JPS6182513A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS6182513A JPS6182513A JP9871084A JP9871084A JPS6182513A JP S6182513 A JPS6182513 A JP S6182513A JP 9871084 A JP9871084 A JP 9871084A JP 9871084 A JP9871084 A JP 9871084A JP S6182513 A JPS6182513 A JP S6182513A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave device
- axis
- cut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はＸカット四ホウ酸リチウム（Ｌ Ｌｔ Ｂｉ１
２）ウェハを用いた弾性表面波装置において、特に不要
波発生レベルが小さく良好な周波数特性を与える弾性表
面波伝搬方向に関する。
２）ウェハを用いた弾性表面波装置において、特に不要
波発生レベルが小さく良好な周波数特性を与える弾性表
面波伝搬方向に関する。
従来ＬｉｔＢ４０丁を用いた電子デバイスは特開昭５７
−７２４１４号に示されているように、表面波の伝搬方
向は任意の方向（面、伝搬）が利用されている。すなわ
ち、弾性表面波装置の周波数特性の良否に大きく影響す
る不要波発生レベルの方位依存性については全配慮され
ていない。
−７２４１４号に示されているように、表面波の伝搬方
向は任意の方向（面、伝搬）が利用されている。すなわ
ち、弾性表面波装置の周波数特性の良否に大きく影響す
る不要波発生レベルの方位依存性については全配慮され
ていない。
本発明の目的は不要波発生レベルを抑圧するのに好適な
、Ｘカッ） ＬＬｔ Ｂ＋ Ｏｔウェハを備えた弾性表
面波装置を提供することにある。
、Ｘカッ） ＬＬｔ Ｂ＋ Ｏｔウェハを備えた弾性表
面波装置を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明においてはＸカッ）
Ｌｔ ＊ Ｂ４０？基板ウェハでの弾性表面波伝搬方向
をＹ軸から６８度〜１１３度の範囲内に在るようにした
ものである。
Ｌｔ ＊ Ｂ４０？基板ウェハでの弾性表面波伝搬方向
をＹ軸から６８度〜１１３度の範囲内に在るようにした
ものである。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図はＸカットＬｔ、Ｂ４Ｏ７ウエハを用い、Ｙ軸か
ら＋θ度回転させた方向に弾性表面波が伝搬することを
示している。この図に示す入力および、出カドランスジ
ューサ１，２はいずれもすだれ状正規屋電極よりなり、
Ｘカッ） Ｌｉ、Ｂ、ＯＴウェハ基板３上に設けられる
。弾性表面波は入カドランスジューサ１かも出力トラン
スジューサ２に向って伝搬する。第２図は第１図に示し
た弾性表面波装置において弾性表面波伝搬路上を開放し
た場合と伝搬路上に弾性表面波吸収体を設けた場合とで
の減衰度を比較した結果を示すものである。この図から
分る様に弾性表面波伝搬方位をＹ軸から６８度〜１１６
度の範囲に設定することにより不要波の発生レベルを４
０ｄＪ以下に確保出来、良好な弾性表面波装置特性が得
られる。
ら＋θ度回転させた方向に弾性表面波が伝搬することを
示している。この図に示す入力および、出カドランスジ
ューサ１，２はいずれもすだれ状正規屋電極よりなり、
Ｘカッ） Ｌｉ、Ｂ、ＯＴウェハ基板３上に設けられる
。弾性表面波は入カドランスジューサ１かも出力トラン
スジューサ２に向って伝搬する。第２図は第１図に示し
た弾性表面波装置において弾性表面波伝搬路上を開放し
た場合と伝搬路上に弾性表面波吸収体を設けた場合とで
の減衰度を比較した結果を示すものである。この図から
分る様に弾性表面波伝搬方位をＹ軸から６８度〜１１６
度の範囲に設定することにより不要波の発生レベルを４
０ｄＪ以下に確保出来、良好な弾性表面波装置特性が得
られる。
尚弾性表面波装置の周波数特性で帯域内リップルを抑え
、トラップ深さを確保するためには不要波発生レベルを
４０！Ｊ以下にすることが望ましい。
、トラップ深さを確保するためには不要波発生レベルを
４０！Ｊ以下にすることが望ましい。
以上述べたように本発明によれば、弾性表面波装置の周
波数特性に悪影響を与える不要波発生レベルを大幅に抑
制できるため良好な特性が得られる。
波数特性に悪影響を与える不要波発生レベルを大幅に抑
制できるため良好な特性が得られる。
第１図は弾性表面波装置および伝搬方位な示す概略図、
第２図は伝搬方位が不要波成分に及はす影響を測定した
結果を示す特性図である。 Ｘ、Ｙ、Ｚ・・・・・・ＩＲＥ標準による座標θ・・・
・・・・・・・・・・・・・・−・・Ｙ軸を回転軸とし
た弾性表面波伝搬方向のＹ軸からの回転角度
第２図は伝搬方位が不要波成分に及はす影響を測定した
結果を示す特性図である。 Ｘ、Ｙ、Ｚ・・・・・・ＩＲＥ標準による座標θ・・・
・・・・・・・・・・・・・・−・・Ｙ軸を回転軸とし
た弾性表面波伝搬方向のＹ軸からの回転角度
Claims (1)
- Ｘカット四ホウ酸リチウムからなる基板と、基板上に設
けられ電気信号を弾性表面波に、又はこの逆に変換する
トランジューサとを備えた弾性表面波装置において、上
記弾性表面波の伝搬方向がＹ軸から６８度〜１１３度の
範囲内に在るようにしたことを特徴とする弾性表面波装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9871084A JPS6182513A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9871084A JPS6182513A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182513A true JPS6182513A (ja) | 1986-04-26 |
Family
ID=14227066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9871084A Pending JPS6182513A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6182513A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5777419A (en) * | 1995-08-15 | 1998-07-07 | Motorola Inc. | Surface acoustic wave device with minimized bulk scattering |
-
1984
- 1984-05-18 JP JP9871084A patent/JPS6182513A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5777419A (en) * | 1995-08-15 | 1998-07-07 | Motorola Inc. | Surface acoustic wave device with minimized bulk scattering |
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