JPS6174947U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6174947U JPS6174947U JP15845984U JP15845984U JPS6174947U JP S6174947 U JPS6174947 U JP S6174947U JP 15845984 U JP15845984 U JP 15845984U JP 15845984 U JP15845984 U JP 15845984U JP S6174947 U JPS6174947 U JP S6174947U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffusion pump
- oil diffusion
- cooling tank
- cooling
- electron microscope
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示した正面断面図
である。 １…電磁レンズ、２…試料、３…試料室、４…
試料移動機構、５…荷重板、６…架台、７…防振
ゴム、８…油拡散ポンプ、９…バルブ、１０…円
板、１１…冷却棒、１２…冷却槽、１３…液体窒
素、１４…フランジ、１５…断熱材。
である。 １…電磁レンズ、２…試料、３…試料室、４…
試料移動機構、５…荷重板、６…架台、７…防振
ゴム、８…油拡散ポンプ、９…バルブ、１０…円
板、１１…冷却棒、１２…冷却槽、１３…液体窒
素、１４…フランジ、１５…断熱材。
Claims (1)
- 試料室を真空にする油拡散ポンプ、該油拡散ポ
ンプの上部に配置した板、該板に熱を伝える冷却
棒、該冷却棒を冷却する冷却槽からなる走査電子
顕微鏡または類似装置のコールドトラツプ装置に
おいて、油拡散ポンプに冷却槽を取り付けず、冷
却槽を別置きにしたことを特徴とする走査電子顕
微鏡または類似装置のコールドトラツプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15845984U JPS6174947U (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15845984U JPS6174947U (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6174947U true JPS6174947U (ja) | 1986-05-21 |
Family
ID=30716438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15845984U Pending JPS6174947U (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6174947U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009147894A1 (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンビーム装置 |
| WO2025141822A1 (ja) * | 2023-12-27 | 2025-07-03 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置、試料冷却機構、及び連続断面加工観察方法 |
-
1984
- 1984-10-22 JP JP15845984U patent/JPS6174947U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009147894A1 (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンビーム装置 |
| JP5097823B2 (ja) * | 2008-06-05 | 2012-12-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンビーム装置 |
| WO2025141822A1 (ja) * | 2023-12-27 | 2025-07-03 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置、試料冷却機構、及び連続断面加工観察方法 |