JPS6177726A - レ−ザエネルギの監視装置 - Google Patents
レ−ザエネルギの監視装置Info
- Publication number
- JPS6177726A JPS6177726A JP59200862A JP20086284A JPS6177726A JP S6177726 A JPS6177726 A JP S6177726A JP 59200862 A JP59200862 A JP 59200862A JP 20086284 A JP20086284 A JP 20086284A JP S6177726 A JPS6177726 A JP S6177726A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- laser
- laser beam
- face
- monitoring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザ光エネルギの測定または監視を行う装置
に関するものでたとえばレーザ光通信、レーザ加工およ
びレーザ手術装置などの分野において、レーザ光のエネ
ルギを測定または監視しつつ、レーザ光通信、レーザ加
工およびレーザ手術が出来るものである。
に関するものでたとえばレーザ光通信、レーザ加工およ
びレーザ手術装置などの分野において、レーザ光のエネ
ルギを測定または監視しつつ、レーザ光通信、レーザ加
工およびレーザ手術が出来るものである。
従来例の構成とその問題点
光ファイバを用いた炭酸ガスレーザメスの従来の構成を
第１図に示す。レーザ発振器１から出射されるレーザ光
２はビームスプリンタ３によって透過光４と反射光５に
分割される。ビームスプリッタは入射面６には数多の反
射コーティング、裏面７には無反射コーティングがなさ
れている。
第１図に示す。レーザ発振器１から出射されるレーザ光
２はビームスプリンタ３によって透過光４と反射光５に
分割される。ビームスプリッタは入射面６には数多の反
射コーティング、裏面７には無反射コーティングがなさ
れている。
透過光４は第１の集光レンズ８によって集光され、光フ
ァイバ９に入射し、光ファイノくを通過して光ファイバ
の出射端面１ｏから出射する。出射光１１は第二の集光
レンズ１２によって集光され、患部１３に導かれ切開、
蒸散等を行う。反射光らはパワーメーター４の受光面に
入射し反射光のエネルギＥＲを測定される。
ァイバ９に入射し、光ファイノくを通過して光ファイバ
の出射端面１ｏから出射する。出射光１１は第二の集光
レンズ１２によって集光され、患部１３に導かれ切開、
蒸散等を行う。反射光らはパワーメーター４の受光面に
入射し反射光のエネルギＥＲを測定される。
反射コーティングがｒ％とすると透過光のエネルギＥｔ
と反射光のエネルギＥＲには次の関係がある。
と反射光のエネルギＥＲには次の関係がある。
Ｅｔ＝（−−１）ＥＲ
このＥＲを常時、測定する事によって光ファイバに入射
するエネルギＥｔを導くことが出来る。
するエネルギＥｔを導くことが出来る。
ここで使用されるビームスプリフタは、１インチ以上の
口径を持ち、また、Ｚｎ５ｅ等の高価な赤外透過材料か
らなシ、表面には反射コーティング無反射コーティング
をほどこされ、入射面と裏面の反射光の干渉をなくす為
に、数分のくさび形状となす。その為、ビームスプリッ
タは高価なものとなりレーザメスの価格を上げる要因と
なり問題となっている。
口径を持ち、また、Ｚｎ５ｅ等の高価な赤外透過材料か
らなシ、表面には反射コーティング無反射コーティング
をほどこされ、入射面と裏面の反射光の干渉をなくす為
に、数分のくさび形状となす。その為、ビームスプリッ
タは高価なものとなりレーザメスの価格を上げる要因と
なり問題となっている。
また赤外光ファイバＫＲＳ−６等は屈折率２．３９の為
光ファイバ入射端面からの反射が１６係と大きく、反射
によるもどり光がレーザ発振管に入シそれが増幅、干渉
してレーザ出力の変動を生じさせ精密な加工、治療等の
場合には特に問題となっている。
光ファイバ入射端面からの反射が１６係と大きく、反射
によるもどり光がレーザ発振管に入シそれが増幅、干渉
してレーザ出力の変動を生じさせ精密な加工、治療等の
場合には特に問題となっている。
発明の目的
本発明は上記の欠点に鑑み、レーザ照射中においても、
光ファイバに入射するレーザ光のエネルギを測定する事
が出来る安価なまた、安定度の高いレーザ発振を行なわ
せることができるレーザエネルギの監視装置を提供する
ことを目的とする。
光ファイバに入射するレーザ光のエネルギを測定する事
が出来る安価なまた、安定度の高いレーザ発振を行なわ
せることができるレーザエネルギの監視装置を提供する
ことを目的とする。
発明の構成
本発明はレーザ発振器をレーザ発振器から出射レーザ光
と、レーザ光を集光する集光レンズと前記レーザ光を伝
送する光ファイバと、光ファイバの入射端面から反射す
る前記レーザ光の反射光と前記反射光のエネルギを検出
するパワーメータからな９、前記光ファイバの入射端面
はα度傾けてカットされており、前記光ファイバの長手
方向の軸と前記レーザ光の光軸はβ度の角度を持ち、前
記光ファイバ内を通過する通過レーザ光は前記光ファイ
バの長手方向の軸と光軸を一致する様にｓｉｎ （ａ＋
β） □＝ｎ１ の関係をもつものである。
と、レーザ光を集光する集光レンズと前記レーザ光を伝
送する光ファイバと、光ファイバの入射端面から反射す
る前記レーザ光の反射光と前記反射光のエネルギを検出
するパワーメータからな９、前記光ファイバの入射端面
はα度傾けてカットされており、前記光ファイバの長手
方向の軸と前記レーザ光の光軸はβ度の角度を持ち、前
記光ファイバ内を通過する通過レーザ光は前記光ファイ
バの長手方向の軸と光軸を一致する様にｓｉｎ （ａ＋
β） □＝ｎ１ の関係をもつものである。
Ｓ１Ωα
実施例の説明
本発明の一実施例を第２図を用いて詳細に説明する。尚
、第１図のものと同一部品は同一番号を付している。
、第１図のものと同一部品は同一番号を付している。
炭酸ガスレーザ発振器１から出射されるレーザ光２は、
第一のＺｎ５ｅからなる集光レンズによってＥＲ８−５
からなる光ファイバ９の入射端面１５に集光される。集
光されたレーザ光は、光ファイバを伝送する通過光１６
と入射端面から反射する反射光１７に分けられる。通過
光は出射端面１０から出射し、第二の集光レンズ１２に
よって集光され患部１３に導かれ、切開、蒸散を行う。
第一のＺｎ５ｅからなる集光レンズによってＥＲ８−５
からなる光ファイバ９の入射端面１５に集光される。集
光されたレーザ光は、光ファイバを伝送する通過光１６
と入射端面から反射する反射光１７に分けられる。通過
光は出射端面１０から出射し、第二の集光レンズ１２に
よって集光され患部１３に導かれ、切開、蒸散を行う。
反射光１７はパワーメータ１４によって反射光のエネル
ギＥＲが測定される。
ギＥＲが測定される。
光ファイバの入射端面は、ａ度に傾けてカプトされてお
シ、光ファイバの長手方向の軸とレーザ光２の光軸はβ
度の角度を持ち通過する通過光１６が光ファイバの長手
方向の軸と光軸を一致する様にａ度とβ度と光ファイバ
の屈折率ｎ１には、スネルの公式より導かれた次の関係
を持つ。
シ、光ファイバの長手方向の軸とレーザ光２の光軸はβ
度の角度を持ち通過する通過光１６が光ファイバの長手
方向の軸と光軸を一致する様にａ度とβ度と光ファイバ
の屈折率ｎ１には、スネルの公式より導かれた次の関係
を持つ。
実際に構成した値を下に示す。
ＥＲ３−６の屈折率 ２．３９
反射率ｒ Ｏ，１６８
０６゜
β ６．９２゜
透過光のエネルギＥｔは１反射率ｒと検出されたＥＲに
よって次の様に表わされる。
よって次の様に表わされる。
Ｅｔ；（１／ ｒ−１） ＥＲ
また。光ファイバの入射端を傾けた事によって光ファイ
バの入射端からのフレネル反射光は、レーザ発振管に入
らない為にフレネル反射光によるレーザ発振の増幅また
は干渉かなくなりレーザ発振の変動が少くなる。
バの入射端からのフレネル反射光は、レーザ発振管に入
らない為にフレネル反射光によるレーザ発振の増幅また
は干渉かなくなりレーザ発振の変動が少くなる。
尚、入射端面に数多程度の安定な反射コーティングを行
う事により、よりエネルギの監視によるエネルギのロス
を少くする事が出来る。
う事により、よりエネルギの監視によるエネルギのロス
を少くする事が出来る。
また偏波型レーザ発振管を用いる事によって入射端角か
らの反射率は安定になりより高精度なレーザエネルギの
監視が出来る。
らの反射率は安定になりより高精度なレーザエネルギの
監視が出来る。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば光ファイバを伝送する
レーザ光の光軸と光７フイバの長手方向の軸と一致する
様な、光ファイバの入射端面の斜め形状とレーザ光の斜
め入射の構成を用い、入射端面からの入射レーザ光のフ
レネル反射光の光量を検出する事によって光フシイバに
入射スルレーザエネルギを安価な構成で確実に監視出来
る。
レーザ光の光軸と光７フイバの長手方向の軸と一致する
様な、光ファイバの入射端面の斜め形状とレーザ光の斜
め入射の構成を用い、入射端面からの入射レーザ光のフ
レネル反射光の光量を検出する事によって光フシイバに
入射スルレーザエネルギを安価な構成で確実に監視出来
る。
また、入射端面を斜め形状にした事によって、入射端面
からのフレネル反射光がもどり光としてレーザ発振管に
入らず、レーザ発振の不安定な要因となるもど９光によ
る増幅、干渉を生じない。
からのフレネル反射光がもどり光としてレーザ発振管に
入らず、レーザ発振の不安定な要因となるもど９光によ
る増幅、干渉を生じない。
一実施例におけるレーザエネルギの監視装置の構成図で
ある。 １・・・・・・レーザ発振管、２・・・・・・レーザ光
、８・・・・・・集光レンズ、９・・・・・・光ファイ
バ、１４・・・・・・パワーメータ、１５・・・・・・
光ファイバの入射端面。
ある。 １・・・・・・レーザ発振管、２・・・・・・レーザ光
、８・・・・・・集光レンズ、９・・・・・・光ファイ
バ、１４・・・・・・パワーメータ、１５・・・・・・
光ファイバの入射端面。
Claims (3)
- （１）レーザ発振器と、レーザ発振器から出射されるレ
ーザ光と、レーザ光を集光する集光レンズと、前記レー
ザ光を伝送する光ファイバと光ファイバの入射端面から
反射する前記レーザ光の反射光と、前記反射光のエネル
ギを検出するパワーメータからなり、前記光ファイバの
入射端面はα度傾けてカットされており、前記光ファイ
バの長手方向の軸と前記レーザ光の光軸はβ度の角度を
持ち、前記光ファイバ内を通過する通過レーザ光は、前
記光ファイバの長手方向の軸と光軸を一致する様に前記
α度と前記β度と、前記光ファイバの屈折率ｎ＿１には
ｓｉｎ（α＋β）／ｓｉｎα＝ｎ＿１の関係を持つこと
を特徴とするレーザエネルギの監視装置。 - （２）光ファイバの入射端面は反射コーティングされて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレー
ザエネルギの監視装置。 - （３）レーザ発振器は偏波型であることを特徴とする特
許請求の範囲第２項記載のレーザエネルギの監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59200862A JPS6177726A (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 | レ−ザエネルギの監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59200862A JPS6177726A (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 | レ−ザエネルギの監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6177726A true JPS6177726A (ja) | 1986-04-21 |
Family
ID=16431457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59200862A Pending JPS6177726A (ja) | 1984-09-26 | 1984-09-26 | レ−ザエネルギの監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6177726A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0245433U (ja) * | 1988-09-21 | 1990-03-28 | ||
| JP2017534463A (ja) * | 2014-10-20 | 2017-11-24 | バイストロニック レーザー アクチェンゲゼルシャフト | レーザ加工機のための加工ヘッドおよびレーザ加工機 |
-
1984
- 1984-09-26 JP JP59200862A patent/JPS6177726A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0245433U (ja) * | 1988-09-21 | 1990-03-28 | ||
| JP2017534463A (ja) * | 2014-10-20 | 2017-11-24 | バイストロニック レーザー アクチェンゲゼルシャフト | レーザ加工機のための加工ヘッドおよびレーザ加工機 |
| US11135676B2 (en) | 2014-10-20 | 2021-10-05 | Bystronic Laser Ag | Machining head for laser machining machine, and laser machining machine |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5640737A (en) | Damage detector for optical fiber for laser power transmission | |
| JPS63120201A (ja) | 光ファイバ移動量測定装置 | |
| DE3205507C2 (de) | Vorrichtung zum Messen der Intensität eines chirurgischen Eingriffen dienenden Laserstrahles | |
| GB2082344A (en) | Optical beam splitter prism system of signal pickup device | |
| JPS5752005A (en) | Focus detecting method | |
| JP2599463Y2 (ja) | レーザ集光位置変動計測装置 | |
| EP1096415A1 (en) | Optical device, lens and optical element for focusing a laser beam and apparatus and method for assembling the optical device | |
| JPS6226098B2 (ja) | ||
| JPS60227729A (ja) | 眼圧計 | |
| JPH08261713A (ja) | 光導波路型変位センサ | |
| JPH058804B2 (ja) | ||
| JP3000030B2 (ja) | 光ファイバ部品の反射量の測定法及びそのための装置 | |
| JP2831705B2 (ja) | 円錐レンズの透過光波面収差の検査方法及びその装置 | |
| JPS61178684A (ja) | 光波測距装置 | |
| JPH0481753B2 (ja) | ||
| JPH0215434A (ja) | 光ピックアップ | |
| JPS63140426A (ja) | 光ピツクアツプ装置 | |
| JP2577764B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPH04118609A (ja) | 半導体光結合器 | |
| JPS63172107A (ja) | 光結合装置 | |
| JPS61243385A (ja) | 光波測距装置 | |
| JPS57169935A (en) | Photodetector using semiconductor laser | |
| JPS6327734A (ja) | 単一ファイバ−反射計 | |
| JPH01156608A (ja) | 光学式角度検出器 | |
| JPS61175517A (ja) | 光フアイバリング干渉計 |