JPS6176259A - 研磨方法 - Google Patents

研磨方法

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Publication number
JPS6176259A
JPS6176259A JP19706084A JP19706084A JPS6176259A JP S6176259 A JPS6176259 A JP S6176259A JP 19706084 A JP19706084 A JP 19706084A JP 19706084 A JP19706084 A JP 19706084A JP S6176259 A JPS6176259 A JP S6176259A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grindstone
abrasive grains
polishing
nozzle
spraying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19706084A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuo Suzuki
鈴木 靖男
Norio Nagai
永井 則雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Coorstek KK
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Ceramics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba Ceramics Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP19706084A priority Critical patent/JPS6176259A/ja
Publication of JPS6176259A publication Critical patent/JPS6176259A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は被加工物の研磨加工中に砥石をドレッシング
する研磨方法に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
一般に、被加工物を研磨加工するための砥石は、周知の
ように砥粒を結合剤によって結合して形成されている。
砥粒間にはbわゆる切粉隙間が形成され、この隙間に切
粉が詰まることがないよう加工液によって切粉を流がす
ようにしている。
しかしながら、加工液によって切粉を流がすようにして
も、研磨条件が不適当であったり。
長期の使用などによって上記隙間に切粉が詰まる目詰ま
りや隙間がなくなって砥石の表面が平滑になる目つぶれ
を起こすことがある。
従来、砥石に目詰まりや目つぶれが生じた場合、研削加
工を中断し、上記砥石をドレッサでドレッシングすると
いうことが行なわれていた。
そのため、作業能惠の大幅低下を招くという欠点があっ
た。また、砥石が目詰まりや目つぶれを生じているか否
かは被加工物の加工状態によって判断しなければならな
いため、不良品の発生が避けられないということもあっ
た。
〔発明の目的〕
この発明は、研削加工を中断したり、不良品の発生を招
いたすせずに砥石の目詰りや目つぶれを防止することが
できるようにした研磨方法を提供することKある。
〔発明の概要〕
この発明は、被加工物を研磨加工する砥石に遊離砥粒を
吹き付けてこの砥石をドレッシングすることにより、研
磨加工を行ないながら上記砥石をドレッシングできるよ
うにした研磨方法である。
〔発明の実施例〕
以下、この発明の一実施例を図面を参照して説明する。
図中1は図示せぬ駆動源によって回転駆動される砥石軸
である。この砥石軸1の上端には上面に砥石2が取付け
られた円盤状の取付板3が水平に固着されている。この
取付板3の上方には、回転中心を上記砥石軸1の回転中
心から寸法Sだけ偏心させた位置に押え軸4が図示せぬ
支持機構により回転および上下動自在に支持されている
。この押え軸4の下端には保持板5が固着され、この保
持板5の下面には被加工物6が上記砥石2に接触する状
態で保持されている。したがって、上記砥石軸1が回転
駆動されると、上記被加工物6は砥石2との接触抵抗で
回転させられながらこの砥石2によって研削加工される
よう罠なっている。
一方、上記砥石2の上面には第1のノズル7によって加
工液りが供給されるとともに、第2のノズル8によって
アルミナ、炭化ケイ素あるいは人造ダイヤモンドなどの
遊離砥粒Gが所定の圧力で吹き付けられるようになって
いる。つまり、第1のノズル7には第1のホース9を介
して加工液りが貯えられた図示せぬ貯液槽に連通し、こ
こからポンプによって供給される。また、第2のノズル
8は中途部に供給ポンプ1゜を有する第2のホース1ノ
を介して遊離砥粒Gが収容された貯粒槽12に連通し、
上記供給ポンプ10によって供給される。この供給列テ
ンプ10には制御部13が電気的に接続され、この制淘
部13によって上記供給ポンプ10が所定時間毎に間欠
的に駆動されるようになっている。
たとえば、砥石軸1が回転駆動されると、そのことがス
タート信号として制御部13に入力さべ れ、このスタート信号によつてタイlが作動して上記供
給ボンf1oを所定時間毎に作動させるなどの制御が行
なわれる。
このように、砥石2に遊離砥粒Gが所定時間毎に吹き付
けられると、遊離砥粒Gが砥石2に衝突したときの衝撃
力で上記砥石2がドレッシングされる。したがって、加
工液りによって流がされずに砥石2の砥粒間に残留して
いた切粉は、上記遊離砥粒Gの切削除去作用によって除
去されるから、砥石2に目詰まりや目っぷれが生じるの
が防止される。また、遊離砥粒Gの吹き付けは、砥石2
による研磨加工を中断せずに行なえるから、上記砥石2
による研磨加工の能率低下を招かずに砥石2を研磨する
ことができる。
〔発明の効果〕
以上述べたようにこの発明は、被加工物を研磨加工する
砥石に遊離砥粒を吹き付け、その衝撃力によって上記砥
石をドレッシングして目詰りや目つぶれを防止するよう
にした。したがって、上記遊離砥粒の吹き付けは、砥石
による被加工物への加工を中断せずに行なえるから、作
業能率を大幅に向上させることができる。また、遊離砥
粒の吹き付けを所定時間毎に行なうようにすれば、被加
工物を常に一定の状態で加工することができるから、不
良品の発生を招くことがない。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の一実施例を示す研磨方法の概略的構成
図である。 2・・・砥石、G・・・遊離砥粒、6・・・被加工物。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被加工物を研磨加工する砥石に、上記被加工物の研磨加
    工と同時に遊離砥粒を吹き付けてこの砥石をドレッシン
    グすることを特徴とする研磨方法。
JP19706084A 1984-09-20 1984-09-20 研磨方法 Pending JPS6176259A (ja)

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JP19706084A JPS6176259A (ja) 1984-09-20 1984-09-20 研磨方法

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JPS6176259A true JPS6176259A (ja) 1986-04-18

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0288171A (ja) * 1988-09-26 1990-03-28 Sinto Brator Co Ltd 研摩方法及び研摩装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5235919A (en) * 1975-09-16 1977-03-18 Iwatsu Electric Co Ltd Paper removal system

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5235919A (en) * 1975-09-16 1977-03-18 Iwatsu Electric Co Ltd Paper removal system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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