JPS6166936U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂは本考案の化合物蒸気吹付け装置
の実施例を示す図、第２図は従来の化合物蒸気吹
付け装置を示す図である。 １…化合物、２…容器、３…化合物蒸気案内孔
、４…プランジヤー、５…ロツド、６…駆動体、
７…ヒーター、８…ノズル、９…熱電対、１０…
弁受け、１１…保持体、１２…真空容器、１３…
Ｏリング、１４…フイードスルー、１５，１６…
熱伝達制御手段。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) マスクおよびレチクルの白点欠陥装置にイ
   オビーム照射および化合物蒸気吹付けによつて炭
   化膜等のパターン膜を形成させるマスクリペア装
   置に用いる化合物蒸気吹付け装置において化合物
   を収納するための筒状をなす容器と、前記容器内
   に設けられた化合物収納孔および化合物蒸気案内
   孔と、前記容器内に形成されると共に前記化合物
   蒸気案内孔に連結された細管状のノズルと、前記
   化合物収納孔と前記ノズルとの連絡を開状態また
   は閉状態とするためのバルブ体と、前記容器を保
   持するための保持体と、前記バルブ体を作動させ
   るために前記保持体に設けられた駆動体と、前記
   容器の外周に設けられたヒーターと、前記容器と
   前記保持体との間に配置された熱伝達制御手段と
   により構成され、前記容器を降温させる時の降温
   速度を速めたことを特徴とするマスクリベア装置
   用化合物蒸気吹付け装置。 (2) 前記熱伝達制御手段がベルチエ素子であり
   、前記ベルチエ素子に通電することにより前記容
   器側の熱を前記保持体側へ移すことを特徴とする
   実用新案登録請求の範囲第１項記載のマスクリペ
   ア装置用化合物蒸気吹付け装置。 (3) 前記熱伝達制御手段として内部が中空のセ
   ルであり、前記容器が昇温または恒温の状態にあ
   る時には前記セルの内部を減圧状態に保ち、降温
   状態の時には非真空状態にする構造として降温速
   度を速めたことを特徴とする実用新案登録請求の
   範囲第１項記載のマスクリペア装置用化合物蒸気
   吹付け装置。