体の拡大断面
図である。 １・・・高分子基板、２・・・垂直結晶でｈｃｐｖｇ造
から成るｍ膜、３・・・部分酸化された強磁性薄膜、４
・・・保厩層。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ｈｃｐ構造をもつ垂直結晶上に部分酸化された強磁性金
   属薄膜を配したことを特徴とする磁気記録媒体。