JPS6167860A - 剥離現像装置 - Google Patents
剥離現像装置Info
- Publication number
- JPS6167860A JPS6167860A JP19015684A JP19015684A JPS6167860A JP S6167860 A JPS6167860 A JP S6167860A JP 19015684 A JP19015684 A JP 19015684A JP 19015684 A JP19015684 A JP 19015684A JP S6167860 A JPS6167860 A JP S6167860A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- peeling
- positioning
- detection
- developing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/34—Imagewise removal by selective transfer, e.g. peeling away
- G03F7/343—Lamination or delamination methods or apparatus for photolitographic photosensitive material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
- B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C63/0013—Removing old coatings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本発明はプリント配線用銅張積層基板等、プリント基板
に貼られた乾式レジストフィルムを剥離現像する剥離現
像装置に関する。
に貼られた乾式レジストフィルムを剥離現像する剥離現
像装置に関する。
〈従来技術〉
プリント配線回路の製造工程において、基板上に粘着さ
れた乾式レジストフィルムをパターンの露光後に基板上
から剥離して、該基板上に所定のパターンにレジストを
形成するパターン形成手段がすでに提案されている。そ
してこの場合、レジストフィルムの接着力は露光される
ことにより著しく低下して剥離しやすくなることから、
基板上に粘着された乾式レジストフィルムにパターンを
露光する際に基板のコーナーも同時に露光することによ
り、露光後に粘着テープ或いは粘着ロールを用いて容易
に乾式レジストフィルムを基板から剥離する方法が提案
されている（特願昭５７−１７０２８８号）。
れた乾式レジストフィルムをパターンの露光後に基板上
から剥離して、該基板上に所定のパターンにレジストを
形成するパターン形成手段がすでに提案されている。そ
してこの場合、レジストフィルムの接着力は露光される
ことにより著しく低下して剥離しやすくなることから、
基板上に粘着された乾式レジストフィルムにパターンを
露光する際に基板のコーナーも同時に露光することによ
り、露光後に粘着テープ或いは粘着ロールを用いて容易
に乾式レジストフィルムを基板から剥離する方法が提案
されている（特願昭５７−１７０２８８号）。
しかしながらこの方法ではパターン露光する際に同時に
コーナーをも露光するものであるから、露光の際に用い
るマスクを新たに作り直すなどマスクの改良が必要とな
る。
コーナーをも露光するものであるから、露光の際に用い
るマスクを新たに作り直すなどマスクの改良が必要とな
る。
またコーナーの露光だけを別に行なう場合には工程数が
増加することになる。
増加することになる。
一方、この従来の方法ではコーナーを確実にスポット露
光するための位置決め機構が必要となり、またコーナー
から剥離してゆくためには前記基板を所定の位置関係に
保持した状態で剥離開始位置に搬送する必要がある。
光するための位置決め機構が必要となり、またコーナー
から剥離してゆくためには前記基板を所定の位置関係に
保持した状態で剥離開始位置に搬送する必要がある。
〈発明の目的〉
本発明は上記問題を解決し、マスクの改良をすることな
く、またコーナー露光のための特別な工程を必要とする
ことなく、正確な位置関係を保持してコーナー露光及び
剥離が行える剥離現像装置の堤供を目的とする。
く、またコーナー露光のための特別な工程を必要とする
ことなく、正確な位置関係を保持してコーナー露光及び
剥離が行える剥離現像装置の堤供を目的とする。
〈発明の構成〉
本発明は乾式レジストフィルムを露光後に基板から剥離
する剥離現像装置であって、複数のベルトを互に間隔を
隔てて平面的に配設して基板を載置搬送するコンベア装
置と、基板の先端角と同じ角度をなす２直線上に沿って
配置した複数個の位置決めピンを前記ベルトの間隔から
一定のタイミングで出没自在に突出させる位置決め装置
と、基板が前記位置決めピンにより所定の位置に位置決
めされたことを検出する検出装置と、検出装置からの検
出信号によって位置決めされた基板の先端コーナー部が
位置する地点に向けてスポット光を照射する照射装置と
を有することを特徴とする剥離現像装置である。
する剥離現像装置であって、複数のベルトを互に間隔を
隔てて平面的に配設して基板を載置搬送するコンベア装
置と、基板の先端角と同じ角度をなす２直線上に沿って
配置した複数個の位置決めピンを前記ベルトの間隔から
一定のタイミングで出没自在に突出させる位置決め装置
と、基板が前記位置決めピンにより所定の位置に位置決
めされたことを検出する検出装置と、検出装置からの検
出信号によって位置決めされた基板の先端コーナー部が
位置する地点に向けてスポット光を照射する照射装置と
を有することを特徴とする剥離現像装置である。
〈実施例〉
第１図から第３図に本発明の実施例を示す。第１図は実
施装置の斜視図、第２図は位置決め装置の正面図、第３
図は基板へのスポット光の照射位置を示す図である。
施装置の斜視図、第２図は位置決め装置の正面図、第３
図は基板へのスポット光の照射位置を示す図である。
複数の無端ベルｌ−２，２，２・・・を互に間隔を隔て
て平面的に配置し、これを図示しない駆動源からの駆動
により回転させることにより、基板１をベルト２上に載
せて搬送するコンベア装置を構成している。そして搬送
される基板１をベルト２上で一定の位置関係に位置決め
する位置決め装置は、基板の先端角θと同じ角度をなす
２直線上に沿って配置した複数個の位置決めピン３，３
・・・を前記ベルト２，２・・・の間隔から一定のタイ
ミングで出没自在に突出させる。この位置決め装置は第
２図に示すようにエアシリンダ８等で昇降する昇降台９
上に移動調節可能に取り付けられている。
て平面的に配置し、これを図示しない駆動源からの駆動
により回転させることにより、基板１をベルト２上に載
せて搬送するコンベア装置を構成している。そして搬送
される基板１をベルト２上で一定の位置関係に位置決め
する位置決め装置は、基板の先端角θと同じ角度をなす
２直線上に沿って配置した複数個の位置決めピン３，３
・・・を前記ベルト２，２・・・の間隔から一定のタイ
ミングで出没自在に突出させる。この位置決め装置は第
２図に示すようにエアシリンダ８等で昇降する昇降台９
上に移動調節可能に取り付けられている。
基板１が位置決めピン３により所定の位置に位置決めさ
れたことを検出する検出装置として２個の光電センサ４
．４が昇降台に設けられている。
れたことを検出する検出装置として２個の光電センサ４
．４が昇降台に設けられている。
この２つの光電センサ４，４は、′基板１が所定位置に
位置決めされた状態で基板１の先端部の左右の縁部によ
りそれぞれ遮光されるような位置に設けている。これに
より両光型センサ４，４がその受光を遮られることによ
って所定位置に基板１があることを検出する。光電セン
サ４による検出信号は制御回路部１０に入力され、照射
装置及び位置決め装置を制御する。
位置決めされた状態で基板１の先端部の左右の縁部によ
りそれぞれ遮光されるような位置に設けている。これに
より両光型センサ４，４がその受光を遮られることによ
って所定位置に基板１があることを検出する。光電セン
サ４による検出信号は制御回路部１０に入力され、照射
装置及び位置決め装置を制御する。
照射装置は電源ボックス５、ＵＶランプボックス６、オ
プティカルファイバ７を有し、オプティカルファイバ７
の先端部の光照射ロアａが位置決めされた基板１の先端
コーナー部を第３図に示すようにスポット照射する位置
に配置される。
プティカルファイバ７を有し、オプティカルファイバ７
の先端部の光照射ロアａが位置決めされた基板１の先端
コーナー部を第３図に示すようにスポット照射する位置
に配置される。
次に作用について説明する。乾式レジストフィルムを貼
着された基板１が無端ベルト２上を進行方向Ｓに進行し
てくる。この時、あらかじめ位置決めピン３を上昇させ
た状態で待機させてお（。
着された基板１が無端ベルト２上を進行方向Ｓに進行し
てくる。この時、あらかじめ位置決めピン３を上昇させ
た状態で待機させてお（。
この状態で、進行してきた基板１は位置決めピンに当接
し、その姿勢を矯正せられて第１図に示す如くの所定姿
勢に位置決めされる。するとこれを光電センサ４が検知
し、検出信号を発する。この検出信号によりオプティカ
ルファイバ７の光照射ロアａからスポット光が一定時間
照射され、基板ｌの先端コーナー部が第３図の斜線で示
す如く露光される。露光が終わると昇降台９が下がって
位置決めピン３による基板１の停止が解かれる。基板１
は位置決めピン３による所定姿勢を保った状態でベルト
２上を進行し、その先端コーナー部から図示しない剥離
装置に正確に移行して、粘着テープあるいは粘着ロール
等を用いた剥離装置により露光された先端コーナー部か
らレジストフィルムが剥離される。
し、その姿勢を矯正せられて第１図に示す如くの所定姿
勢に位置決めされる。するとこれを光電センサ４が検知
し、検出信号を発する。この検出信号によりオプティカ
ルファイバ７の光照射ロアａからスポット光が一定時間
照射され、基板ｌの先端コーナー部が第３図の斜線で示
す如く露光される。露光が終わると昇降台９が下がって
位置決めピン３による基板１の停止が解かれる。基板１
は位置決めピン３による所定姿勢を保った状態でベルト
２上を進行し、その先端コーナー部から図示しない剥離
装置に正確に移行して、粘着テープあるいは粘着ロール
等を用いた剥離装置により露光された先端コーナー部か
らレジストフィルムが剥離される。
く効果〉
本発明は以上の構成よりなり、送られて（る基板の姿勢
を自動的に所定姿勢に整えることができると共に、同時
に基板の先端コーナ部にスポット光を露光することがで
きるので、その後の乾式レジストフィルムの剥離が正確
な位置決めと露光により容易かつ確実に行なわれる。ス
ポット露光は基板位置決め時に同時に行なうことにして
いるので、スポット露光専用の工程を必要としない。ま
たスポツｉ・光の照射であるので基板位置決め時にごく
わずかな時間を追加するだけですむ。
を自動的に所定姿勢に整えることができると共に、同時
に基板の先端コーナ部にスポット光を露光することがで
きるので、その後の乾式レジストフィルムの剥離が正確
な位置決めと露光により容易かつ確実に行なわれる。ス
ポット露光は基板位置決め時に同時に行なうことにして
いるので、スポット露光専用の工程を必要としない。ま
たスポツｉ・光の照射であるので基板位置決め時にごく
わずかな時間を追加するだけですむ。
そして本発明によれば基板の位置決めからスポット照射
を全自動で行なうことができる。
を全自動で行なうことができる。
第１図から第３図は本発明の実施例を示し、第１図は実
施装置の斜視図、第２図は位置決め装置の正面図、第３
図は基板へのスポット光の照射位置を示す図である。 １一基板 ２−無端ベルト ３−・−位置決めピン ４−・光電センサ ９−昇降台 ７−・オプティカルファイバ
施装置の斜視図、第２図は位置決め装置の正面図、第３
図は基板へのスポット光の照射位置を示す図である。 １一基板 ２−無端ベルト ３−・−位置決めピン ４−・光電センサ ９−昇降台 ７−・オプティカルファイバ
Claims (1)
- 乾式レジストフィルムを露光後に基板から剥離する剥離
現像装置であって、複数のベルトを互に間隔を隔てて平
面的に配設して基板を載置搬送するコンベア装置と、基
板の先端角と同じ角度をなす２直線上に沿って配置した
複数個の位置決めピンを前記ベルトの間隔から一定のタ
イミングで出没自在に突出させる位置決め装置と、基板
が前記位置決めピンにより所定の位置に位置決めされた
ことを検出する検出装置と、検出装置からの検出信号に
よって位置決めされた基板の先端コーナー部が位置する
地点に向けてスポット光を照射する照射装置とを有する
ことを特徴とする剥離現像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19015684A JPS6167860A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 剥離現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19015684A JPS6167860A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 剥離現像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6167860A true JPS6167860A (ja) | 1986-04-08 |
Family
ID=16253351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19015684A Pending JPS6167860A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 剥離現像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6167860A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1080647C (zh) * | 1995-10-30 | 2002-03-13 | 新日本制铁株式会社 | 彩色静电记录设备 |
-
1984
- 1984-09-11 JP JP19015684A patent/JPS6167860A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1080647C (zh) * | 1995-10-30 | 2002-03-13 | 新日本制铁株式会社 | 彩色静电记录设备 |
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