JPS6173030A - 振動センサ - Google Patents
振動センサInfo
- Publication number
- JPS6173030A JPS6173030A JP19559584A JP19559584A JPS6173030A JP S6173030 A JPS6173030 A JP S6173030A JP 19559584 A JP19559584 A JP 19559584A JP 19559584 A JP19559584 A JP 19559584A JP S6173030 A JPS6173030 A JP S6173030A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- light
- vibration sensor
- vibration
- detected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
- G01H9/004—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors
- G01H9/006—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors the vibrations causing a variation in the relative position of the end of a fibre and another element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は、被検物体の振動を検出する振動センサに関す
る。
る。
（ロ）従来技術とその問題点
従来、振動計などに設けらる振動センサには、電気、磁
気を応用したちのがあるが、このような電気、磁気の変
化から振動量を検出するものでは、振動以外のノイズを
拾うことか多く、測定感度に難点かある。しかし、振動
センサの検出出力ら電気信号として伝送されるため、伝
送路上での′：ｒｉ磁誘導雑音が問題となる。
気を応用したちのがあるが、このような電気、磁気の変
化から振動量を検出するものでは、振動以外のノイズを
拾うことか多く、測定感度に難点かある。しかし、振動
センサの検出出力ら電気信号として伝送されるため、伝
送路上での′：ｒｉ磁誘導雑音が問題となる。
（ハ）目的
本発明は従来のかかる問題点を解消し、ノイズの影響を
受けにくく、しかも軽量、コンパクトな振動センサを提
供することを目的とする。
受けにくく、しかも軽量、コンパクトな振動センサを提
供することを目的とする。
（ニ）構成
本発明は上述の目的を達成するため、振動物体に取り付
（ｊられろ基板をα；１え、この法板には一方向に関数
的に光導波損失を示す光導波路が形成され、この光導波
路の対向位置には該光導波路からの散乱光を検出するプ
ローブが配置されて振動センサを構成している。
（ｊられろ基板をα；１え、この法板には一方向に関数
的に光導波損失を示す光導波路が形成され、この光導波
路の対向位置には該光導波路からの散乱光を検出するプ
ローブが配置されて振動センサを構成している。
従って、光量から光導波路に光を導入すると、該光導波
路から垂直方向に散乱光が放射されるので、この散乱光
をプローブで検出する。振動物体の振動により鋸板はプ
ローブに対して一方向に移動し、プローブに集光される
上記散乱光の光量が変化リーる。これによって振動物体
の振幅が検出され、また、検出される光量の変化速度に
よって振動物体の振動周波数か検出される。
路から垂直方向に散乱光が放射されるので、この散乱光
をプローブで検出する。振動物体の振動により鋸板はプ
ローブに対して一方向に移動し、プローブに集光される
上記散乱光の光量が変化リーる。これによって振動物体
の振幅が検出され、また、検出される光量の変化速度に
よって振動物体の振動周波数か検出される。
（ホ）実施例
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は振動センサの構成図である。この実施例の振動
セッサ１は、振動物体に取り付けられる基板２を備える
。この基板２には、第２図に示すような一方向に関数的
に光導波損失を示す光導波路４が形成されている。この
光導波路４は、たとえばＺｎＯをスパッタリングするこ
とに上って形成される。そして、光導波路４の対向位置
には該光導波路４からの散乱光を検出するプローブ６か
光導波路４から所定の距離たけ離間させて配置されてい
る。このプローブ６は散乱光を効率良く集光できるよう
に、たとえば光ファイバ８の先端部に屈折率分布レンズ
ＩＯを取り付けて構成される。
セッサ１は、振動物体に取り付けられる基板２を備える
。この基板２には、第２図に示すような一方向に関数的
に光導波損失を示す光導波路４が形成されている。この
光導波路４は、たとえばＺｎＯをスパッタリングするこ
とに上って形成される。そして、光導波路４の対向位置
には該光導波路４からの散乱光を検出するプローブ６か
光導波路４から所定の距離たけ離間させて配置されてい
る。このプローブ６は散乱光を効率良く集光できるよう
に、たとえば光ファイバ８の先端部に屈折率分布レンズ
ＩＯを取り付けて構成される。
まノこ、光導波路４の入力端には発光素子などの光源１
２が取り付けられ、光源１２にはケーブル１４を介して
電源１６か接続されている。なお、実際の使用にあたっ
ては、上記基板２、発光素子１２、ケーブル１４、電源
１６は、たとえば一つのケースに収容し一体化される。
２が取り付けられ、光源１２にはケーブル１４を介して
電源１６か接続されている。なお、実際の使用にあたっ
ては、上記基板２、発光素子１２、ケーブル１４、電源
１６は、たとえば一つのケースに収容し一体化される。
この振動センサｌを適用して振動を検出するには、まず
、基板２を発光素子１２、ケーブル１４、電源１６とと
らに振動物体に取り付ける。その際、基板２に形成され
た光導波路４の先導波方向が振動物体の振動方向（第１
図の矢印Ａ方向）に一致するように配置する。光源１２
を発光させて光導波路４に光を導入すると、該光導波路
４からは散乱光が放射される。そして、この散乱光をプ
ローブ６て検出し、検出した光を光ファイバ８を介して
図示省略した測定系に導く。
、基板２を発光素子１２、ケーブル１４、電源１６とと
らに振動物体に取り付ける。その際、基板２に形成され
た光導波路４の先導波方向が振動物体の振動方向（第１
図の矢印Ａ方向）に一致するように配置する。光源１２
を発光させて光導波路４に光を導入すると、該光導波路
４からは散乱光が放射される。そして、この散乱光をプ
ローブ６て検出し、検出した光を光ファイバ８を介して
図示省略した測定系に導く。
上記光導波路４から放射される散乱光の光量は導波路４
に導入された光の光導波損失にともなって先導波方向に
次第に減衰している。振動物体の振動により基板４はプ
ローブ６に対して一方向（矢印六方向）に移動するか、
その移動量が第２図中筒号Ｂて示される範囲内にあれば
プローブ６に集光される上記散乱光の光量が直線的に変
化ずろ。
に導入された光の光導波損失にともなって先導波方向に
次第に減衰している。振動物体の振動により基板４はプ
ローブ６に対して一方向（矢印六方向）に移動するか、
その移動量が第２図中筒号Ｂて示される範囲内にあれば
プローブ６に集光される上記散乱光の光量が直線的に変
化ずろ。
従って、この範囲で精度良く振動物体の振幅が検出でき
、また、検出される光量の変化速度によりて振動物体の
振動周波数が検出できる。
、また、検出される光量の変化速度によりて振動物体の
振動周波数が検出できる。
なお、本実施例に加えて光源１２からの光を分波してこ
の分波した光を参照光として別途設けた光ファイバで伝
送するようにすれば、光源の光量変動を補償できるので
、測定精度が一層向上する。
の分波した光を参照光として別途設けた光ファイバで伝
送するようにすれば、光源の光量変動を補償できるので
、測定精度が一層向上する。
また、光源を基板に直接取り付けるのではなく、光源か
らの光を光ファイバを介して光導波路に導くようにする
ことら可能である。さらに、振動センサのみならず加速
度センサや変位センサに本発明を適用することもてきる
。
らの光を光ファイバを介して光導波路に導くようにする
ことら可能である。さらに、振動センサのみならず加速
度センサや変位センサに本発明を適用することもてきる
。
（へ）効果
以上のように本発明によれば、基板に形成した光導波路
の光導波損失を利用して振動を検出するので、電気、磁
気を利用したものに比へてノイズの影響を受けにくく、
しかも部品点数が少ないため軽量、コンパクトになると
いう優れた効果を奏する。
の光導波損失を利用して振動を検出するので、電気、磁
気を利用したものに比へてノイズの影響を受けにくく、
しかも部品点数が少ないため軽量、コンパクトになると
いう優れた効果を奏する。
句
図面は本発明の実施例を示し、第１図は振動センサの構
成図、第２図は光導波路の光導波損失の特性図である。 ｌ・・振動センサ、４・・光導波路、６・・プローブ。
成図、第２図は光導波路の光導波損失の特性図である。 ｌ・・振動センサ、４・・光導波路、６・・プローブ。
Claims (1)
- （１）振動物体に取り付けられる基板を備え、この基板
には一方向に関数的に光導波損失を示す光導波路が形成
され、この光導波路の対向位置には該光導波路からの散
乱光を検出するプローブが配置されていることを特徴と
する振動センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19559584A JPS6173030A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | 振動センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19559584A JPS6173030A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | 振動センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6173030A true JPS6173030A (ja) | 1986-04-15 |
Family
ID=16343760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19559584A Pending JPS6173030A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | 振動センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6173030A (ja) |
-
1984
- 1984-09-18 JP JP19559584A patent/JPS6173030A/ja active Pending
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