JPS6170436A - 円柱内屈折率分布測定方法 - Google Patents

円柱内屈折率分布測定方法

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JPS6170436A
JPS6170436A JP59191645A JP19164584A JPS6170436A JP S6170436 A JPS6170436 A JP S6170436A JP 59191645 A JP59191645 A JP 59191645A JP 19164584 A JP19164584 A JP 19164584A JP S6170436 A JPS6170436 A JP S6170436A
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神野 博
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/412Index profiling of optical fibres

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野〕 本発明は、元ファイバ、屈折率分布型レンズ等円形断面
内に屈折率分布全有する円柱内の屈折率分布を測定する
円柱同屈折軍分布1り定方性に関し・特に、外縁部と中
心部との屈折率差が大きい場合にも的確に良好な分解能
をもって屈折率分布を測定し得るようにしたものである
(従来技術〕 一般に、元ファイバ、屈折率分布型レンズ等円形断面円
に屈折率分布?有する円柱は、元技術分野における応用
範囲が極めて広く、利用価値が極めて高いが、この楕円
柱1;、内部の屈折率分布の形状が円柱の光学的@能に
及ぼす影響が極めて大きいので、屈折率分布の測定方法
が従来種々開発されている。かかる従来の円柱内屈折率
分布測定方法のうち、円柱の軸に垂直に入射した党勝を
用いて非破壊で屈折率分布を測定するものにはつぎの測
定方法がある。
すなわち、第5図に示すよりに、円柱のINJをX軸と
するxyz座標を設定したときに、円柱の軸に垂l、す
なわち、Z軸に平行に間隔yをおいて円柱に入射した光
線は、円柱内部の屈折率分布に応じて光路が変化し、Z
軸となす偏向角張をもって円柱から出射する。したがっ
て、偏向角張は円柱内の屈折率分化を反映したものとな
る。かかる偏向角φを入射位置の座標yの関数串ヴ)と
して表わしたもの金偏同関数と称し、この偏向関数工(
y)により円柱内屈折率分布を求める方法が従来から開
発されている。この測定方法は、非破壊測定が可能では
あるが、偏向角を測定しなければならないので、円柱の
周囲の媒質が有する屈折率が円柱周縁部の屈折率と等し
いとき、すなわち、円柱をインデックスマツチング液に
浸し次ときにのみ+、ll定可馳という限界がある。ま
之、(M同関数干υ)から円柱内屈折率分布を求める際
の基礎となる円柱内の光路全表わす方程式は、円柱の外
周がインデックスマツチング液である場合のみに解が得
られているに過ぎない。さらに、この1lull定方法
が実際に通用されているのは、円柱の中心部と周縁部と
の屈折率の差が小さい元ファイバをなすプリフォームす
なわち円柱の間合のみであり、その屈折率差が大言い屈
折率分布型レンズの場合に適用することは従来考えられ
ていiかった。
上述した偏同関aφぴ)を才める従来の測定方法を列挙
するとつぎのとおりでちる。
((転) レーザビーム走査法 細く絞ったレーザビームを円柱の軸に垂直に入射させ、
七のレーザビームの出射方向を測定して1接に偏向角張
を求める。入射位置yを種々変化させて偏向関数O(y
)を得、その偏向関数φ(y+から円柱内屈折率分布全
京めるのであり、原理的lIC1″ll。
極ので簡明でるるが、偏同角坐を正確に測定するのが容
易でにない。
CD)  フォーカシング法 円柱の軸に垂lに均一に平行党を入射させ念ときの出射
元の強度分布から偏向関数■(支)を求めて円柱内屈折
率分布を得る。この方法は、元の強匹変化を測定するの
であるから、上述したように出射党の角度を測定するの
よりに簡単である。しかしながら、入射光を互いに交差
しない均一な平行凭シτするという実際にはらυ得ない
条件全前提としてお)・したがって、測定の窓間分解罷
に難点がある。
(C)  受量フィルタ法I 第6図に示すように、インデックス・マツチング液に浸
したプリフォームすなわち円柱Eの軸方向に垂直に入射
し之し−ザ平行党は、円柱Eを通過して結像レンズFに
よシ屈折した後に像面工に違する途中の焦点面内では、
円柱Eによる偏向角で決まる焦点からずれた点を通る。
その焦点面内に、2間フィルタとして、一定角速度で回
転する元チョッパGを設けて、党を断伏させると、その
断続時間は党の通過点の焦点からのずれ量によって決ま
る。したがって、像面工に光検出器Jを設けて断続信号
を発失させ、時間間隔測定カウンタKに供給して尤の断
続時間?計測すれば、偏向角蓋を求めることができる。
円柱Eをy7同−すなわち軸および入射光に垂直の7同
に移動させれば、偏向関数φヴ、を求めることができ、
その偏向関数φ(y、から屈折率分布を求めることがで
きる。
(d)!間フィルタ法n 第7図に示すように、円柱りの軸に垂直に均一に平行−
)tを入射ぢせ、シリンダレンズMの焦点面に窓間フィ
ルタNを配設して、その窓間フィルタの像Rの形状から
偏向関数Q(Y+を求め、その偏向関数1(Y)から屈
折率分布を求める。
(問題点) 円柱内屈折率分布に関する上述した従来の各り1j定方
法は、いずれも、非破壊測定が可能ではあるが、偏向角
を求めなければならないのであるから、円柱の周囲の媒
質の屈折率が円柱外縁部の屈折率と等しいとき、すなわ
ち、円柱がインデックス・マツチング液に潰されている
ときにのみ適用可能という測定可能の限界がある。また
、偏向関数エン)から円柱内屈折率分布を求める際の基
礎とする円柱内光路を表わす方程式は、円柱の外周媒質
がインデックス・マツチング液である場合にのみ解き得
るものである。しかも、これらの測定方法が実際に鵜適
用されているのは、円柱の中心部と外縁部との屈折率の
差が小さい元ファイバとなる円柱についてのみであり、
その屈折ヱ差が大きい屈折率分布型レンズへの適用は従
来全く考えられていない、という欠点があった。
しかして、元ファイバについては、線引きして光ファイ
バにする前のプリフォーム製造時におけるわずかな制御
誤差に二る円柱内屈折率分布の変動が元ファイバの伝送
特注を犬きく左右するが・太いプリフォームの段階にお
ける屈折率分布が1、細い党7アイパに線引きした後に
もほぼそのまま保たれている。したがって、プリフォー
ム製造時に、屈折率分布を測定した結果を製造工程の制
御に帰還し得れば、元ファイバの製品管理を精密に行な
うことができ、また、製造したプリフォームの屈折率分
布を非破壊で測定して良好な形状の屈折率分布差呈する
もののみを選択して線引きすれば、元ファイバ製造の歩
留シを著しく向上させることができる。
−1、屈折率分布型レンズは、イオン交換法、イオン注
入法、中性子照射法、昼分子拡散重合法、モレキュラー
スタッフインク法等によシ製作されるものであり、イオ
ン交換法においては、Tl” 。
Os” 、 kg+などの電子分極率の大きいイオンを
含む浴融塩と高温で接触させ、イオンの拡散によってイ
オンの濃度分布を生じさせ、屈折率分布を形成させる。
この拡散過程には半経験的手法の組合わせが多く用いら
れ、理論的な解明が十分にはなされていない。しかも、
屈折率分布の形状はレンズの1能に大きく影響するので
、拡散過程の精密な制御が不可欠である。したがって、
屈折率分布形成の拡散過程において、屈折率分ifC非
破壊で唄1j定した結果によシ拡散過程を帰還制御し得
れば、種々所望形状の屈折率分布を正確に実現すること
ができる。また、製造した屈折率分布差レンズの屈折率
分布を非破壊で測定し、良好な形状の屈折率分布を肩す
るものを選択すれば、製品管理が容易となる。
なお、前述した従来の各測定方法において円柱を浸漬す
ることを必須の要件とするインデックス・マツチング液
は、その製造に多大の労力と時間とを要するうえに、か
かる測定条件は円柱が種々のポ視/clかれる製造工程
千における適用をほとんど不可能とし、測距結果に基づ
く製造過程の帰還制御には全く無力となる。
(発明の目的) 不発明の目的は、上述した従来の問題を解決してその欠
点を除去し、測定の対象とする円柱内の屈折率分布差の
大小に拘わυなく、しかも、円柱の周囲の測定環境にも
拘わりなく適用可能にした円柱内屈折率分布測定方法を
提供することにある。
不発明の他の目的は、円柱内屈折率分布測定結果による
円柱!A造過程の精密な帰還制御を可能にした円柱内屈
折率分布測定万′f:を提供することにちる。
不発明のさらに他の目的は、到達対象の円柱の外周をイ
ンデックス・マツチング液によって囲む必要のない円柱
内屈折率分布測定方法を提供することにある。
不発明のさらに他の目的は、円柱の製品管理を容易にし
た円柱内屈折率分布測定方法と提供することにある。
本発明のぜらに他の目的は、屈折率分布差が大きく、党
結合器、元方岐器、元コネクタ、元減衰器、元スイッチ
など、光通信システム、複写機、光ディスク等の技術分
野における周辺元素子として有用な屈折率分布型レンズ
が呈して凸レンズと同様に作用させるガラス円柱内の半
径方向にほぼ放物線状に変化している屈折率分布を求め
るに適した円柱内屈折率分布測定方法を提供することに
ある。
(発明の構成) すなわち、本発明円柱同屈折率分布測定方法に、円柱の
軸に垂直の平面上において互いに平行に点P1、P2.
・・・・・、Pnから前記円柱に入射させた8本の光線
を、点Q1、Q2.・・・・・、Qnからそれぞれ出射
させるとともに、前記平「上における前記円柱内の屈折
率分布ft表わす関数を仮定して光路を算出したときに
それぞれ出射させるべき点Q工′。
Q2′、・・・・・、Qn′を求め、真の出射点Q1、
Q2゜・・・・・、Qnと仮定の出射点q工/ 、 Q
2/、・・・・・、Qn′とのそれぞれの位置の差の二
乗の和が最小となるように修正した前記関数によって前
記円柱内の屈折率分布を表わすことを特徴とするもので
ある。
(実施例り 以下に図面を参照して実施例につき本発明の詳細な説明
する。
前述した従来の円柱内屈折率分;f5測定方法に、円柱
の軸に垂lに入射した元ビームの入射位置yに対する出
射光の偏向角張を測定して偏向関数I(y)を求め、円
柱内屈折率分布を得るものであるが、偏向角Tは円柱外
2+1媒質の屈折率が円柱外縁部の屈折率と等しくない
とき、すなわち、円柱の周囲をインデックス・マツチン
グ液で囲んでないときにに、九ビームが円柱と周囲との
境界で屈折するので、偏向角の測定が困難であった。ま
た、偏向関数1(y)から円柱内屈折率分布を京める基
礎となる円柱内光路を表わす方程式も円柱の周囲をイン
デックス・マツチング液で囲んだ場合についてのみ解が
侍られていた。
これに対し、本発明測定方法においては、第1図に示す
ように、円柱の軸に垂直に入射した元ビームが出射する
ときの偏向角張ではなく、円柱における出射光の位置Q
K基づいて円柱内屈折率分布を求める。すなわち、円柱
内屈折率分布の測定に出射位置Qを用いるのであるから
、円柱の外周における元ビームの屈折には全く影響?受
けずりで円柱内屈折率分布を測定することができる。し
たがって、円柱の周囲をインデックス・マツチング液で
囲う必要が全くない。
また、本発明測定方法の実施を可能にするために、円柱
外周の屈折率にはよらずに円柱内光路を表わし得る方程
式は、後述するように、近似を全く用いずに導出しであ
る。したがって、円柱外周の屈折率によらず、また、円
柱の外縁部と中心部との屈折率の差が大きい場合にも、
本発明方法を遠用して円柱内屈折率分布を測定すること
ができる。したがって、冒頭に列挙した従来の測定方法
において一同角を♂める替りに出射位置を求めるよりに
すれば・かかる従来方法と同様の手伝によって不発明測
定方法を実施することが可能とな垢特に、レーザビーム
法および2間フィルタ法の手法乃至測定装置を用いて本
発明測定方法を実施するのが好適である。
そこで・まず・不発明方法による円柱内屈折率分布測定
の動作原理を説明する。
第2図に示す円柱の断面において、円柱の軸に岳直に点
P工で入射した元ビームは、円柱内の屈折率変化により
光路が曲がり、点Q工で出射する。なお、図においては
、点P工およびQ工における円柱の外縁部と周囲との屈
折率の相違による光路の屈折に示していないが、不発明
方法においては、かかる屈折率の相違による点P工およ
びq工での光路の屈折は何ら問題とはならない。いま、
点P工およびQi Kついて、1=1.z、・−、nと
してn不の光ビームを円柱に通し、それぞれの光ビーム
の入射点p  、p  、・・、Pnに対する出射点q
工。
Q2 、・・、Qnの位置関係を測定し、これらの入射
点および出射点の相対位置関係に基づき、つざのように
して円柱内屈折率分布を京める。
(1)  円柱内の屈折率分布を円柱の半径rの関数と
して適切に仮定し、F < r 、 al、 a、2.
 ・−、a:r、)と表わ丁。ここに、a1、a2.・
・・、a、、は屈折率分布の形状を定めるパラメータで
ある。
(2)  点P4 (1=1.2 、 =・、 n )
からそれぞれ入射した元ビームの光路を屈折率分布が関
数F(r 、 a、 、 a、 、−、&rn)によっ
てaわテレル場合について第2図に点線で示すように算
出し、計ス上の仮の出射点Q’、C4=1.2.・・・
、n)を求める。かかる光路算出に用いた関数F(r 
a□、a2.・・・、am)が真の屈折率分布を表わし
ている場合には、実際の出射点Q1.(i=1.2゜・
・・、n)と計算上の仮の出射点Q了とが一致すること
になシ、この関数li’(r、a1、a2.・・・・・
am)が真の屈折率分布を表わす関数と相違しておれば
、その相違に対応して真の出射点Q工と仮の出射点q工
との位置がずれることになる。
(3)上述のようにして釆めた仮の出射点Q工と真の出
射点Qiとの位置の差の二乗の和が最小となるように関
数Fの各パラメータ&x 、 az 、・・・・。
amを修正して上述の光路計算を繰返し行なう。
第2図に示すように、各出射点Q1、q金の位置を極座
標(r、θ〕で示した場合には、双方の出射点Q1、Q
工の位置の差につき が最小となるように各パラメータa1、a2.・・・。
amを修正する。この最小二乗法の計算は非線形となり
、上述の値Δが最小となったときの各パラメータa1、
a2.・・・、 aTnを用いた関数Fが求める円柱内
屈折率分布を表わすことになる。
この最小二乗法においては、関数Fを構成するパラメー
タの個数mを変えることにより、屈折率分布測定の目的
に応じて、屈折率分布の概略の形状、ちるいは、詳細な
形状をそれぞれ求めることができる。また、最小二乗法
の適用により、各入射点、各出射点の位置測定の誤差の
影響を極めて小さくすることができる。さらに、入射点
および出射点の個数nとパラメータの個数mとの間には
n≧mなる関係が成立つようにし、nがmK比して大き
ければ大きいほど、上述の測定誤差の影響を小さくする
ことができる。
なお、この円柱内屈折率分布測定方法によれば、上述し
たように円柱の軸に垂直の断面内における屈折率分布を
求め得るのみならず、その断面の位置を軸方向に移動さ
せながら上述した測定および計算を繰返すことにより、
軸方向の円柱内屈折率分布も求めることができる。
上述のような本発明測定方法の有用性を計算により確認
した例について述べる。
第3図に示すように、光源Aからの元ビームをビンホー
ルもしくはスリットBにより細く絞9、円柱Cの軸に垂
Iに入射させ、円柱内の屈折率変化によシ屈折して出射
した元ビームの位置をセンサDにより捉えると、セ/す
D上の元ビームの位置から円柱外周上の出射位置がXま
る。かかる状筈において光源Aもしくは円柱Cを移動さ
せて、種々の入射位置に対応した出射位置を求める。
実際の屈折率分布型レンズについて得られた中心の屈折
i N0= 1.602および収束パラメータg=0.
3000 ax−’を用いて、半径rの位置における屈
り 折INN (r 、 H8,g ) tNo(1−Cg
r)”)”  ト’aわし得る屈折率分布と有する半径
1間のガラス円柱全仮定し、第3図示の構成によって測
定するものとする。センサDは円柱Cの中心から151
rm離れでいるものとし、元ビームは円柱Cの片側に1
715311の間隔で平行に15不入射するものとし、
円柱Cの周囲の媒TRヲインデックス・マツチング液、
水および空気の3種類とした場合に対して、各入射光ビ
ームにつき光路の例えば後述するような微分方程式を数
値的に解き、サンサD上の党ビームの位dを求めて測定
値とし次。この測定値を用い、つぎに述べるようにして
屈折率分布を逆算した。
(1)  上述の測定値から元ビームの円柱Cからの出
射位置Ql(i=1.2.・・・、15)を求める。
(2)屈折率分布を表わすパラメータの初期値N0′。
g′を適切に定める。
(3)屈折率分布をパラメータN。′0g′によって表
わしたときの元ビームの円柱Cからの出射位置q;(1
,z、・・・、15)を微分方程式を数値的に解くこと
によって求める。
(4)測定値から求めた出射位置q工とパラメータから
算出した仮の出射位置q1との差の二乗の和が最小とな
るように最小二乗床に従ってパラメータH0/ 、 g
/を修正する。
(5)上述の修正を反復してパラメータN0/ 、 g
/の値が収斂した値のパラメータN。′1g′を円柱同
屈折率分布を表わす係数とする。
最初に仮定したパラメータN0およびどの値を、円柱の
周囲の媒質がインデックス・マツチング液、水および仝
気のときについて第1表に示す。表中、括弧内はそれぞ
れの初期値でおる。なお、この初期値が実際の値とはか
なりかけ離れていても屈折率分布を求めることができた
。ガラス円柱の外縁部と周囲の媒質との屈折率の差が大
きい場合に、元ビームは円柱と媒質との境界で大さく屈
折し、円柱内屈折率分布の元ビームの屈折に対する寄与
が相対的に小さくなるので、円柱内屈折率分布の算出が
容易ではなくなることが予想されるが、本発明測定方法
においては、使用するパラメータN0.gがいずれも円
柱周囲の媒質には関係なく、仮定した値とよく一致しf
c結果を得ることができた0 円柱周囲の媒質がインデックス・マツチング液、水およ
び突気であった場合における計算結果の例を第4図(a
l 、 (blおよび(C)にそれぞれ示す。図中、曲
線Aは仮定した屈折率分布、曲線Bは計算の結果得られ
た屈折率分亜でおり、両者はよく一致して全く重なって
いる。また、曲線Cは両者の差を拡大して示しておシ、
本発明測定方法の著しい有効aft明らかにしている。
第1表 (効果り 以上の説明から明らかなように、不発明によれば、つさ
゛のようを顕著な効果を挙げることができる。
(1)円柱外周の媒質の屈折率には寄らず((円柱内屈
折率分布の測定が可屈となp、測定時の環境に対する制
約がなくなるので、円柱状光学素子の製造工程の制御お
よび品3j管理に極めて有用である。
(2)  元ファイバのプリフォームにもとよシ、円柱
の外縁部と平心部との屈折率差の大きい屈折率分布型レ
ンズの内部屈折率分布の測定にも適用し侍る0 (3)最小二乗法を用いるので、測定誤差の影響を著し
く経減することができる。
(4)屈折率分布を表わす関数のパラメータの個数を変
えることによυ屈折率分布の形状を、目的に応じて、概
略的にも、また、詳細にも表現することができる。
ここで、円柱内の光路を表わす方程式導出の例を示す。
いま、第5図(a)に示すよりに、円柱の屈折率nが中
心0からの距離rのみの関数n=n(r)のときの光路
を考え、図示のl角座標から極座標に変換して光路を表
わす二次元微分方程式を求めるにらfcフ、光路に沿う
線素をaSとすると、d   ax   x  an −(n −) = −−(1) as   ds   rar ここで、 (1ンXy−(2)’XX=Oおよび入射点
P工からの党略上の点Pにおける接線がX軸となす角を
αとし、その接線とili、90Pとのなす角をψとす
ると、  ・ nrs工nψ=a        (4)−万、幾何学
的には、 (4)式および(5)式の関係から、光路は極座標によ
りつぎのように表わされる。
ついで、屈折率分布型レンズの軸に垂直に入射しfcY
軸に平行な光ビームの光路を考えるにあたり、レンズの
半径をr。とじ、周囲の媒質の屈折工金nやとすると、
定数aは、 a= nCro)−rO8in(−cpl) =−no
roSin 1Pl(7)とな夛、また、屈折の法則に
より、 したがって、 (7)式および(8)式から となり、この関係を(6)式に代入すると・第5図(b
)において、点P□から点P2′1でに距離rの減少と
ともに角Oが減少し、点P2から出射点P8までは距離
rの増別とともに角θが増別するので、 入射点Pよから距離rの最小点P2″&では距離rの最
小点P、から出射点P、まではこの式を用いて逐次近似
によシ最小距Mrmiユを求め次。図中、点Q1.Q、
は光路上の距離r′の位置にらシ、同様につぎの弐全用
いて逐次近似によシ求め念。
したがって、 と表わされる。以上の微分方程式をルンゲ・フッタ・ジ
ル法を用いて数値的に解けば屈折率分布型レンズの円柱
内屈折率分布を求めることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は不発明方法による円柱内屈折率分布測定の態様
を示す線図、 第2図は同じくその測定原理を示す線図、第8図は同じ
くその測定装置の概略溝底を示す線図、 第4図(a+ 、 (b) 、 (c)は同じくその測
定結果の例をそれぞれ示す%住血線図、 第5図(a) 、 (b) 、 (c)#si同じくそ
の屈折率分布’を衣わす方程式導出のためにそれぞれ用
いる線図、第6図に従来方法による円柱内屈折率分布測
定の態様全示す線図、 第7図に同じくその測定装置の構成配置の例を示す線図
、 第8図は同じくその構成配置の他の例を示す線図である
。 A・・・光源、B・・・ピンホール(スリン))、C,
L・・・円柱、D・・・センサ、M・・・シリンダレン
ズ、N・・空間フィルタ、R・・・空間フィルタの像。 特許出願人 京 都 大 学 長 ; 第3図 に\ 束目発棟論 嘆5命滌−唱 ¥萼・員←

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、円柱の軸に垂直の平面上において互いに平行に点P
    _1、P_2、・・・、P_nから前記円柱に入射させ
    たn本の光線を、点Q_1、Q_2、・・・、Q_nか
    らそれぞれ出射させるとともに、前記平面上における前
    記円柱内の屈折率分布を表わす関数を仮定して光路を算
    出したときにそれぞれ出射させるべき点Q_1′、Q_
    2′・・・、Q_n′を求め、真の出射点Q_1、Q_
    2、・・・、Q_nと仮定の出射点Q_1′、Q_2′
    、・・・、Q_n′とのそれぞれの位置の差の二乗の和
    が最小となるように修正した前記関数によつて前記円柱
    内の屈折率分布を表わすことを特徴とする円柱内屈折率
    分布測定方法。 2、特許請求の範囲第1項記載の測定方法において、前
    記円柱の半径をrとし、前記平面上における前記円柱内
    の屈折率分布の形状を決めるパラメータをa_1、a_
    2、・・・、a_mとして、前記関数をF(r、a_1
    、a_2、・・・、a_m)と表わし、前記光線の本数
    nと前記パラメータの個数mとの間にn≧mなる関係を
    もたせたことを特徴とする円柱内屈折率分布測定方法。 3、特許請求の範囲第1項または第2項記載の測定方法
    において、前記平面を前記円柱の軸方向に移動させるこ
    とにより、前記軸方向における前記円柱内の屈折率分布
    を求めることを特徴とする円柱内屈折率分布測定方法。
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