JPS6184078A - 安定化した圧電性フツ化ビニリデンポリマー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 を産業上のｆｌＩ用分野］ 本発明は、高温でら寸法安定性および圧電安定性かめる
。高圧電性・低空隙率のフッ（ヒヒニリデンホリマー、
持にフッ化ヒニリデノホモゴミリマー、およびそのよう
なポリマーの製法に関する。

［従来技術Ｊ ボリニフノ化ヒニリデン（ｐｖｏＦ）には、少なくとも
４種の異なる結晶相　α型（または■型）、β型（また
はβ型）、γ型（または■型）、およびδ型（またはＵ
ｐ型）かある。熱、圧力、および／゛または電界を加え
ることによって、結晶形を互いに変換することができる
。最ら一般的な結晶形はα型てあり、これは、通例溶融
体からポリマーを結晶化することによって得られる。

フッ化ビニリデンポリマーは、圧電性および焦電性を示
し、水中聴音器、侵入発見装置、電気機械変換器、圧力
計、マイクロホン、圧力スイノチなとのような種々の感
圧性機器に使用され得ることか知られている。これらの
特性は、主としてβ相の存在による。すなイっち、圧電
性および集電性を高めるためには、ポリマーのβ泪含量
を最大にすることか望ましい。フッ化ビニリデンポリマ
ーのβ＋１１含量を高めるいくつかの方法か提案されて
ａｒ−０通例このような方法は、α相のフッ化ビニリデ
ンポリマーをβ相に変換することを伴う。

通例このような方法は、例えばフッ化ビニリデンポリマ
ーのフィルムを、ポリマーの結晶融点（ホモポリマーの
場合、約１７０〜１７５°Ｃ）よりも低温、好ましくは
１００℃より低温で延伸することから成る。フィルムの
延伸は、従来の技術による江仲（ｄｒａｗｉｎｇ）また
は圧Ｋ（ｒｏｌｌｉｎｇ）によって行なうことかできる
。次いて、延伸したポリマーフィルムに電界を加えるこ
とによ〜て圧電性とすることかできろ。これは、通例延
伸したフィルムの両（ｑすに電極を付け、それを適当な
電源に接続することによって行なう。フィルムを圧電性
にする工程を、通例「ボーリング」または「分極」とい
う。この工程で、β相の双極子は、主に電界に対して配
向される。ＰＶＤＦフィルムを延伸および分極して圧電
性およびｆｉ；電性とする典型的な方法は、米国特許第
３．８７８．２フッ１号、同第４．２４１．１２８号、
同第４，２９０．９８３シシ・、同第４．３４０゜７８
６号および同第４．３９０，６７．１号に開示されてい
る。

延伸および分極したＰＶＤＦは、他の延伸したポリマー
と同様に、高ｌ詰、特に延１ｌｌｌ温度よつし高温で原
寸法に収縮または回復する。このことは、圧電性１）　
Ｖ　Ｄ　Ｆを含有ケるデバイスは、このような温度で使
用すると寸法的に不安定であることを色味しており、明
らかに望ましくない性質である。

アニールによって寸法安定性か得られるが、これは圧電
性に対して望ましくない副作用を有する。

延伸および分極したＰＶＤＦをアニールする場合、熱に
よってＰＶＤＦ中のβ相の配向は減少し、あるいはβ泪
含有ｍらＰＶＤＦの結晶融へに近つくと減少し、いずれ
にしても、相当する程度のＩＥ電性の低下か起こる。

前記の米国特許１３，８７８．２７４号および同第、１
．２４１．１２８号には、延伸したＰＶＤＦを分極する
萌にアニールするという逆の順序か開示されており、ア
ニールは、前者の米国特許によると張力を加えであるい
は加えずに行ない、後者によるとＣＩ−ル間て１１すう
。両特許の結果によると、この順序によって、処理直後
にｆ）　Ｖ　Ｄ　Ｆの圧電性か少し高まることか示され
る。

前記の従来技術によって製造される圧電性ＰＶＤＦの別
の限界は、延伸工作中の空隙の形成である。ＰＶＤＦを
高圧で使用するには、空隙のつぶれは圧力変化に対する
十オ料Ｊ）感受性を低下させ得るので、空隙のｒ−Ｔ在
は望ましくない。断面の厚いＰ　Ｖ　Ｄ　Ｆを使用する
場合に：ｉ、この点を特に考慮すべきてめる。アニール
によ１て空隙を最少限にすること、または空隙を無く、
４′ことが可能であるが、アニールに要する温度はかな
り高く、圧電性に対しては悪影響を及はし得る。

５発明の構成］ 本発明は、延伸および分極によって圧電性とし。

たフッ化ビニリゾ／ポリマーであって、＋２０’ｃて１
時間のエージングによろ１疑集体寸法変化（３次元の直
交座標軸（うち１本は延伸方向である）に１０っｒこ絶
対寸法変化の合計から求める）が１５％以下であり、最
終通仲比か約６以下であり、さらに式 ％式％） ［式中、ｄ３ｈは１２０℃で１時間加熱後のポリマーの
静水係数を示し、単位は１１Ｃ／Ｎ：ｄｏは未延伸ポリ
マーのと度を示し、単位は９７ｃｃ；およびｄは加熱面
のポリマーの密度を示し、単位はｇ／ｃｃである］で与
えられる当量活性Ａ＊が少なくとら６であるフッ化ビニ
リゾ／ポリマーを提供するものてめろ。

本発明の好ましい聾様によると、順次ＰＶＤｒ’を、ま
ず原形状から延伸した形状に延伸し、ポリマーｊ＋・原
形状に回復し得る条件下で、電界を加えつつ、延伸温度
より約２０℃高い温度から結晶融点より約１５℃低い温
度の間の温度でフッ化ビニリゾ／ポリマーを条件付けし
２次いて、分極する。

延伸は、大部分のＰＶＤＦをβ相に変換し８条件付けは
、高温における寸法安定性および圧電安定性を与え８分
極は、ＰＶＤＦを高圧電性にする。

本発明の曲の好ましい聾様によると、同様の工程を行な
うのであるが、条件付は工程と分極工程の順序を逆にし
て行なうことかできる。

本発明は、高温でも寸法安定性および圧電安定性Ｄ−あ
る、高圧電性・低空隙率のフッ化ビニリゾ／ポリマー、
持にフッ化ヒニリデンホモボリマー、およびそのような
ポリマーの製法を提供するものである。

このような本発明のＰＶＤＦは、高温において使用する
ための、感圧性機器、または高温にさらされるとＢわれ
る感圧性機器、例えば電気機械変換器、エノノスイソヂ
、および■力計の製造に有用である。これは空隙率が低
いので、高圧下での応用に特に有用である。

本発明のＰＶＤＦは、延伸したＰＶＤＦを、ポリマーか
原形状に回復し得る条件下で、電界を加え、高温で条件
付けすることによって製造される。

ＰＶＤＰを圧電性とする曲刃の工程（ずなわら分極）は
、条件付は而に行なって６後に行なってらよい。条件付
は後に分極したｒ’ＶＤＦの特性と、分極後に条件付け
したＰＶＤＦの特性は、互いにひ（Ｊを取らない。すな
わち、゛本発明のＰＶＤＦの８：ソ法は、好ましい一態
様によると、（１）延伸、（２）分極、および（３）条
件付けから成るが、池の好ましい聾様によると、（１）
延伸、（２）条件付け、および（３）分極から成る。

条件付は温度は、延伸温度よりも少なくとも杓２０℃高
く、かつＰＶＤＦの結晶融点よりも少なくとも約１５℃
低い温度にする。好ましくは、条件付は温度は、１００
℃以上であって、少なくとも後続の製法工程または使用
中にｐＶＤＦか暴露されると予想される温度にずへきで
ある。ＰＶＤＦホモポリマーについては、その融点が約
１７５°Ｃであるので、最高条件付は温度は、約１６０
℃にすべきである。条件付は中に加える電界は、約５〜
２００〜ＩＶ／辺、好ましくはＩＯ〜１５０ＭＶ／ｍ、
および最ら好ましくは約２５〜５０ＭＶ／ｚとすべきで
ある。低電界ではあまり効果的て戸いが、高電界はポリ
マーの絶縁破壊の原因となることかあり、特に高温の場
合は、ポリマーの絶縁耐力はより低くなる。条件付は時
間に制限は無いが、好ましくは０１〜２時間である。条
件付は時間と温度の間には、逆の関係かある。ＰＶＤＦ
の条件伺けを低ｒＡ：＋て長時回行な−−ζ乙、高、１
１ｈで短時間行ｆヱっでも同（（の結果力・得られる１
条件付けのｆ二めし）加熱は、例えは温度調節ｏＪ　ｊ
ｉヒｆヱＡ−ツノ中の高温空気、温１変ユ■、１節可能
な液体浴（例えば浦浴）戸とによって行なうことかでき
ろ。

条件付は中に、ポリマーかａ形状に回復し得ろようにす
ることか重要である。そのため、好ましくはいかなる寸
法的拘束を加え」−に（例えは、グリップによる一１長
力や、ロール間隙での圧力をポリマーにかけずに）条件
付けずへきである。ポリマーの操作のために、または条
件（１け中にポリマーを適当な位置に保つｒこめに、何
らかの拘束か不可避て己うる場合は、その拘束をＺ・要
最少限にととめるへきである。そのようにした場合のみ
、ポリマーは寸法的に安定な状態に達−４゛るてあろう
。寸法的安定性とは、ｌ）　Ｖ　Ｄ　Ｆの１２０℃で１
時間のエーシングによる凝集体寸法変化（３次元直交座
標軸（うち１本は延伸主方向てめろ）に沿っｆこ絶対寸
法変化の合計から求める）か１５′６以下であることを
色味する。好ましくは、凝集体寸法変化は１０％以下で
ある。

条件付は中に、ＰＶＤＦの厚さは少なくとも杓ｌＯ〜１
５％増加するので、本発明を実施する二、より１７Ｌ・
サノブルを容易に製造できる（１也の方、去では、厚い
ザンブルを延伸することによって製造しなけメｔはなら
ないが、この操作は困難から翔れない）。すなわち、厚
ざ１．３ａｘのサノブルを出発物質として、厚さ１．５
ｘｉのサノプルを製造することかできる。

本発明を支配する原理は十分理解されておらず、いかな
る理論にも拘束されることを望まないが、本発明による
条件付けによって、ＰＶＤＦは整体と収縮して寸法的に
安定な状態となることかでき、それによって空隙率か低
下し、寸法、形、および空隙の爪の５４節か可能になる
と確信する。同時に電界を加えるので、β相の双極子か
熱活性化されて脱分極するのを防止でき、高圧電性は実
質的に保持される。高温下でのエーシングで、圧電性か
け外にら安定であることに対する十分戸理論的説明は、
現在のところ無い。

本発明の実施に行用なフッ（ヒビニリデンポリマーには
、フッ化ヒニリデン中モボリマーおよびそのコポリマー
か含まれる。（史１１１シ得るコポリマー１よ、少なく
とも５０モル％のフッ化ヒニリデノ、および少なくとら
一種の共重合可能なコモノマー、例えばフッ化ヒニル、
トリフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレノ、
テトラフルオロエチレン、Ｊ）よびヘギサフルオロエチ
レンを自行するコポリマーである。一種まノニはそれ以
上のフッ化ビニリデンポリマーを少なくとら５０％含何
自行これらのポリマーのブレットら１几、本発明の実道
に（重用し得ろ。フッ化ヒニ）１デノボリマーと共に（
重用し得るポリマーには、例えばポリメチルメタクリレ
ート、ポリメチルアクリレート、ポリ酢酸ビニル、ポリ
カーボネート、ポリエチレンテレフタレートなとか含ま
れる。−１，７化ヒニリデンボリマーおにび略ｐ；−ｐ
　ｖ　ｏ　Ｆと、↓、１；モボリフーと同（ｐにこの上
うｔＪ：コポリマーわよびブレットをさ４−と理解すべ
きである。特にヒニリデンポモポリマーをさす場合には
、そのよ・−）に明示する。

：ｉｉｉ記のように、ＰＶＤＦは、通例延伸および分極
によって十分に圧電性となる。（本明細書中では、ＰＶ
ＤＦを延伸および分極によって圧電性とするという場合
には、両工程か完了しなければポリマーに圧電性か得ら
れないということではなく、工作完了前に圧電性の無い
ものについては工程によって圧電性が生じ、工作完了前
に圧電性を何するものについては、両工程の完了によっ
て実質的に圧電性か高まるということを色味する。）一
部または全部を延伸すると、ＰＶＤＦは、溶融物から結
晶化した通常のα型結晶から、より階柱の人きいβ型の
配向鎖に変換されろ。通仲温度は重要である。この温度
は、分子か十分に可動性となって、各ポリマーセグメン
トが破壊なく再配列するように十分高温でなければなら
ないが、高すぎる（約１５０°Ｃ以上）と、すべてのα
型鎖か移動しすぎて、延伸してβ型構造となる代わりに
互いにスライドしでもよい、はとんと変換させることか
できないので、約６０〜１１０℃の温度か好ましい。

延伸用は、約２００〜５００％（延伸比３１〜６ｌ　ニ
Ｈｌ’ｆｆ１ｔ口）ニー４”、３　でＡ−Ｉｒ＋１（”
ずｔＬ　ニｔ！ヨ、σ伸圧を６１以下に十へごて・）ろ
、１またはそれり上の袖、Ｉノ向に鎚伸することかてき
る。通例性なっ上うにＰ　Ｖ　Ｄ　Ｆを二軸方向に延伸
ずろことを一輔延叶と（・い、二軸方向に延ｌ′ｌｌＩ
することを、二軸延伸といろ。１１７ｆ記の寸法安定性
に関する議論は、こ、う輔に関する。

分極によ−て、β型のラノ／ムな配向の双極子を一定方
向にそろえる。Ｐνｌ）Ｆホモポリマーのポーリングに
は５〜２００Ｍ’ｖ・臀の電界を使用することＶ・てき
ろＤ・、好ましζ′１１５０〜１５０ＭＶ・ゴてあり、
ｎ　ｌ　ＯＯＭＶ／ｌ＋か最乙好ましい。ボーｊ１ツク
を１妾触１去によって行なつことｎ）でき、この場合、
ボーリックの前に二電極をＰＶＤＦに取り：′”１けろ
・＼さである。−電極を直接高電圧に接続し、他方の電
照を（を他する。分子の可動性を最大にすうｆこめにＰ
　Ｖ　Ｄ　Ｉ”をα−転［ジ温度以上に加熱し、その温
度で約０５〜２５時間、好ましくは１時間分極する。分
極温度は、好ましくは約６０〜８５°Ｃてめ・）、約８
０℃か最ら好ましい。この工程の終了時に、双瓶子配向
を貼ｊ定するために、電圧を保らなからデバイスを冷却
する。

接触分極に用いろ電極を、表面に直接設：を４−４する
ことかできる。例えば導電性塗料てＰＶＤＦ表面を波頂
するが、金嘱製接点をＰＶＤＦにブレス４ることによっ
て供給し得る。金属粒子、と・つわけ銀粒子を液状ヒヒ
クルに分散させた懸ｆ５Ｊ液から成る導電性塗料を使用
し得る。塗料は、噴霧、ブラフノック、浸漬、塗布なと
によって適用することかできる。ＰＶＤＦ表面へ電極を
取り付ける他の方法は、導電性の高い金属（例えば銀）
の層を表面」二に真空蒸着する方法である。実質的にＰ
ＶＤＦの全表面に電極を供給すべきである。好ましくは
、Ｔｉ極は、ポリマー表面にプレスされた平らな金属面
から成る。この同じ電極によって、電極自体またはポリ
マーに害か無＜　ＰＶＤＦか回復し得るならば、二の電
極を本発明の条件付けに使用し得る。

分外の池の方法は、コロナ放電によるらのでうり、コロ
ナを発生させた電極間にＰＶＤＦを通過５ｕろらＪ）て
うる。々子ましく・コロナボーリック時間は、数分間か
９半時間で、うろ、コロナボーリックは、室温以／（の
温度で行な−）でよいが、しばし：１温度調節ｎ・面倒
なので室７，１にで１１戸うことかある。

本明細潜中ては、ｌ）　Ｖ　Ｄ　Ｆを圧電性とする工程
を」ユに［延（中およびボーリッタ」と記しているが、
二メｔは、ポーリングの曲に延伸を完了しなければなら
ないという色味てはなく、本発明のデバイスのクリ造に
一般的で便利な順序であるというたけのことである。実
際、発現または増強された圧電性に不利な影響θ・無け
１ｔば、延伸とボーリックを同［ｌ！Ｊに行なってよく
、こうすると必要な工ｆ呈敗か６成る、）て々子ましい
ことらめろ。例えば、ＰＶＤｒ”（またはそれから製造
したデバイス）を、荷電した圧延ロー（し間に、または
延伸しｒ、Ｈからコロナ放電電極に皿−（−ことによっ
て、延伸とボーリックを同時に行なうことか可１１セで
ある。！Ｊらろん、延伸とボーリックを同時にｉ子なう
場合には、条件付は工程を最後に行なう。

１）　Ｖ　Ｄ　Ｆの空隙率は、密度、）測定によって容
易に求められろ。空隙率か低い程、密度は高い。すなイ
つら、イ１廷空隙のＰＶＤＦホモポリマーの密度は約１
８０９７ｃｃである。本発明のＰ　Ｖ　Ｄ　Ｆホモポリ
マーの密度は、好ましくは１．７５〜１．８０９／ｃｃ
、最乙好ましくは約１７７〜１．８０１／／ｃｃである
。ＰＶＤｒｌ）密度ｄ（ｇ／ｃｃ）は、式％式％）］ Ｅ式中、Ｗａは、ポリマーサンプルの空気中での重量、
Ｗｗは、同しサンプルの水中ての重量、およびＩ）ｖは
、測定条件下での水の密度（ｙ／ｃｃ）を示す」 から容易に計算てきる。

静水係数ｄ３ｈは、Ｐ　Ｖ　Ｄ　Ｆの圧電性をＳ′Ｙ価
するのに便（１１な数である。この係数は通例、注き深
く測定した面積Ａに電極を取り付けたサンプルを周期加
圧容器内に入れ、誘電性浦を排出するビストノによって
周期静水圧を加えなから測定する。通例、測定中に使用
する圧力のピーク−ビータ値は、周波１＆３−１０１４
ｚて約１４０〜ｌ　ＯＯ０ｋＰａ（２０−Ｉ・ｔＯｐｓ
ｉ）である。圧力は、セノノテック（、Ｓ　（！ｎ５ｏ
Ｌｃｃ）Δ２０５　トラノスノユーサーおよび５１０Ｄ
増幅器（ｔ＋’ｉ度約９ｋｌ’、１）で測定する。両デ
バイスからの１に号は、ニコレノト（Ｎ　１ｃｏｌｅＬ
）　２０９０１■デノタルオノロスコープに送られ、オ
ノロスコープからの、圧力のピークビーク値ΔＰおよび
・Ｕ荷ΔＱを容易に測定し１１１ろ。静水係数ｄ３ｈを
、氏 ｄ３ｈ−八〇／ＡΔＰ ｄ３ｈの！旧１”／、：ま、ｐＣ／Ｎ（ピコターロノ／
ニュート／）である。測定時に発生ずるこのような焦電
効果は、ｉｉｌ’ｌ定によると約５％に−４ぎないので
補正をしなくてよい。Ｎｌｉ正をした場合は、ｄ３ｈの
値は、■曽１用するう 本明細訂に開示された多くの適用のために、必要てない
としてら高圧電性か望ましいという場合、それは静水係
数か９ｐＣ／Ｎまたはそれ以上であることを意味１−る
。しかし、高圧電であるたけては、最大限の伺用に不十
分である。ｉ〕Ｖ　Ｄ　Ｆは、後続の［程または使用中
に高温に暴露されてら、この高圧電性を保持てきなけれ
ばならない。高圧電性Ｐ　Ｖ　Ｉ）　Ｆが、このような
暴露を受けて乙圧電的に安定であると見なされるには、
１２０℃で１時間加熱後に、このｄ３ｈか１０％以上低
下してはｔらない。

さらに、本発明のＰＶＤＦについて、このｄ３ｈと岳度
ｄは関連しており、式 ％式％） ［式中、ｄ３ｈは１２０℃で１時間加熱後のポリマーの
静水係数を示し、単位はｐＣ／Ｎｏｄ□は未延伸ポリマ
ーの密度を示し、単位は９／ｃｃ１およびｄは加熱前の
ポリマーの密度を示し、単位は９／ｃｃである］ て示される当量活性Ａ　を与え、Ａ＊は通例６ま＊ たはそれ以上、より好ましくは８以上であることを見出
した。傾き−５０は、本発明のポリマーの密度に対して
静水係数ｄ３ｈをプロットして求められる。

以下の実施例は、本発明を説明するｒこめのらのであっ
て、制限するためのらのではないっ及奮或 実施例１ フッ化ヒニリデノ押出ノート（ル）（Ｓｏｌｅｒ）１０
０８、ツルヘイ（ＳｏｌｖａＹ）社製）のサンプルを８
０’Ｃで延伸速度約２１インチ、７′分で延伸した。

延伸したノートの厚さは、約・１００μであっｒこ。

サンプル表面に電極を取り（・１け、最高！益度１５０
℃になるように９０分間サンプルを条件付けしＬｏその
間、電圧を２２．５ｋＶで一定に保った。４０分間同し
電圧を加えながら、サンプルを２０℃に冷却した。最終
的な厚さは、約４５０μであった。

印加電圧・１５ｋＶで８０℃に１ついて３０分間サンプ
ルを分僅し、電界を加えなＩ）・ら冷却した。サンプル
の静水係数（１３ｈは、９．３１１ＣハてめっＩこ。１
２０℃で１時間加熱後のｄ３１＋’よ、９．ｌｐＣ／Ｎ
てあった。条件付は後の密度は、１．７８９／ＣＣでう
つｆ−０ 実飄例２ フッ化ヒニリデン押出ノート（ソレフ１００８、ノルへ
？社製）の−片を、８０℃で延伸速度約２１イノ（：７
分て延（中した。、畑（中１稔の厚さは、２５０〜３０
０μであった。接触電極を用い、印加電圧３０ｋＶて、
８０℃で３０分間サンプルを分題した。次いで、電圧を
加えながら、２０分間で室、ｇまで冷却した。次いて、
最高温度１４３°Ｃて８０分間サンプルを条件付けした
。条件付は中、一定電圧＋５ｋＶを保った。同じ電圧を
加えながら、４０分間です／プルを２０℃まで冷却した
。最終的な厚さは約３１０μであり、サンプルのｄ３ｈ
は１１、ｌｐｃ／Ｎであった。１２０℃で１時間後のｄ
３ｈは１０．２１］ｃ／Ｎであった。条件付は後の密度
は、１．７６９／ｃｃであッ／’＋　６及鬼厩ｌ ツブ化ヒニリデノ押出ノート（ソレフ１００８、ノルヘ
イ辻製）の−片を、８’［℃て延伸速度約２１分で延伸
した。延伸後の厚さは、約１８０μであった。接触電極
を用い、印加電圧＋７．５ｋＶて、８０℃で１時間サン
プルを分極し、次いて、電圧を加えながら室温まで冷却
した。サンプルの静水係＆’（ｄ　３ｈはＩ　５　、　
Ｉ　ｐＣ／Ｎ、および密度は１．４８９　’ｉ／ｃｃで
あった。＋２０°Ｃて１時間後のｄ３ｈ’よ５８９Ｃ！
＼、よ）よび密度はｌ　、５８９９／ＣＣ，てあった。

特定の好ましい態様によ−て、ここに本発明を、記述し
たが、当業音は種々に変形および変化を加えるてめろっ
。従って、特、１１請求の範囲は、本発明の本質とｆｌ
！囲に含まれる一４′＼てのこのような変形および変化
を包含することをα図するものである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（ａ）最終延伸比が約６：１以下となるように延伸
   し、分極することによつて圧電性とされ；（ｂ）凝集体
   寸法変化が、最終延伸比として約６以下であり； （ｃ）式； Ａ＾＊＝ｄ＿３＿ｈ−５０（ｄｏ−ｄ） ［式中、ｄ＿３＿ｈは１２０℃で１時間加熱後のポリマ
   ーの静水係数を示し、単位はｐＣ／Ｎ；ｄｏは未延伸ポ
   リマーの密度を示し、単位はｇ／ｃｃ；およびｄは加熱
   前のポリマーの密度を示し、単位はｇ／ｃｃである］で
   与えられる当量活性Ａ＾＊が少なくとも６であるフッ化
   ビニリデンポリマー。 ２、ポリマーがフッ化ビニリデンホモポリマーを含有す
   る第１項記載のポリマー。 ３、凝集体寸法変化が１０％以下である第１項記載のポ
   リマー。 ４、ｄ＿３＿ｈが少なくとも９ｐＣ／Ｎ、およびｄが約
   １． ７５〜１．８０ｇ／ｃｃである第１項記載のポリマー。 ５、等量活性Ａ＾＊が少なくとも８である第１項記載の
   ポリマー。 ６、高温でも寸法安定性および圧電安定性がある、高圧
   電性・低空隙率のフッ化ビニリデンポリマーの製法であ
   って、 （ａ）フッ化ビニリデンポリマーを、原形状から延伸し
   た形状に延伸し； （ｂ）ポリマーが原形状に回復し得る条件下で、電界を
   加えつつ、延伸温度より約２０℃高い温度から結晶融点
   より約１５℃低い温度の間の温度でフッ化ビニリデンポ
   リマーを条件付けし；次いで、（ｃ）フッ化ビニリデン
   ポリマーを分極するという順序で行なう製法。 ７、高温でも寸法安定性および圧電安定性がある、高圧
   電性・低空隙率のフッ化ビニリデンポリマーの製法であ
   って、 （ａ）フッ化ビニリデンポリマーを、原形状から延伸し
   た形状に延伸し； （ｂ）フッ化ビニリデンポリマーを分極し；次いで、 （ｃ）ポリマーが原形状に回復し得る条件下で、電界を
   加えつつ、延伸温度より約２０℃高い温度から結晶融点
   より約１５℃低い温度の間の温度でフッ化ビニリデンポ
   リマーを条件付けする という順序で行なう製法。 ８、ポリマーがフッ化ビニリデンホモポリマーである第
   ６項または第７項に記載の製法。 ９、状態調節温度が約１２０℃である第６項または第７
   項に記載の製法。 １０、条件付け工程を、約１０〜１５０ＭＶ／ｍの電界
   を加えて行なう第６項または第７項に記載の製法。 １１、最終延伸比が約６：１以下となるようにフッ化ビ
   ニリデンポリマーを延伸する第６項または第７項に記載
   の製法。