JPS6181013A - 表面弾性波デバイス - Google Patents
表面弾性波デバイスInfo
- Publication number
- JPS6181013A JPS6181013A JP59203420A JP20342084A JPS6181013A JP S6181013 A JPS6181013 A JP S6181013A JP 59203420 A JP59203420 A JP 59203420A JP 20342084 A JP20342084 A JP 20342084A JP S6181013 A JPS6181013 A JP S6181013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave device
- conductive pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、テレビ′ジ３ン受像機やビデオテープレコー
ダ等の映像機器１通信機等に用いられる表面弾性波デバ
イスに関するものである。
ダ等の映像機器１通信機等に用いられる表面弾性波デバ
イスに関するものである。
従来の技術
近年映像機器１通信機器等の部品点数削減、高品質化の
ために表面弾性波デバイスが多く用いられるようになっ
てきているが、さらに高性能化、低コスト化への要望が
高まってきている。
ために表面弾性波デバイスが多く用いられるようになっ
てきているが、さらに高性能化、低コスト化への要望が
高まってきている。
以下図面をゑ昭１ｈ禍Ｓ戯 １４１番とへ六汗士の表面
弾性波デバイスについて説明を行なう。
弾性波デバイスについて説明を行なう。
第２図、第３図はそれぞれ従来の表面弾性波デバイスの
素子の平面図である。第２図、第３図において、１は圧
電基板、２は重み付け電極、３は引き出し電極である。
素子の平面図である。第２図、第３図において、１は圧
電基板、２は重み付け電極、３は引き出し電極である。
また４はダミー電極である。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、第２図のような構成の表面弾性波デバイ
スでは、中心軸近くを伝搬する波はエツジ部を伝搬する
波に比べてより多くの電極スｌ−ＩＪノブ下を通過する
。圧電基板１上に導電体薄膜がある場合の表面弾性波の
伝搬速度は、自由表面の伝搬速度より小さいため、波面
が歪み、出力特性が劣化する。一方、第３図のようにダ
ミー電極４を設けた構造では、波面の歪みによる特性の
劣化は避けられるが、それぞれの櫛形電極の長さが長く
なるため、特に高周波になると線幅が細くなり、断線に
よる歩留り低下が起こりやすい。
スでは、中心軸近くを伝搬する波はエツジ部を伝搬する
波に比べてより多くの電極スｌ−ＩＪノブ下を通過する
。圧電基板１上に導電体薄膜がある場合の表面弾性波の
伝搬速度は、自由表面の伝搬速度より小さいため、波面
が歪み、出力特性が劣化する。一方、第３図のようにダ
ミー電極４を設けた構造では、波面の歪みによる特性の
劣化は避けられるが、それぞれの櫛形電極の長さが長く
なるため、特に高周波になると線幅が細くなり、断線に
よる歩留り低下が起こりやすい。
本発明は上記欠点に鑑み、波面の歪みによる特性劣化を
なくし、同時に歩留りも良くすることを目的とする。
なくし、同時に歩留りも良くすることを目的とする。
問題点を解決するための手段
この目的を達成するために本発明の表面弾性波デバイス
では、重み付け電極にダミー電極を設け１さら（てその
アポダイズに沿って、引き出し電極と接続された細い導
電パターンを設けた構成をとっている。
では、重み付け電極にダミー電極を設け１さら（てその
アポダイズに沿って、引き出し電極と接続された細い導
電パターンを設けた構成をとっている。
作 用
本発明の表面弾性波デバイスでは、ダミー電極を有する
重み付け電極においてそのアポダイズに沿って引き出し
電極につながった細い導電パター７を設けているため、
場所による表面弾性波の伝搬速度の差違が大幅に軽減さ
れ、または解消される。そして、櫛形電極の電極指が長
く、またその線幅が狭くなっても、上記導電パターンが
存在するため断線の生じるおそれがなくなる。
重み付け電極においてそのアポダイズに沿って引き出し
電極につながった細い導電パター７を設けているため、
場所による表面弾性波の伝搬速度の差違が大幅に軽減さ
れ、または解消される。そして、櫛形電極の電極指が長
く、またその線幅が狭くなっても、上記導電パターンが
存在するため断線の生じるおそれがなくなる。
１、 実施例
、′ 第１図は本発明の一実施例である
表面弾性波フィルタの平面図である。
表面弾性波フィルタの平面図である。
図〈おいて、１１は圧電基板であり、１２は重み付け電
極、１３は引き出し電極、１４はダミー電極で、これら
は圧電基板１１上に形成されて、櫛形電極を構成してい
る。１６はそのアボダイズに沿って形成された細い導電
パターンで、電極１２゜１４やそれらとともに引き出し
電極１３に接続されている。導電パターン１６は、電極
指の線幅ないし２倍位の線幅で作成する。このような細
いパターンを表面弾性波伝搬路に設けても、波面歪みは
ほとんど起こらず、特性への影響は認められない。一方
、アポダイズに沿った導電パターン１５と引き出し電極
１３の間にはさまれた部分で断線が起っても導電パター
ン１５で引き出し電極１３とつながっているので、特性
に影響を与えず、歩留りが向上する。
極、１３は引き出し電極、１４はダミー電極で、これら
は圧電基板１１上に形成されて、櫛形電極を構成してい
る。１６はそのアボダイズに沿って形成された細い導電
パターンで、電極１２゜１４やそれらとともに引き出し
電極１３に接続されている。導電パターン１６は、電極
指の線幅ないし２倍位の線幅で作成する。このような細
いパターンを表面弾性波伝搬路に設けても、波面歪みは
ほとんど起こらず、特性への影響は認められない。一方
、アポダイズに沿った導電パターン１５と引き出し電極
１３の間にはさまれた部分で断線が起っても導電パター
ン１５で引き出し電極１３とつながっているので、特性
に影響を与えず、歩留りが向上する。
発明の効果
以上のように本発明は、重み付け電極だダミー電極と設
け、その上にアポダイズに沿って、引き出し電極とつな
がった細い導電パターンを設けることだよって、波面歪
みによる特性劣化が起こらず、また電極指の断線事故の
発生が防止され、歩留りの良い表面弾性波デバイスを得
ることかでき、その実用的効果は大なるものがある。
け、その上にアポダイズに沿って、引き出し電極とつな
がった細い導電パターンを設けることだよって、波面歪
みによる特性劣化が起こらず、また電極指の断線事故の
発生が防止され、歩留りの良い表面弾性波デバイスを得
ることかでき、その実用的効果は大なるものがある。
第１図は本発明の一実施例である表面弾性波フィルタの
平面図、第２図、第３図は従来の表面弾性波デバイスの
平面図である。 １１・・・・・・圧電基板、１２・・・・・・重み付け
電極、１３・・・・・・引き出し電極、１４・・・・・
・ダミー電極、１６・・・・・・導電パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名第１
図 第２図
平面図、第２図、第３図は従来の表面弾性波デバイスの
平面図である。 １１・・・・・・圧電基板、１２・・・・・・重み付け
電極、１３・・・・・・引き出し電極、１４・・・・・
・ダミー電極、１６・・・・・・導電パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名第１
図 第２図
Claims (1)
- 圧電基板上に設けられた櫛形電極の重み付け電極に、引
き出し電極と接続されたダミー電極を設け、さらにその
アポダイズに沿って前記引き出し電極と接続された細い
導電パターンを設けていることを特徴とする表面弾性波
デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59203420A JPS6181013A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 表面弾性波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59203420A JPS6181013A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 表面弾性波デバイス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6181013A true JPS6181013A (ja) | 1986-04-24 |
Family
ID=16473777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59203420A Pending JPS6181013A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 表面弾性波デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6181013A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03143111A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-18 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| US7283290B1 (en) | 2006-03-29 | 2007-10-16 | Gooch And Housego Plc | Acousto-optic devices having highly apodized acoustic fields and methods of forming the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5615613A (en) * | 1979-07-11 | 1981-02-14 | Gouzaburou Nagano | Sending out device for laver gathering boat |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP59203420A patent/JPS6181013A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5615613A (en) * | 1979-07-11 | 1981-02-14 | Gouzaburou Nagano | Sending out device for laver gathering boat |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03143111A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-18 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| US7283290B1 (en) | 2006-03-29 | 2007-10-16 | Gooch And Housego Plc | Acousto-optic devices having highly apodized acoustic fields and methods of forming the same |
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