JPS6181311A

JPS6181311A - 真空マイクロ波乾燥装置における搬送装置

Info

Publication number: JPS6181311A
Application number: JP59204373A
Authority: JP
Inventors: Tsunezo Takeuchi; 竹内　常三; Isao Mizutani; 水谷　勲
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 1984-09-28
Filing date: 1984-09-28
Publication date: 1986-04-24
Also published as: EP0177298A1; DE3563793D1; EP0177298B1; US4616427A; JPH0258167B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】Ｊ凹本発明は、真空下（各種減圧状態を含む。以下同じ）に
被搬送物を収容した状態でそれを搬送する真空搬送装置
に係り、特に真空減圧乾燥等のために好適な真空搬送装
置に関するものである。

従来辺滋詣汲互澗Ｉ卓一般に、物を製造する過程では、必ずと言ってよいほど
、加熱や乾燥を目的とする熱処理の工程がある。例えば
、窯業製品等を真空雰囲気内で加熱して乾燥する真空減
圧乾燥もその一つであり、真空乃至は減圧状態とするこ
とにより蒸気圧が下がるため、低温乾燥が容易となり、
化学変化やひび割れ等を起こしにくく、また乾燥時間の
短縮化が図られろ。特に、高周波数の電磁波を用いた真
空中のマイクロ波加熱では、物体の内部から加熱が行わ
れて、均一で熱効率の良い乾燥を行うことができる。

従来、このような真空マイクロ波乾燥を行うに際しては
、比較的大きな加熱室内を真空状態にすると共に、その
加熱室内にターンテーブルを設け、そのターンテーブル
に複数の被乾燥物を載せて回転させつつ、マイクロ波を
照射するようになっていたが、このような従来のターン
テーブル型のものでは、処理量の増加と共にターンテー
ブルの設置面積、ひいては直径を大きくする必要があり
、そのため設置スペース内に納まらなくなる場合があっ
て、処理能力を高めるにも限界があった。

また、真空中ではない通常のマイクロ波乾燥装置の場合
には、被乾燥物をコンヘアに載せて所定の加熱室を通過
させることにより、連続的な乾燥を行うものは知られて
いるが、真空乾燥の場合には、加熱室の間仕切りや、吸
引源たる真空ポンプをどのように接続するか等の問題が
あって、かかるコンベア方式による連続的な乾燥は困難
と言わざるを得ないのが実情であった。

本発明は、上記のような事情を背景として、コンベア方
式による連続的な真空減圧乾燥（特に真空マイクロ波乾
燥）を可能とする真空搬送装置を提供することを、直接
の課題として為されたものである。

龍扱千役そして、このような課題を解決するために、本発明に係
る真空搬送装置は、（ａｌ所定の被搬送物が載置される
複数の載置部を備え、駆動装置により無限軌道に沿って
駆動されるコンベア手段と、（ｂｌそのコンベア手段の
載置部の各々に、そこに載せられる上記被搬送物を外側
から覆う状態で設けられ、その内側に密閉室を形成する
密閉手段と、ｆｃｌ上記コンベア手段に沿って環状に、
且つそのコンベア手段と共に巡回させられる状態で配設
されて、所定の吸引源に接続される一方、上記密閉手段
にて形成される密閉室のそれぞれに連通し得る接続部を
備え、かかる密閉室が形成されたときにその内部を真空
吸引する吸引配管手段とを含むように構成される。

従って、このような真空搬送装置を用いて、真空乃至は
減圧状態下の密閉室内に収容された被搬送物を、コンベ
ア手段の駆動に従って所定の加熱帯を１ｉｒｌ過させる
ようにすれば、従来のようなハツチ方式ではなく、コン
ベア方式による連続的な真空減圧乾燥、特に真空下にお
けるマイクロ波加熱乾燥を行うことが可能となり、そし
てそのようにした場合には、マイクロ波加熱乾燥の利点
を享受しつつ専有面積の減少及び装置の小型化が達成さ
れ、また処理能力が向上する他、回転させることが困難
か或いは好ましくないもののマイクロ波真空乾燥が可能
となる。尤も、本発明に係る真空搬送装置は、上記のよ
うな真空減圧乾燥に限らず、個々に真空状態を形成して
コンベア手段による１股送が必要となる対象にも有効に
利用することができる。なおイ」言すれば、本発明で言
うところの「真空」とは、排気によって、大気圧よりも
低い圧力とされた状態を指す意である。

スー」Ｌ二匹以下、本発明の幾つかの実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。

第１図には、その一実施例である真空搬送装置の平面図
が、第２図には正面図が、また第３図には横断面図がそ
れぞれ示されている。この真空搬送装置は、コンベア手
段の主体を成すチェーンコンベア１０と、吸引配管手段
の主体を成す巡回管路１２と；吸引源としての真空ポン
プユニット１４とを備えている。チェーンコンベア１０
は、第１図から明らかなように、一対のチェーンが所定
路離隔てて平行配設されたものであり、それぞれのチェ
ーンがスプロケット１６及び１８に噛み合わされて、無
限軌道に沿って巡回可能とされている。これらスプロケ
ット１６及び１８は、いずれもフレーム２０によって回
転自在に支持されており、スプロケット１６．１６は、
駆動装置としてのモータ２２により動力伝達用のスプロ
ケット２４．２６，２８．２８及び３０．３０を介して
チェーン駆動され、チェーンコンベア１０を駆動するよ
うになっている。

このチェーンコンベア１０には、載置部としての複数の
パレット３２が一体的に取り付けられている。これらの
パレット３２は、チェーンコンベア１０の互いに平行に
走るチェーンの幅方向に跨って、且つ第２図に示される
ように、それらチェーンを構成する各リンクプレー１・
（チェーン駒）毎に、それらの外周側の面に固定され、
チェーンコンベア１０と共に巡回させられるようになっ
ている。かかるパレット３２は、所定の被搬送物が載置
される載置面３４をそれぞれ備えており、第３図から明
らかなように、この載置面３４に、そこに載せられる被
ＩＭ送物Ｗを外側から覆う状態で、密閉手段としてのカ
バー容器３６が被せられて、その内側にパレット３２の
載置面３４と共同して気密な密閉室３８をそれぞれ形成
するようになっている。これらカバー容器３６は、密閉
室３８が真空状態とされても形が崩れない剛性を有して
おり、それの開口部にはフランジ部４０が形成され、こ
のフランジ部４０にはパレット３２の載置面３４との間
の気密を保持するシールリング４２が設けられている。

なお、パレット３２は台座４４．４４を介してチェーン
コンベア１０に固定されており、またパレット３２の両
側縁部が前記フレーム２０に固設された上部ガイドレー
ル４６，４６及び下部ガイドレール４８．４Ｂに支持さ
れることにより、チェーンコンベア１０が弛むことが防
止されている。

前記巡回管路１２は、第１図から明らかなように、チェ
ーンコンベア１０の一方のチェーンの内側面に、それの
軌道に沿って環状に連なる形態で設けられている。この
巡回管路１２は、チェーンコンヘア１０を構成する個々
のリンクプレートに１個ずつ等間隔をおいて配列固定さ
れた複数の剛体製短管たる金属短管５０と、これら複数
の金属短管５０を相互に接続する短い可撓性ホース５２
とを備えている。各金属短管５０は、固定金具５４．５
４によってチェーンコンベア１０の各リンクプレートに
それぞれ固定されているが、両端開口部が内向きに曲げ
られ、その内向きに曲げられ１また端部同士が樹脂等から成るジャバラ状の可撓性ホース
５２によってＵ字形に弛みを有する状態で接続され、チ
ェーンコンベア１０と共に巡回させられるようになって
いて、スプロケット１６及び１８を通過することが可撓
性ポース５２における弾性的な折曲り変形によって許容
される。

また、各金属短管５０の中間部からは、前記密閉室３８
の数に対応する数の接続管路５６が１本づつ分岐させら
れている。これらの接続管路５６の末端は、第３図から
明らかなように、パレット３２を厚さ方向に■通する連
通孔５８を経てパレット３２の載置面３４に開口してお
り、それによって個々の密閉室３８をそれぞれ巡回管路
１２に連通させる役割を果たしている。一方、複数の金
属短管５０の内の一つには、第１図から明らかなように
、可動接続パイプロ０の一端部が回転継手６２を介して
接続されている。この可動接続パイプロ０は、２本の金
属製のパイプが回転継手６４によって相対回転可能に接
続されたものであり、それの他端部が回転継手６６を介
して前記真空ポンプユニット１４に連結されている。

真空ポンプユニット１４は、詳しく図示はしないが、真
空Ｊｆンプとそれを駆動する電動モータ等の駆動装置を
備えたものであって、第２図から明らかなように、一対
のガイドレール６８上を転勤可能な４個のローラ７０を
備えている。これらのガイドレール６８は、チェーンコ
ンベア１０の軌道の内側において、その軌道と平行な水
平方向に延びるように設けられ、第３図に示されるよう
に、前記フレーム２０の高さ方向の中間部から内側にせ
り出すように設けられた支持ベース７２によって支持さ
れている。その結果、真空ポンプユニット１４は、これ
らガイドレール６８により、チェーンコンベア１０の軌
道に干渉しない位置において、水平方向の往復移動が可
能な状態で支持されている。

そして、この真空ポンプユニット１４と前記巡回管路１
２とが可動接続パイプロ０によって連結されているため
、チェーンコンベア１０及び巡回管路１２の巡回に従っ
て、真空ポンプユニット１４は可動接続パイプロ０を介
して引かれ、あるいは押されて、ガイドレール６８上を
往復移動させられる。また、可動接続パイプロ０の回転
継手６２がスプロケット１６及び１８を巡回するときに
は、回転継手６２．６４及び６６で相対回動が生じ、例
えば、第２図において二点鎖線で示されるように、可動
接続パイプロ０が折曲った状態を経ながら、チェーンコ
ンベア１０の駆動に追従することができる。

なお、上記のように往復移動させられる真空ポンプユニ
ット１４の前記電動モータには、第３図から明らかなよ
うに、電力供給部７４を経て駆動電力が供給され、それ
により真空ポンプが駆動して、可動接続パイプロ０９巡
回管路１２及び接続管路５６の各々を通じて各密閉室３
８内の空気を吸引し、それら密閉室３８内を真空状態（
負圧状態）とする役割を果たす。

そして、各接続管路５６の途上には、それぞれ回転式の
切換弁７６が設けられている。この切換弁７６は、各密
閉室３８を大気に連通させる大気連通状態と、巡回管路
１２等を経て真空ポンプユニット１４に連通させる吸引
許容状態とに切り換えるものであって、所定範囲で回動
させられる切換レバー７８を備えている。この切換レバ
ー７８の自由端部は、駆動ロンド８０に対してＵ字型切
欠とピンとの保合によって連結されている。駆動ロッド
８０は、切換弁７６と同じ散設けられ、切換レバー７８
の回動平面と平行に、且つ前記チェーンコンベア１０を
幅方向に横切る状態で、前記パレット３２の台座４４．
４４を貫通し、摺動ブツシュを介してそれら台座４４．
４４によって摺動可能に支持されている。これら駆動ロ
ッド８０の端部は、前記フレーム２０の一方の上部から
内向きに突き出す形態で固設されたカムプレート８２の
端縁（カム面）に当接可能とされている。

また、かかるカムプレート８２は、第２図にＡで示され
る領域においては、チェーンコンベア１０と共にその領
域を通過する駆動ロッド８０の端部を接触させることに
より、駆動ロンド８０を第３図において右方向へ移動さ
せ、切換弁７６を上記吸引許容状態へ切り換えさせるカ
ム面を有し、Ｂで示される領域では、その吸引許容状態
を維持させる直線的なカム面を有するが、Ｃで示される
領域においては、駆動ロッド８０を反対側に移動させて
切換弁７６を吸引許容状態から大気連通状態へ切り換え
させるべく、カムプレート８２とは別のカムプレートが
（図示せず）、チェーンコンベア１０を挟んで反対側の
フレーム２０の上部に固設されている。なお、切換弁７
６は、吸引許容状態と大気連通状態との何れかに切り換
えられた後は、駆動ロンド８０と台座４４．４４内の上
記摺動ブツシュとの摩擦力等によって切り換えられた状
態を保持するようになっている。

以上のように構成された真空搬送装置は、真空減圧乾燥
、例えば真空下におけるマイクロ波加熱乾燥等に好適に
使用される。その場合には、第２図においてＢの領域に
、チェーンコンベア１０を跨ぐようにマイクロ波加熱装
置８４等の、乾燥のための加熱装置が設けられることと
なる。そして、モータ２２により、チェーンコンベア１
０と共に、各パレット３２が矢印で示す方向へ間欠的に
或いは所定の速度で連続的に移動させられ、Ｐで示す位
置において、パレット３２の載置面３４に所定の被搬送
物（被乾燥物）Ｗが載置され、その後かかる被搬送物Ｗ
を外側から覆うように、カバー容器３６が作業者あるい
はロボ・ノド等適宜の手段によりパレット３２に被せら
れて、密閉室３日が順次形成される。

このように密閉室３８内に収容された被搬送物Ｗが、パ
レット３２と共にＡ領域を通過する過程で、カムプレー
ト８２のカム作用により、切換弁７６が大気連通状態か
ら吸引許容状態へ切り換えられ、真空ポンプユニット１
４によって、密閉室３８内が真空状態とされる。そのよ
うな真空状態でＢ領域を通過させられることにより、マ
イクロ波加熱装置８４から密閉室３８内に収容されてい
る被乾燥物Ｗにカバー容器３６を介してマイクロ波が照
射され、内部加熱による真空減圧乾燥が行われる。

その後、Ｃ領域を通過させられることにより、図示しな
いカムプレートのカム作用により切換弁７６が大気連通
状態へ切り換えられ、密閉室３８が大気に開放される。

そして、カバー容器３６がパレット３２から取り外され
ると共に、乾燥後の被搬送物Ｗが適宜の排出手段によっ
て排出され、被搬送物Ｗが除去された後のパレット３２
は、再びＰ位置に向って巡回移動させられる。

このように、個々の被搬送物Ｗごとに密閉室３８を形成
し、そこを真空状態として加熱帯（８４）を通過させる
ようにすれば、従来の加熱炉及びターンテーブルを用い
たバッチ方式ではなく、コンベアによる連続的なマイク
ロ波加熱乾燥が可能となり、乾燥のための専有面積が減
少すると共に、加熱能率を効果的に高めることが可能と
なる。

なお、真空マイクロ波加熱乾燥のためにこの真空搬送装
置を用いる場合においては、カバー容器３６の材質は、
ｔａｎ　δ（誘電正接）が小さい材質、例えばフン素４
２４脂、ポリプロピレン、ガラス、陶磁器等を用いるこ
とが望ましいが、その他の真空減圧乾燥、例えば赤外線
等の外部加熱による場合には、カバー容器３６の材質は
耐熱性を有していれば適宜に選定することができる。

次に、第４図乃至第７図に基づいて本発明の別の実施例
を説明するが、前記実施例と同様な部分については同一
の符号を付して対応関係を示し、詳しい説明は省略する
。

この実施例では、第５図から明らかなように、チェーン
コンベア１０の上流側と下流側とにロー。

ラコンベア８６．８８が接続され、それらローラコンベ
ア８６．８８とチェーンコンベア１０の上側軌道とが水
平方向に連なるようにされている。

マタ、各パレット３２は、チェーンコンベア１０に固定
されてはおらず、切離し可能とされている。

すなわち、“チェーンコンベア１０の平行に走る二本の
チェーンの、幅方向において互いに対応するリンクプレ
ートの各々には、受座９０がそれぞれ固定されており、
これら対応する受座９０によって一つのパレット３２が
受けられると共に、受座９０に形成された突壁９２によ
って位置決めされつつ、チェーンコンベア１０と共にそ
れの上側軌道を一体的に移動させられるようになってい
るが、ローラコンベア８８に連なる部分においては、パ
レット３２がチェーンコンヘア１０から切り離され、受
座９０のみがチェーンコンベア１０と共に移動させられ
るようになっているのである。また、第６図から明らか
なようにチェーンコンベア１０の２本のチェーンは、フ
レーム２０に固定のブラケット９４．９４に設けられた
ガイドレール９６゜９６によってそれぞれ下方から支持
されて、それらに弛みが生しることが防止されている。

一方、真空ポンプユニット１４は、チェーンコンベア１
０の下側軌道より更に下方に敷設された一対のガイドレ
ール９８．９８上を、ローラ７０゜７０を介して水平方
向に往復移動可能な状態で設置されている。このように
真空ポンプユニット１４が設置されていても、上述のよ
うにパレット３２がチェーンコンベア１０の受座９０．
９０から切り離され、且つチェーンコンベア１０に固定
された各受座９０が幅方向に十分な距離を隔てて設けら
れているため、真空ポンプユニット１４はチェーンコン
ベア１０、特にそれら受座９０の軌道に干渉することが
ない。

また、第４図に示す巡回管路１２からそれぞれ分岐させ
られた接続管路５６の末端部には、第７図から明らかな
ように、ゴム製の吸盤１（１０が装着されており、パレ
ット３２が前記受座９０によって受けられた状態におい
ては、この吸盤１（１０がパレット３２の下面に密着さ
せられ、連通孔５８を介して接続管路５６を密閉室３８
に連通させるようになっている。

そして、個々の接続管路５６の途上に設けられた回転式
の切換弁７６（第６図）を作動させるべく、駆動ロッド
８０が受座９０によって水平方向に摺動可能に支持され
、この駆動ロンド８０の一端部には、切換レバー７８が
連結されているが、他端部にはカムフォロワ１０２が下
向きに突設されて、フレーム２０の一方の側に固定のカ
ム溝形成プレート１０４に形成されたカム溝１０６に嵌
入させられている。このカム溝１０６はチェーンコンベ
ア１０の軌道に沿って形成された確動カムであって、第
５図においてＡ領域では、駆動ロッド８０を介して切換
弁７６を大気連通状態から吸引許容状態に切り換え、密
閉室３８を真空ポンプユニット１４に連通させた状態と
し、Ｂ＠域ではその吸引許容状態を保ち、更にＣ領域で
は吸引許容状態から大気連通状態へ切り換えて、密閉室
３８を大気に開放させる役割を果たす。

以上のように構成された真空搬送装置においても、第５
図に示すＢ領域にマイクロ波加熱装置等の加熱帯を設け
るようにすれば、連続的な真空減圧乾燥を行うことがで
き、しかも、この例では、パレット３２上に被搬送物Ｗ
を載置し、且つカバー容器３６を被せた状態で、それを
ローラコンベア８６によってチェーンコンベア１０へ供
給することができ、また乾燥の終了後においては、パレ
ット３２．カバー容器３６及び被搬送物Ｗをローラコン
ベア８８へ移行させることにより、それらをチェーンコ
ンベア１０から自動的に切り離して、後工程へ移行させ
ることが可能であるため、作業能率がより一層高められ
る利点がある。

以上、本発明の二つの実施例を説明したが、これらは文
字通り例示であって、本発明にはその他各種の態様が存
在する。

例えば第８図に示されるように、巡回管路１２を構成す
るために、直管タイプの金属短管５０をチェーンコンベ
ア１０に沿って複数配列すると共に、その金属短管５０
の中間部から接続管路５６を分岐させ、そしてそのよう
な金属短管５０の端部同士を、樹脂、ゴム等からなる可
撓性ホース５２で直線的に接続することも可能である。

また、第９図に示されるように、金属短管５０を用いな
いで、巡回管路１２の全体を樹脂、ゴム等から成る可撓
性を有する連続的なホースで形成し、その巡回管路１２
を固定金具５４でチェーンコンベア１０に固定すると共
に、巡回管路１２と一体に、接続管路５６を接続するた
めの継手部１０８、並びに可動接続パイプロ０を接続す
るための継手部１１０を形成するようにしても良い。

また、第１０図に示されるように、真空ポンプユニット
１４と巡回管路１２とを接続する可動接続パイプロ０を
一本の金属パイプから構成することも可能であり、その
場合には、第１１図から明らかなように、真空ポンプユ
ニット１４のチェー　　−ンコンベア１０の巡回に伴う
往復移動距離りが、可動接続パイプロ０を二本のパイプ
から屈曲式に構成した場合よりも成る程度長くなる。

更に、第１２図に示されるように、可動接続パイプロ０
を剛体層ではなく可撓性を有するものとし、その両端の
回転継手６２と６６との間に、チェーン１１２やロープ
等の引張部材を張り渡すようにすることも可能であり、
この場合には、真空ポンプユニット１４がチェーンコン
ベア１０の駆動により引張力を受けて往復移動させられ
ることとなり、チェーン１１２等を設けることにより、
可撓性を有する可動接続パイプロ０に無理な力が加わる
ことが防止される。更にまた、第１３図に示されるよう
に、真空ポンプユニット１４をチェーンコンベア１０の
内側ではなく、その側方においてチェーンコンベア１０
の軌道に干渉しない位置に往復移動可能な状態で設置す
ることも可能である。

一方、第１４図に示されるように、接続管路５６の途上
に設けられた切換弁７６を切り換えるために、切換レバ
ー７８が連結された駆動ロンド８０をスプリング１１４
によって一方向に付勢し、そのロッド端部をカムプレー
ト８２のカム面に強制的に接触させるようにすることも
できる。また、第１５図に示されるように、’ＪＡＳｓ
ロッド８０を水平方向ではなく垂直方向に配設し、その
一端に設けられたカムフォロワ１０２をカム溝形成プレ
ート１０４に形成されたカム溝１０６に係合させること
、或いは第１６図に示されるように、垂直方向に配設さ
れた駆動ロッド８０をスプリング１１４によってカムプ
レート８２のカム面に接触させる構成も採り得る。

更に、駆動ロッド８０をカムによって駆動するのではな
く、駆動ロンド８０をシリンダに連結し、前記パ１／ソ
ト３２等の通過を検知するリミットスイッチや近接スイ
・ノチ等の信号により電磁弁を切り換えて上記シリンダ
を作動させ、駆動ロッド８０を駆動させるようにするこ
とも可能である。また、切換弁７６としては、機械式の
ものに限らず、例えば上述のようなリミットスイッチ等
からの信号に基づいて切り換えられる電磁切換弁として
も良い。

一方、・パレット３２に被せられるカバー容器３６につ
いて言えば、それをパレット３２に対してヒンジ結合し
てその開閉を容易にすること、更には、スプリング等に
よって常に閉じる方向に付勢し、被搬送物をその内側に
収容するときには、その付勢力に抗して開くようにする
こと、或いはスプリング等によって常に開く方向へ付勢
し、被搬送物をその内部に収容した後、適宜の掛は止め
手段等により閉状態に保つようにすること等も可能であ
る。

更に付言すれば、本発明に係る真空搬送装置は、加熱を
伴う真空減圧乾燥に特に好適ではあるが、加熱を伴わな
い処理工程、例えばセラミックス成形品の脱脂処理を連
続的に行うためにも有効であって、このような脱脂処理
も乾燥の一形態に含まれる。更に、乾燥のみならず、要
するに個別に真空状態を形成して搬送が必要となる工程
に対して、本真空搬送装置は有効に利用することができ
る。

嶺ＪＩと側限以上、詳記したように本発明は、コンベア手段に沿って
所定の被搬送物を収容するための複数の密閉室を形成し
、それら密閉室を個々に真空状態とすべく、コンベア手
段と共に巡回させられる吸引配管手段を設けたことを特
徴とするものであり、それによって個々の密閉室を真空
状態に保ちつつ連続的に搬送することが可能となり、こ
れを、例えばマイクロ波加熱による真空減圧乾燥等に用
いれば、バッチ方式ではなくコンベヤ方式の連続的な真
空乾燥処理が可能となる他、それ以外の用途でも、真空
状態下において連続的な搬送を行い得ることの利益を享
受することができ、そこに本発明の大きな工業的意義が
存するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である真空搬送装置の一部
を切り欠いた平面図であり、第２図はその正面図、第３
図はその横断面図である。第４図は本発明の別の実施例
である真空搬送装置の一部を切り欠いた平面図であり、
第５図はその正面図、第６図はその横断面図、また第７
図は第６図における■部分の拡大断面図である。第８図
及び第９図は、それぞれ吸引配管手段の別の形態を示す
部分平面図であり、第１０図及び第１１図並びに第１２
図は、それぞれ真空ポンプユニットと巡回管路との接続
の別の形態を示す簡略図である。第１３図は真空ポンプ
ユニットの設置の別の形態を示す簡略図である。第１４
図、第１５図及び第１６図は、それぞれ切換弁を作動さ
せる機構の別の形態を示す簡略的な断面図である。１０：チェーンコンベア　１２：巡回管路１４：真空ポ
ンプユニット１６．１８：スプロケツト　２０：フレーム２２：モー
タ（駆動装置）３２：パレット（載置部）３６：カバー容器（密閉手段）４２：シールリング５０：金属短管（剛体製短管）５２：可撓性ホース　５６：接続管路６０：可動接続パイプ６２．６４．６６：回転継手６８．９８ニガイドレール　７６：切換弁７８：切換レ
バー　　８０：駆動ロッド８２：カムプレート８４８マイクロ波加熱装置

Claims

【特許請求の範囲】

（１）所定の被搬送物が載置される複数の載置部を備え
、駆動装置により無限軌道に沿って駆動されるコンベア
手段と、該コンベア手段の載置部の各々に、そこに載せられる前
記被搬送物を外側から覆う状態で設けられ、その内側に
密閉室を形成する密閉手段と、前記コンベア手段に沿って環状に、且つ該コンベア手段
と共に巡回させられる状態で配設されて、所定の吸引源
に接続される一方、前記密閉手段にて形成される密閉室
のそれぞれに連通し得る接続部を備え、該密閉室が形成
されたときにその内部を真空吸引する吸引配管手段とを
、含むことを特徴とする真空搬送装置。
（２）前記コンベア手段が、スプロケットに噛み合わさ
れて巡回せしめられるチェーンコンベアと、該チェーン
コンベアによって移動させられるパレットとを含むもの
であって、該パレットが前記載置部を構成する一方、前
記密閉手段が該パレットに気密に被せられるカバー容器
である特許請求の範囲第１項記載の装置。
（３）前記パレットが、前記チェーンコンベアに対して
一体的に取り付けられ、該チェーンコンベアと共に巡回
させられるものである特許請求の範囲第２項記載の装置
。
（４）前記パレットが、前記チェーンコンベアの所定軌
道領域では該チェーンコンベアと一体的に移動させられ
るが、それ以外の領域では該チェーンコンベアから切り
離された状態となる特許請求の範囲第２項記載の装置。
（５）前記吸引配管手段が、前記チェーンコンベアの側
部に、それの軌道に沿って連なる形態で取り付けられた
可撓性を有する巡回管路と、該巡回管路から個々に分岐
させられて、前記密閉手段にて形成される密閉室のそれ
ぞれに接続される接続管路とを備え、該接続管路が前記
接続部を成すと共に、前記巡回管路が前記吸引源に接続
されている特許請求の範囲第２項記載の装置。
（６）前記接続管路が、前記複数のパレットの上面にそ
れぞれ開口せしめられている特許請求の範囲第５項記載
の装置。
（７）前記巡回管路が、前記チェーンコンベアの側部に
等間隔をおいて配列、固定された複数の剛体製短管と、
それら複数の剛体製短管を相互に接続する可撓性ホース
とを備え、且つ該剛体製短管の中間部に前記複数の接続
管路を個々に接続せしめるための継手部が形成されてい
る特許請求の範囲第５項記載の装置。
（８）前記吸引源が、吸引ポンプとそれを駆動する駆動
装置とを含む真空ポンプユニットであって、該ポンプユ
ニットが前記チェーンコンベアの軌道に干渉しない位置
においてその軌道とほぼ平行な方向に往復移動可能に設
置されると共に、該ポンプユニットが回転継手を有する
可動接続パイプによって前記巡回管路に接続され、且つ
前記チェーンコンベア及び巡回管路の巡回運動に追従し
て、該ポンプユニットが往復移動させられるものである
特許請求の範囲第５項記載の装置。
（９）前記可動接続パイプが、複数のパイプを回転継手
により接続して成るものである特許請求の範囲第８項記
載の装置。
（１０）前記巡回管路から分岐させられた接続管路の各
々が、前記密閉室をそれぞれ大気に連通させる状態と前
記巡回管路を介して前記真空ポンプユニットに連通させ
る状態とに切り換える切換弁を備えている特許請求の範
囲第５項記載の装置。
（１１）前記切換弁が、前記チェーンコンベアを支持す
る位置固定のフレームに固設されたカムの作用に基づい
て前記二つの連通状態の何れかに機械的に切り換えられ
るものである特許請求の範囲第１０項記載の装置。
（１２）前記被搬送物を収容する前記密閉室が、所定の
真空状態下において、前記コンベア手段の駆動に従って
所定の加熱帯を通過させられるものであり、前記真空搬
送装置が真空減圧乾燥装置の一部を構成している特許請
求の範囲第１項乃至第１１項の何れかに記載の装置。
（１３）前記真空減圧乾燥装置が、高周波数の電磁波で
あるマイクロ波による加熱を利用するものである特許請
求の範囲第１２項記載の装置。