JPS617617U - 静圧スライド - Google Patents

静圧スライド

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Publication number
JPS617617U
JPS617617U JP9206984U JP9206984U JPS617617U JP S617617 U JPS617617 U JP S617617U JP 9206984 U JP9206984 U JP 9206984U JP 9206984 U JP9206984 U JP 9206984U JP S617617 U JPS617617 U JP S617617U
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JP
Japan
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air supply
supply hole
movable table
groove
guide
Prior art date
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Application number
JP9206984U
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JPS6348809Y2 (ja
Inventor
静 山崎
紀男 伊藤
芳夫 藤川
Original Assignee
エヌ・テ−・エヌ東洋ベアリング株式会社
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS617617U publication Critical patent/JPS617617U/ja
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  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る静圧スライドの縦断面図、第２図
は本考案の静圧スライドの斜視図、第３−図は移動テー
ブルの内面形状を示す要部平面図、第一図は移動テーブ
ルのポケットと補助溝の形状を示す拡大断面図、第５図
は他の実施例を示す移動テーブルの要部平面図、第６図
は他の実施例のポケットの形状を示す拡大縦断面図、第
７図は従来の静圧スライドの斜視図、第８図は静圧スラ
イトの原理を示す図面、第９図乃至第１１図は従来の不
都合を示す要部断面図である。 １０・・・テーブルガイド、１１・・・給気通路、１２
・・・給気孔、１３・・・オリフイス、１４・・・移動
テープル、１５・・・軸受すきま、１６・・・排気溝、
１８・・・ポケット、１９・・・補助溝、２０・・・軸
受溝、２１・・・エアーホース。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 移動テーブルをテーブルガイドに抱持させると共に移動
    テーブルとテーブルガイドとの間に微小な軸受すきまを
    形成し、この軸受すきまへ圧縮空気を導入して適当な圧
    力分布を作り、これに荷重を負荷させて移動テーブルを
    短い範囲内で移動させる静圧スライドにおいて、テーブ
    ルガイドの中心部に長手力向｛史給気通路を形成し、且
    つ栢気通路から分岐してテーブルガイドの表面に開口す
    る給気孔を形成し、前記移動テーブルの内面に前記給気
    孔と対向させて、給気孔の直径より僅かに広い溝幅で且
    つ移動テーブルの移動ストロークと同等か或いはそれよ
    り僅かに長い長さのポケットを形成し、前記ポケットの
    奥部に溝幅が狭く且つ深さの深い補助溝を移動方向に形
    成し、さらに補助溝から分岐させて軸受溝を形成したこ
    とを特徴と− する静圧スライド。
JP9206984U 1984-06-20 1984-06-20 静圧スライド Granted JPS617617U (ja)

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JP9206984U JPS617617U (ja) 1984-06-20 1984-06-20 静圧スライド

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JP9206984U JPS617617U (ja) 1984-06-20 1984-06-20 静圧スライド

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JPS617617U true JPS617617U (ja) 1986-01-17
JPS6348809Y2 JPS6348809Y2 (ja) 1988-12-15

Family

ID=30648526

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JP9206984U Granted JPS617617U (ja) 1984-06-20 1984-06-20 静圧スライド

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