JPS617566U - 多層膜形成装置 - Google Patents
多層膜形成装置Info
- Publication number
- JPS617566U JPS617566U JP9157584U JP9157584U JPS617566U JP S617566 U JPS617566 U JP S617566U JP 9157584 U JP9157584 U JP 9157584U JP 9157584 U JP9157584 U JP 9157584U JP S617566 U JPS617566 U JP S617566U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mask
- multilayer film
- film forming
- forming equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例の截断側面図、第２図はその■
−■線部分の拡大図、第３図は第２図の■一■線部分の
断面図第４図は要部の拡大断面図である。 １・・・真空槽、２・・・基板、３・・・蒸発源、４・
・・マズク、５・・・透孔、６・・・マスクホルタ、７
・・・マスク昇降部材。
−■線部分の拡大図、第３図は第２図の■一■線部分の
断面図第４図は要部の拡大断面図である。 １・・・真空槽、２・・・基板、３・・・蒸発源、４・
・・マズク、５・・・透孔、６・・・マスクホルタ、７
・・・マスク昇降部材。
Claims (1)
- 真空槽１内に基板２と対向して蒸発源３を設け、該基板
２の表面にパターン形成用のマスク４を施してその表面
に蒸発物質のパターンを形成する式のものに於いて、該
真空槽１内に複数個の蒸発源３を用意し、該基板２の前
方へ進出自在にマスク４を挿着した複数個の透孔５を有
するマスクホルダ６を設け、該基板２のマスクホルタ６
を介しての対向側に該マスク４を基板２に当接させるマ
スク昇降部材７を設けて成る多層膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9157584U JPS617566U (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 多層膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9157584U JPS617566U (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 多層膜形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS617566U true JPS617566U (ja) | 1986-01-17 |
| JPH0238921Y2 JPH0238921Y2 (ja) | 1990-10-19 |
Family
ID=30647585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9157584U Granted JPS617566U (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 多層膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS617566U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0338177U (ja) * | 1989-08-26 | 1991-04-12 |
-
1984
- 1984-06-21 JP JP9157584U patent/JPS617566U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0338177U (ja) * | 1989-08-26 | 1991-04-12 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0238921Y2 (ja) | 1990-10-19 |
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