JPS6176061A - 磁気駆動装置の磁気シ−ルド構造 - Google Patents
磁気駆動装置の磁気シ−ルド構造Info
- Publication number
- JPS6176061A JPS6176061A JP19597084A JP19597084A JPS6176061A JP S6176061 A JPS6176061 A JP S6176061A JP 19597084 A JP19597084 A JP 19597084A JP 19597084 A JP19597084 A JP 19597084A JP S6176061 A JPS6176061 A JP S6176061A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- drive device
- cylindrical body
- ferromagnetic core
- ferromagnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K49/00—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes
- H02K49/10—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes of the permanent-magnet type
- H02K49/104—Magnetic couplings consisting of only two coaxial rotary elements, i.e. the driving element and the driven element
- H02K49/106—Magnetic couplings consisting of only two coaxial rotary elements, i.e. the driving element and the driven element with a radial air gap
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Dynamo-Electric Clutches, Dynamo-Electric Brakes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、磁気駆動装置の磁気シールド構造に関する
ものであって、更に詳細には、中空筒体の内部に配設し
た強磁性体芯と、該筒体の外周に対応的に配置した磁石
との磁気的結合を利用して、前記強磁性体芯の非接触駆
動を行なう磁気駆動装置において、前記磁石から外部に
漏洩する磁気を有効に遮蔽し得るようにした磁気シール
ド構造に関するものである。
ものであって、更に詳細には、中空筒体の内部に配設し
た強磁性体芯と、該筒体の外周に対応的に配置した磁石
との磁気的結合を利用して、前記強磁性体芯の非接触駆
動を行なう磁気駆動装置において、前記磁石から外部に
漏洩する磁気を有効に遮蔽し得るようにした磁気シール
ド構造に関するものである。
周知の如く集積回路やトランジスタ等の半導体関連産業
では、その製造工程の多くに真空応用機器が使用されて
いる。また高度の真空状態を現出した真空チャンバーは
、磁気記録、光記録、表示素子等の分野にも利用され、
その他真空炉やスパッタ室での蒸着作業にも真空技術は
不可欠となっている。
では、その製造工程の多くに真空応用機器が使用されて
いる。また高度の真空状態を現出した真空チャンバーは
、磁気記録、光記録、表示素子等の分野にも利用され、
その他真空炉やスパッタ室での蒸着作業にも真空技術は
不可欠となっている。
これら各種の技術分野で使用される真空応用装置や、真
空を利用した技術の開発や研究のために使用される試験
装置等は、外気と完全に遮断された真空容器内で、高真
空度を損うことのない条件下で動作するものであること
が要請される。この場合、前記真空容器中に密閉収納し
た各種のワークや試料を、該容器の真空を解除すること
なく非接触で直線移動させたり、回転させて姿勢変換さ
せたりするために、外部から真空容器内の前記ワーク等
を駆動する装置が必要とされる。また前記真空応用機器
以外にも、放射性液体や有毒液体の如く外部への漏出を
巌重に防ぐ必要のある媒体の収容機器や、その流路に使
用するバルブ等の駆動機構としても、外部から非接触で
操作し得るアクチュエータが要請されている。
空を利用した技術の開発や研究のために使用される試験
装置等は、外気と完全に遮断された真空容器内で、高真
空度を損うことのない条件下で動作するものであること
が要請される。この場合、前記真空容器中に密閉収納し
た各種のワークや試料を、該容器の真空を解除すること
なく非接触で直線移動させたり、回転させて姿勢変換さ
せたりするために、外部から真空容器内の前記ワーク等
を駆動する装置が必要とされる。また前記真空応用機器
以外にも、放射性液体や有毒液体の如く外部への漏出を
巌重に防ぐ必要のある媒体の収容機器や、その流路に使
用するバルブ等の駆動機構としても、外部から非接触で
操作し得るアクチュエータが要請されている。
こうした産業界の需要に応えるものとして１本件出願人
は、中空筒体の内部に配設した強磁性体芯と、該筒体の
外周に対応的に配置した磁石との磁気的結合を利用して
前記強磁性体芯の非接触駆動を行ない、この強磁性体芯
に挿通固定した駆動軸をその中心軸に沿う直線的な進退
移動並びに該軸線を中心とする回転移動とを、個別にま
たは同時に実施し得る装置として、第１図に示すような
磁気駆動装置を新規に開発した。
は、中空筒体の内部に配設した強磁性体芯と、該筒体の
外周に対応的に配置した磁石との磁気的結合を利用して
前記強磁性体芯の非接触駆動を行ない、この強磁性体芯
に挿通固定した駆動軸をその中心軸に沿う直線的な進退
移動並びに該軸線を中心とする回転移動とを、個別にま
たは同時に実施し得る装置として、第１図に示すような
磁気駆動装置を新規に開発した。
この装置の概略構造は、第１図に示すように、例えばス
パッタ室のような真空装置１０の真空室中にワーク１２
が載置されており、このワーク１２を移動操作するため
のハンド１４が駆動軸１６の先端に装着されて、前記真
空室中に臨んでいる。真空装置１０の外方には非磁性材
料からなる中空円筒体１８が水平に突出延在し、該中空
円筒体１８の中空部は真空室に連通して真空雰囲気に保
持されている。この中空円筒体１８の内部に、前記駆動
軸１６に挿通固定した強磁性体芯２０が回転移動自在に
挿通配置しである。また中空円筒体１８の外周には、磁
石を主たる要素とする外部磁気構体２２が回転移動自在
に挿通配置されている。そして前記外部磁気構体２２を
円筒体１８の外表面に沿って移動させることにより、前
記強磁性体芯２０および駆動軸１６を外部磁気構体２２
との磁気結合作用下に周方向に非接触で移動させ得るよ
うになっている。
パッタ室のような真空装置１０の真空室中にワーク１２
が載置されており、このワーク１２を移動操作するため
のハンド１４が駆動軸１６の先端に装着されて、前記真
空室中に臨んでいる。真空装置１０の外方には非磁性材
料からなる中空円筒体１８が水平に突出延在し、該中空
円筒体１８の中空部は真空室に連通して真空雰囲気に保
持されている。この中空円筒体１８の内部に、前記駆動
軸１６に挿通固定した強磁性体芯２０が回転移動自在に
挿通配置しである。また中空円筒体１８の外周には、磁
石を主たる要素とする外部磁気構体２２が回転移動自在
に挿通配置されている。そして前記外部磁気構体２２を
円筒体１８の外表面に沿って移動させることにより、前
記強磁性体芯２０および駆動軸１６を外部磁気構体２２
との磁気結合作用下に周方向に非接触で移動させ得るよ
うになっている。
この磁気駆動装置は、大気圧下にある外部と高度の真空
が形成された内部真空室とを画成する中空円筒体を介し
て、完全な非接触状態を保つたまま各種ワークを良好に
駆動し得る点で高く評価されるが、その駆動原理として
強磁性体芯と外部磁気構体との磁気結合作用を利用して
いるために、前記磁気構体から少からぬ量の磁気が外方
に漏洩し、周辺に磁気的悪影響を与える欠点が指摘され
る。例えば、外部磁気構体を収納するケースの外周表面
に鉄粉等の強磁性体が吸着されたり、真空装置に近接し
て配置した電気制御回路中の電子部品が磁気攪乱（ノイ
ズによる外乱）されて誤作動する原因になる等の不都合
がこれである。このような場合は、磁気構体を外部的に
被覆するケースを、充分に厚みのある非磁性体の金属材
料で構成することが一般的に考えられるが、徒らに当該
ケースの厚みを太き（しても比例的に重量が増大するの
で、磁気遮蔽効果は向上するものの、その反面として操
作性が低下する欠点がある。
が形成された内部真空室とを画成する中空円筒体を介し
て、完全な非接触状態を保つたまま各種ワークを良好に
駆動し得る点で高く評価されるが、その駆動原理として
強磁性体芯と外部磁気構体との磁気結合作用を利用して
いるために、前記磁気構体から少からぬ量の磁気が外方
に漏洩し、周辺に磁気的悪影響を与える欠点が指摘され
る。例えば、外部磁気構体を収納するケースの外周表面
に鉄粉等の強磁性体が吸着されたり、真空装置に近接し
て配置した電気制御回路中の電子部品が磁気攪乱（ノイ
ズによる外乱）されて誤作動する原因になる等の不都合
がこれである。このような場合は、磁気構体を外部的に
被覆するケースを、充分に厚みのある非磁性体の金属材
料で構成することが一般的に考えられるが、徒らに当該
ケースの厚みを太き（しても比例的に重量が増大するの
で、磁気遮蔽効果は向上するものの、その反面として操
作性が低下する欠点がある。
本発明は、前述した如き磁気駆動装置に内在している前
記磁気的悪影響に鑑み、これを良好に解決す入く提案さ
れたものであって、外部磁気構体からの磁気漏洩を有効
に遮蔽し得るようにして。
記磁気的悪影響に鑑み、これを良好に解決す入く提案さ
れたものであって、外部磁気構体からの磁気漏洩を有効
に遮蔽し得るようにして。
金属ケース外表面への＠磁性体の吸着を防ぎ、また磁気
攪乱により電気制御回路が誤作動するのを防止し、操作
性の低下を防ぐ手段を提供することを目的とする。
攪乱により電気制御回路が誤作動するのを防止し、操作
性の低下を防ぐ手段を提供することを目的とする。
−前記目的を達成するため本発明に係る磁気駆動装置の
磁気シールド構造は、非磁性材料からなる中空円筒体の
内部に駆動軸に挿通固定した強磁性体芯を同心的かつ回
転自在に挿通配置すると共に。
磁気シールド構造は、非磁性材料からなる中空円筒体の
内部に駆動軸に挿通固定した強磁性体芯を同心的かつ回
転自在に挿通配置すると共に。
半径方向に所定の中心角で隣接配置した複数個の磁石か
らなる磁気構体を前記中空円筒体の外周に回転自在に挿
通配置し、この磁気構体を円筒体の外表面で回転させる
ことによりこれと磁気結合した前記強磁性体芯および駆
動軸を回転させるように構成した磁気駆動装置において
、前記磁気構体を強磁性体のリング状ヨークにより支持
すると共に、このリング状ヨークの厚み寸法を、前記複
数個の磁石からなる磁気構体と強磁性体芯との間に形成
される磁束を漏洩させることなく通過させるに充分な厚
み寸法に設定したことを特徴とする。
らなる磁気構体を前記中空円筒体の外周に回転自在に挿
通配置し、この磁気構体を円筒体の外表面で回転させる
ことによりこれと磁気結合した前記強磁性体芯および駆
動軸を回転させるように構成した磁気駆動装置において
、前記磁気構体を強磁性体のリング状ヨークにより支持
すると共に、このリング状ヨークの厚み寸法を、前記複
数個の磁石からなる磁気構体と強磁性体芯との間に形成
される磁束を漏洩させることなく通過させるに充分な厚
み寸法に設定したことを特徴とする。
次に本発明に係る磁気駆動装置の磁気シールド構造につ
き、好適な一実施例を挙げて添付図面を参照して以下説
明する。第２図は磁気駆動装置およびこれに付帯される
磁気シールド構造の縦断面を示すものであって、第１図
でサークルＡにより囲んだ部分に該当する個所であるか
ら、既出の部材と同一の構成部材については同じ参照符
号で示すものとする。
き、好適な一実施例を挙げて添付図面を参照して以下説
明する。第２図は磁気駆動装置およびこれに付帯される
磁気シールド構造の縦断面を示すものであって、第１図
でサークルＡにより囲んだ部分に該当する個所であるか
ら、既出の部材と同一の構成部材については同じ参照符
号で示すものとする。
第１図に関連して述べた中空円筒体１８は、例えば１８
−８３ＵＳ（ステンレス）の如き非磁性材料を材質とし
、その一方の開放端部は真空装置１０中に連通接続する
と共に、他方の閉塞端部は装置外方に水平に突出延在し
ている。この中空円筒体１８を隔てて、その外周には前
記磁気構体２２が移動可能に配設されており、円筒体内
部には駆動軸１６を備えた強磁性体芯２０が移動自在に
挿通配置されている。これらの中空円筒体１８および強
磁性体芯２０は、駆動軸の軸線を中心に回転駆動する回
転部Ｒに対応して以下の構造を備えている。
−８３ＵＳ（ステンレス）の如き非磁性材料を材質とし
、その一方の開放端部は真空装置１０中に連通接続する
と共に、他方の閉塞端部は装置外方に水平に突出延在し
ている。この中空円筒体１８を隔てて、その外周には前
記磁気構体２２が移動可能に配設されており、円筒体内
部には駆動軸１６を備えた強磁性体芯２０が移動自在に
挿通配置されている。これらの中空円筒体１８および強
磁性体芯２０は、駆動軸の軸線を中心に回転駆動する回
転部Ｒに対応して以下の構造を備えている。
すなわち回転部Ｒの一部を構成する強磁性体芯２０は１
例えば１３Ｃｒ系電磁ステンレスの如き強磁性材料を材
質とする軸方向に長いコアであって、その横断面は第３
図に示すように、例えば６極のモータ回転子の形状を呈
している。このコア２０は、中空円筒体１８の内部に円
周方向（および軸線方向）への移動可能に挿通配置され
ている。
例えば１３Ｃｒ系電磁ステンレスの如き強磁性材料を材
質とする軸方向に長いコアであって、その横断面は第３
図に示すように、例えば６極のモータ回転子の形状を呈
している。このコア２０は、中空円筒体１８の内部に円
周方向（および軸線方向）への移動可能に挿通配置され
ている。
また回転部Ｒにおける外部磁気構体２２は、例えば電磁
軟鉄（５２０Ｃ）の如き強磁性体を材質とするリング状
ヨーク３６と、このヨーク３６に第４図に示す如き配列
で、半径方向に所定の中心角をなすよう隣接配置した複
数個（ｎ個）の稀土類磁石３８ａ〜３８ｎとから構成さ
れる。そして前記外部磁気構体２２は、前記中空円筒体
１８の外周に回転自在（かつ軸方向移動自在）に挿通配
置され、前記コア２０の突条部が、円筒体１８を隔てて
複数個（図示例では６個）の稀土類磁石３８と対応する
位置関係に設定されている。なお稀土類磁石３８の内面
と中空円筒体１８の外周面との間に形成される等幅の環
状間隙の寸法は、例えば０．３ミリまたは１．０ミリの
何れかが好適に選択される６また第２図で符号４２．４
２は、磁気構体２２を、中空円筒体１８に対して回転移
動自在に支持するスライドメタルを示す。
軟鉄（５２０Ｃ）の如き強磁性体を材質とするリング状
ヨーク３６と、このヨーク３６に第４図に示す如き配列
で、半径方向に所定の中心角をなすよう隣接配置した複
数個（ｎ個）の稀土類磁石３８ａ〜３８ｎとから構成さ
れる。そして前記外部磁気構体２２は、前記中空円筒体
１８の外周に回転自在（かつ軸方向移動自在）に挿通配
置され、前記コア２０の突条部が、円筒体１８を隔てて
複数個（図示例では６個）の稀土類磁石３８と対応する
位置関係に設定されている。なお稀土類磁石３８の内面
と中空円筒体１８の外周面との間に形成される等幅の環
状間隙の寸法は、例えば０．３ミリまたは１．０ミリの
何れかが好適に選択される６また第２図で符号４２．４
２は、磁気構体２２を、中空円筒体１８に対して回転移
動自在に支持するスライドメタルを示す。
このように構成される回転部Ｒでは、強磁性体のコア２
０の軸方向に長い突条部と、複数個の同じく軸方向に長
い稀土類磁石３８とが長い距離で近接して対応している
ため、ここでも高い密度の磁束を軸方向に関して平均に
集束することができる。従って外部磁気構体２２を中空
円筒体１８に沿って回転移動させることにより、これと
磁気結合している強磁性体芯２０のコアおよび駆動軸１
６を良好に回転駆動させるようになっている。
０の軸方向に長い突条部と、複数個の同じく軸方向に長
い稀土類磁石３８とが長い距離で近接して対応している
ため、ここでも高い密度の磁束を軸方向に関して平均に
集束することができる。従って外部磁気構体２２を中空
円筒体１８に沿って回転移動させることにより、これと
磁気結合している強磁性体芯２０のコアおよび駆動軸１
６を良好に回転駆動させるようになっている。
そして前記磁気樋体２２における複数の稀土類磁石３８
を支持する強磁性体のリング状ヨーク３６の厚み寸法が
小さい場合は、前記稀土類磁石３８と強磁性体芯２０の
コアとの間に形成される磁束が該コア２０を通過する際
に、その一部を外部に漏洩させてしまう。従って本発明
では１強磁性体リング状ヨーク３６の厚み寸法は、前記
複数個の稀土類磁石３８とコア２０との間に形成される
磁束を外部に漏洩させることなく通過させるに充分で、
かつその限度において最小の厚みになるような値に設定
される。
を支持する強磁性体のリング状ヨーク３６の厚み寸法が
小さい場合は、前記稀土類磁石３８と強磁性体芯２０の
コアとの間に形成される磁束が該コア２０を通過する際
に、その一部を外部に漏洩させてしまう。従って本発明
では１強磁性体リング状ヨーク３６の厚み寸法は、前記
複数個の稀土類磁石３８とコア２０との間に形成される
磁束を外部に漏洩させることなく通過させるに充分で、
かつその限度において最小の厚みになるような値に設定
される。
なお強磁性体芯の材料は、常用されている鉄またはその
合金、特に電磁軟鋼や１３Ｃｒ系電磁ステンレスなどを
使用すればよく、スペーサは、ステンレス鋼、真ちゅう
などの非磁性金属または合金が使用される。更に磁石材
料も任意であって、アルニコ、希土類合金その他の強磁
性合金、あるいは各種のフェライトから選択することが
できる。
合金、特に電磁軟鋼や１３Ｃｒ系電磁ステンレスなどを
使用すればよく、スペーサは、ステンレス鋼、真ちゅう
などの非磁性金属または合金が使用される。更に磁石材
料も任意であって、アルニコ、希土類合金その他の強磁
性合金、あるいは各種のフェライトから選択することが
できる。
以上詳細に説明した如く、本発明に係る磁気駆動装置の
シールド構造によれば、中空筒体の内部に配設した強磁
性体芯と、該筒体の外周に対応的に配置した磁石との磁
気的結合を利用して、前記強磁性体芯の非接触駆動を行
なうに際して、前記磁石から外部に漏洩する磁気を有効
に遮蔽し得る構造としたので、前述した如くケースの外
周表面に鉄粉等が吸着されたり、電気制御回路中の電子
部品が磁気撹乱されて誤作動する原因になる等の不都合
を未然に防止することができる。
シールド構造によれば、中空筒体の内部に配設した強磁
性体芯と、該筒体の外周に対応的に配置した磁石との磁
気的結合を利用して、前記強磁性体芯の非接触駆動を行
なうに際して、前記磁石から外部に漏洩する磁気を有効
に遮蔽し得る構造としたので、前述した如くケースの外
周表面に鉄粉等が吸着されたり、電気制御回路中の電子
部品が磁気撹乱されて誤作動する原因になる等の不都合
を未然に防止することができる。
第１図は真空装置に磁気駆動装置を設けた例の概略構造
図、第２図は本発明に係る磁気駆動装置のシールド構造
の一例を示す縦断面図、第３図は第２図のａ −ａ線横
断面図である。 ２０・・・・強磁性体芯 ２２・・・・磁気構体３６
・・・・リング状ヨーク ３８・・・・磁石 ＦＩＧ、１ ＦＩＧ、３
図、第２図は本発明に係る磁気駆動装置のシールド構造
の一例を示す縦断面図、第３図は第２図のａ −ａ線横
断面図である。 ２０・・・・強磁性体芯 ２２・・・・磁気構体３６
・・・・リング状ヨーク ３８・・・・磁石 ＦＩＧ、１ ＦＩＧ、３
Claims (1)
- 非磁性材料からなる中空円筒体の内部に駆動軸に挿通固
定した強磁性体芯を同心的かつ回転自在に挿通配置する
と共に、半径方向に所定の中心角で隣接配置した複数個
の磁石からなる磁気構体を前記中空円筒体の外周に回転
自在に挿通配置し、この磁気構体を円筒体の外表面で回
転させることによりこれと磁気結合した前記強磁性体芯
および駆動軸を回転させるように構成した磁気駆動装置
において、前記磁気構体を強磁性体のリング状ヨークに
より支持すると共に、このリング状ヨークの厚み寸法を
、前記複数個の磁石からなる磁気構体と強磁性体芯との
間に形成される磁束を漏洩させることなく通過させるに
充分な厚み寸法に設定したことを特徴とする磁気駆動装
置の磁気シールド構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19597084A JPS6176061A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | 磁気駆動装置の磁気シ−ルド構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19597084A JPS6176061A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | 磁気駆動装置の磁気シ−ルド構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6176061A true JPS6176061A (ja) | 1986-04-18 |
Family
ID=16350021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19597084A Pending JPS6176061A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | 磁気駆動装置の磁気シ−ルド構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6176061A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0766263A3 (en) * | 1995-09-29 | 1997-07-02 | Toshiba Kk | Control rod drive mechanism |
| JP2020178495A (ja) * | 2019-04-19 | 2020-10-29 | 日東精工株式会社 | トルクリミッタ |
| WO2022074782A1 (ja) * | 2020-10-08 | 2022-04-14 | アイ ピース， インコーポレイテッド | バルブ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4919735A (ja) * | 1972-03-30 | 1974-02-21 | ||
| JPS5510324B2 (ja) * | 1976-06-10 | 1980-03-15 |
-
1984
- 1984-09-19 JP JP19597084A patent/JPS6176061A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4919735A (ja) * | 1972-03-30 | 1974-02-21 | ||
| JPS5510324B2 (ja) * | 1976-06-10 | 1980-03-15 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0766263A3 (en) * | 1995-09-29 | 1997-07-02 | Toshiba Kk | Control rod drive mechanism |
| US5793826A (en) * | 1995-09-29 | 1998-08-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Control rod drive mechanism |
| JP2020178495A (ja) * | 2019-04-19 | 2020-10-29 | 日東精工株式会社 | トルクリミッタ |
| WO2022074782A1 (ja) * | 2020-10-08 | 2022-04-14 | アイ ピース， インコーポレイテッド | バルブ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02134473A (ja) | 磁気流体シール組立体 | |
| EP1526286B1 (en) | Magnetically levitated pump utilizing magnetic bearings | |
| US4252353A (en) | Self-activating ferrofluid seals | |
| US6199867B1 (en) | Rotary motion feedthrough device | |
| US4772032A (en) | Compact magnetic fluid low pressure seal | |
| WO2007004690A1 (ja) | 磁性流体シール装置 | |
| JPH08320083A (ja) | 磁気シール装置 | |
| KR20010062764A (ko) | 자기 베어링 장치 | |
| JPS6178200A (ja) | 磁気駆動装置の磁気シ−ルド構造 | |
| US5057952A (en) | Magnetic fluid sealing apparatus for a magnetic disk drive | |
| JPS6194557A (ja) | アクチユエ−タ | |
| KR100368957B1 (ko) | 액츄에이터 베어링용 자성 유체 밀봉장치 | |
| US5550689A (en) | Magnetic fluid seal and ground path for low profile disk drives | |
| JPS62126860A (ja) | アクチユエ−タの防塵構造 | |
| JPS59231271A (ja) | 磁性流体シ−ル装置 | |
| JPS62123954A (ja) | アクチユエ−タ | |
| JPS6040871A (ja) | 磁性流体を用いたシ−ル機構 | |
| JPH0691733B2 (ja) | 磁気駆動装置 | |
| JPS63214578A (ja) | 磁性流体シ−ルユニツト | |
| JPS61288067A (ja) | スパツタ装置 | |
| JPS61121762A (ja) | アクチユエ−タ | |
| JPS55107163A (en) | Magnetic fluid seal | |
| US4226427A (en) | Magnetic-control closure system | |
| JPH0211970A (ja) | 磁性流体保持用の磁石構造物およびそれを用いた軸封装置 | |
| JPS60116960A (ja) | 運動導入装置 |