JPS6183694A - メタライズ層付セラミツクス部材の製造方法 - Google Patents
メタライズ層付セラミツクス部材の製造方法Info
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- JPS6183694A JPS6183694A JP20429184A JP20429184A JPS6183694A JP S6183694 A JPS6183694 A JP S6183694A JP 20429184 A JP20429184 A JP 20429184A JP 20429184 A JP20429184 A JP 20429184A JP S6183694 A JPS6183694 A JP S6183694A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明１．２メタライズ層付セラミックス部（イの製造
方法に関するものである。
方法に関するものである。
従来の技術
炭化珪素、窒化珪素、アル疋す、ジルコニア等のニュー
セラミックスと称せらｉる焼結体（、を高湿高強度、耐
摩耗性竿に優１ているのに注目さ釘て、エンジン用部材
、耐摩耗性卒必要とする恨域部品などへの応用が企だて
ら１ている。しかし、加工や強度的な信頼性の面からオ
ールセラミックス製の装置をつくることは難しいため、
高熱にさらさねる箇所や耐摩耗性を必要とする箇所のみ
に取付けることが考えらＩている。この場合、セラミッ
クスｙ！月と金属部材とを接合する必要があるが、セラ
ミックス部材と金買部材とル直接接合することＣｉ惟し
く、セラミックス部側の表面を一旦メタライズして金が
化層を形成した後、この金属化層と金属部材とを接合す
ることが提案さｎている。
セラミックスと称せらｉる焼結体（、を高湿高強度、耐
摩耗性竿に優１ているのに注目さ釘て、エンジン用部材
、耐摩耗性卒必要とする恨域部品などへの応用が企だて
ら１ている。しかし、加工や強度的な信頼性の面からオ
ールセラミックス製の装置をつくることは難しいため、
高熱にさらさねる箇所や耐摩耗性を必要とする箇所のみ
に取付けることが考えらＩている。この場合、セラミッ
クスｙ！月と金属部材とを接合する必要があるが、セラ
ミックス部材と金買部材とル直接接合することＣｉ惟し
く、セラミックス部側の表面を一旦メタライズして金が
化層を形成した後、この金属化層と金属部材とを接合す
ることが提案さｎている。
その提案の一つとして、セラミックス部材表面にセラミ
ックスと密着性のよい金属箔を配ｆＹ シ、高温加熱す
ると共に加圧してメタライズ化する方法がある。
ックスと密着性のよい金属箔を配ｆＹ シ、高温加熱す
ると共に加圧してメタライズ化する方法がある。
発明が解決しようとする間顎点
上記従来方法によｎば、初め番ごセラミックス部材を完
全に泳成し、次にメタライズのための加熱を必要とする
ため、２回高温加熱し４Ｃはｎばｌ（らず、このために
多食のハエえルギーが消費される。
全に泳成し、次にメタライズのための加熱を必要とする
ため、２回高温加熱し４Ｃはｎばｌ（らず、このために
多食のハエえルギーが消費される。
またセラミックス部材は高温加（偽時に割ｎやすく、そ
の７：７Ｊ （る襖会が２回ある。したがって歩留りの
悪いものである。
の７：７Ｊ （る襖会が２回ある。したがって歩留りの
悪いものである。
間？１ｆＰ解決するための手段
上記２４題点を屏決するため、本発明のメタライズ層付
セラミックス部材の製造方法は、未焼ｈυのセラミ、−
、クス部材を成形し、この成形されたセラミックモ 次にセラミックス部材にメタライズ用金真粉末または金
属板を介して金属部判を配し、次にそｎｅ金居膜により
被覆すると共にその金属膜内ル真空；こし、次−ご金属
膜を介して金属部月をセラミックス部材に加圧し、セラ
ミックス部材を加熱焼成するものである。
セラミックス部材の製造方法は、未焼ｈυのセラミ、−
、クス部材を成形し、この成形されたセラミックモ 次にセラミックス部材にメタライズ用金真粉末または金
属板を介して金属部判を配し、次にそｎｅ金居膜により
被覆すると共にその金属膜内ル真空；こし、次−ご金属
膜を介して金属部月をセラミックス部材に加圧し、セラ
ミックス部材を加熱焼成するものである。
実挿例
以下、本発明の一実施例ち第１図１こ基づいて説明する
。まずジルコニア粉末に所定量の百椴粘結剤や水などル
：ｊ：：加混合し、次にそ１ル冷間静水圧成型法により
所定形状のセラミックス部材（生型）に成形し、次にそ
の成形さｎたセラミックス部材を加熱炉内に人ねてゆ１
くりと加熱し、約５００ ｔ：：ニ保持して仮焼力見す
る。これ１こよってｆ３バインダ ′処理がおこなわｎ
る。次に図に示すごとく仮焼成さｎたセラミックス部材
（１）の表面にＪ・λさ２０μｍのＺｒ 箔（２）た
配し、次にそのＺｒ箔（２）上に厚さ２ｎのＣｕ 板（
３）９−配し、次にそｒを厚さＱ、６すのモリブデンＨ
（ｓｕｓ ８０４ ） （４）で被覆する。このときモ
リブデン膜（４）内にほとんど空隙が生じ７：Ｃいよう
にする。次にモリブデン膜（４）に設けたパイプ（５）
を真空ポンプ（図示せず）に接続し、モリブデン膜（４
）内から排気し、内部圧か１０ ｔｏｒｒ になっ
たところでバルブ（６）を閉じ、次に熱間静水圧成型法
によりモリブデン膜（４）を介してＣｕ板（３）および
Ｚｒ箔（２１をセラミックス部材（１）に５〜６１で加
圧し、セラミ・ンクス部月（１）を１５００℃で加熱焼
成するものである。
。まずジルコニア粉末に所定量の百椴粘結剤や水などル
：ｊ：：加混合し、次にそ１ル冷間静水圧成型法により
所定形状のセラミックス部材（生型）に成形し、次にそ
の成形さｎたセラミックス部材を加熱炉内に人ねてゆ１
くりと加熱し、約５００ ｔ：：ニ保持して仮焼力見す
る。これ１こよってｆ３バインダ ′処理がおこなわｎ
る。次に図に示すごとく仮焼成さｎたセラミックス部材
（１）の表面にＪ・λさ２０μｍのＺｒ 箔（２）た
配し、次にそのＺｒ箔（２）上に厚さ２ｎのＣｕ 板（
３）９−配し、次にそｒを厚さＱ、６すのモリブデンＨ
（ｓｕｓ ８０４ ） （４）で被覆する。このときモ
リブデン膜（４）内にほとんど空隙が生じ７：Ｃいよう
にする。次にモリブデン膜（４）に設けたパイプ（５）
を真空ポンプ（図示せず）に接続し、モリブデン膜（４
）内から排気し、内部圧か１０ ｔｏｒｒ になっ
たところでバルブ（６）を閉じ、次に熱間静水圧成型法
によりモリブデン膜（４）を介してＣｕ板（３）および
Ｚｒ箔（２１をセラミックス部材（１）に５〜６１で加
圧し、セラミ・ンクス部月（１）を１５００℃で加熱焼
成するものである。
上記製造方法によりモリブデンで被覆さまた焼成体を得
ることができる。この焼成体を切断して断面を調査しｔ
こ結果、Ｚｒ箔（２）とＣｕ板（３）との闇ではＺｒ層
に数μｍにわたってＣｕとＺｒとの合金が溶融浸透した
合金層がみらｆ”Ｌ ％ Ｃｕ板（３）とモリブデン膜
（４）との間に１ｉモリブデンとＣｕとの合金層らしき
ものがみらｎた。
ることができる。この焼成体を切断して断面を調査しｔ
こ結果、Ｚｒ箔（２）とＣｕ板（３）との闇ではＺｒ層
に数μｍにわたってＣｕとＺｒとの合金が溶融浸透した
合金層がみらｆ”Ｌ ％ Ｃｕ板（３）とモリブデン膜
（４）との間に１ｉモリブデンとＣｕとの合金層らしき
ものがみらｎた。
上記成形体の使用にあたってはモリブデン膜（４）′：
Ｐ除去して所定金７岡部材に拡散接合またはろう付けす
ｎばよい。
Ｐ除去して所定金７岡部材に拡散接合またはろう付けす
ｎばよい。
なお、拡散接合面またはろう付は面以外の面にモリブデ
ンが付着していｎばＭ能が低下するときにＩ′ｉ、そｆ
″Ｌを研削除去すｎばよい。
ンが付着していｎばＭ能が低下するときにＩ′ｉ、そｆ
″Ｌを研削除去すｎばよい。
本発明の他の実施例を第２図に基づいて説明する。ｉｎ
記実施例と同じように仮焼成さまたアルミナ粉末からな
るセラミックス部材（１）の表面にＴｉ消（８）を介し
てＣｕ板（３）を配し、次にそＶをモリブデン膜（４）
で被覆する。こｎを真空室内に入１、モリブデンＩ摸（
４）の開口隅部をル子ビーム溶接してモリブデンｒ９（
４）を完全密閉状ＩＳにし、次にそｎを真空室内から取
出し、熱間静水圧成型法によりモリブデン膜（４）ｆｐ
介して真空中のＣｕ板（３）をセラミックス部材（１）
に６〜６〜で加圧し、セラミックス部材（１）を１７０
０℃ で加熱焼成するものである。
記実施例と同じように仮焼成さまたアルミナ粉末からな
るセラミックス部材（１）の表面にＴｉ消（８）を介し
てＣｕ板（３）を配し、次にそＶをモリブデン膜（４）
で被覆する。こｎを真空室内に入１、モリブデンＩ摸（
４）の開口隅部をル子ビーム溶接してモリブデンｒ９（
４）を完全密閉状ＩＳにし、次にそｎを真空室内から取
出し、熱間静水圧成型法によりモリブデン膜（４）ｆｐ
介して真空中のＣｕ板（３）をセラミックス部材（１）
に６〜６〜で加圧し、セラミックス部材（１）を１７０
０℃ で加熱焼成するものである。
こｔ冒ζよりＣｕ−Ｔｉ合金のメタライズ層の付いた焼
成アルミナが得らｎた。
成アルミナが得らｎた。
窒化硅素や炭化珪ブ（からなるセラミックス塚１−ｊの
場合（オ、その士に金’ｌ Ｓｉ粉末ｆｐ塗布し、その
上にＣｕ板（３）を配し、次にモリブデン膜で；’ｊ、
Ｎ Ｌ／、・暁成すＩばよい。
場合（オ、その士に金’ｌ Ｓｉ粉末ｆｐ塗布し、その
上にＣｕ板（３）を配し、次にモリブデン膜で；’ｊ、
Ｎ Ｌ／、・暁成すＩばよい。
７明の効果
以上述べたごとく本発明によれば、メタうイズと焼成と
を同時におこなうことから、省エネルギーとなり、また
高湿にさらすのＣオー明であるから、セラミ、ンクス部
柑の加熱時の損（］も少４Ｃ＜、歩留りが向上する。
を同時におこなうことから、省エネルギーとなり、また
高湿にさらすのＣオー明であるから、セラミ、ンクス部
柑の加熱時の損（］も少４Ｃ＜、歩留りが向上する。
第１ ［’に６は本発明の一実加、傍を示す堅断面ＩＪ
、第２図は本発明の池の実施例２示す−，’：Ｅ ｔｔ
ｙ７面「イ１である。
、第２図は本発明の池の実施例２示す−，’：Ｅ ｔｔ
ｙ７面「イ１である。
Claims (1)
- １、未焼成のセラミックス部材を成形し、この成形され
たセラミックス部材多板焼成して脱バインダー処理し、
次にセラミックス部材にメタライズ用金属粉末または金
属板を介して金属部材を配し、次にそれを金属膜により
被覆すると共にその金属膜内を真空にし、次に金属膜を
介して金属部材をセラミックス部材に加圧し、セラミッ
クス部材を加熱焼成することを特徴とするメタライズ層
付セラミックス部材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20429184A JPS6183694A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | メタライズ層付セラミツクス部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20429184A JPS6183694A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | メタライズ層付セラミツクス部材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6183694A true JPS6183694A (ja) | 1986-04-28 |
Family
ID=16488045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20429184A Pending JPS6183694A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | メタライズ層付セラミツクス部材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6183694A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1100626A4 (en) * | 1998-05-06 | 2004-12-08 | Pacific Coast Technologies Inc | PROCESSES FOR TREATING CERAMIC MATERIALS AND IMPROVED CERAMIC MATERIALS PRODUCED BY THE SAME |
| KR20160122700A (ko) * | 2013-12-10 | 2016-10-24 | 로저스 저매니 게엠베하 | 금속-세라믹 기판을 제조하기 위한 방법 |
| WO2021219260A1 (de) * | 2020-04-29 | 2021-11-04 | Rogers Germany Gmbh | Verfahren zur herstellung eines metall-keramik-substrats und ein metall-keramik-substrat hergestellt mit einem solchen verfahren |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20429184A patent/JPS6183694A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1100626A4 (en) * | 1998-05-06 | 2004-12-08 | Pacific Coast Technologies Inc | PROCESSES FOR TREATING CERAMIC MATERIALS AND IMPROVED CERAMIC MATERIALS PRODUCED BY THE SAME |
| KR20160122700A (ko) * | 2013-12-10 | 2016-10-24 | 로저스 저매니 게엠베하 | 금속-세라믹 기판을 제조하기 위한 방법 |
| JP2017501883A (ja) * | 2013-12-10 | 2017-01-19 | ロジャーズ ジャーマニー ゲーエムベーハーＲｏｇｅｒｓ Ｇｅｒｍａｎｙ ＧｍｂＨ | 金属セラミック基板を製造する方法 |
| WO2021219260A1 (de) * | 2020-04-29 | 2021-11-04 | Rogers Germany Gmbh | Verfahren zur herstellung eines metall-keramik-substrats und ein metall-keramik-substrat hergestellt mit einem solchen verfahren |
| US12495491B2 (en) | 2020-04-29 | 2025-12-09 | Rogers Germany Gmbh | Process for producing a metal-ceramic substrate, and a metal-ceramic substrate produced using such method |
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