JPS6184080A - 内部ミラ−形ガスレ−ザ管の製造方法 - Google Patents
内部ミラ−形ガスレ−ザ管の製造方法Info
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- JPS6184080A JPS6184080A JP20592084A JP20592084A JPS6184080A JP S6184080 A JPS6184080 A JP S6184080A JP 20592084 A JP20592084 A JP 20592084A JP 20592084 A JP20592084 A JP 20592084A JP S6184080 A JPS6184080 A JP S6184080A
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- hollow cylinder
- glass
- tube
- gas laser
- substrate
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08059—Constructional details of the reflector, e.g. shape
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は内部ミラー形ガスレーザ＠特にその真空外囲
器の濶造刀法に関するものである。
器の濶造刀法に関するものである。
（従来の技術およびその問題点）
一般に共振器がＸ望外囲器構体の一部となっている内部
ミラー形ガスレーザ管においては、レーザ管の内部に放
電路を形成する細管を配置し、この細管に対し共振器を
形成する反射鏡をほぼ垂直に配置する必要がある。この
様な内部ミラー形ガスレーザ管の真空外囲器は、従来以
下の様てして製造されていた。まず第２図に示すように
元軸調整用中空円筒１（溶着した中空円筒取付管２を陽
極４とは反対側にある外囲器太管３の端部を閉じるため
のステム７う／ジ５の中央に突出するカラス短管６の一
端に溶層する。−万、陽極４側では前記した右端側と同
様に中空円筒ｌに溶層した中空円筒取付管２を陰極導入
棒７と排気管８とを有するステム７ランジ９の中央部に
突出するカラス短管６の一端に溶層する。ステム７ラン
ジ９を介し中空円筒２の反対側には薄肉ガラス管をつな
いだ延長管１０を配置している。この延長管１０の先端
部に放電細管１１を同軸状に溶着し、内部に陰極１２を
配置した外囲器太管３の両端に中空円筒取付管２の溶着
されたステム７ランジ５．９をそれぞれ組合せて加熱溶
着し、その後各中空円筒１の外側の端面に−すれぞれ放
電細管１１に対し共振器をなす反射膜が松着されたガラ
ス基板１３゜１４を低融点ガソス１５で気密接層して外
部ミラー形レーザ管の形が出来上がる。
ミラー形ガスレーザ管においては、レーザ管の内部に放
電路を形成する細管を配置し、この細管に対し共振器を
形成する反射鏡をほぼ垂直に配置する必要がある。この
様な内部ミラー形ガスレーザ管の真空外囲器は、従来以
下の様てして製造されていた。まず第２図に示すように
元軸調整用中空円筒１（溶着した中空円筒取付管２を陽
極４とは反対側にある外囲器太管３の端部を閉じるため
のステム７う／ジ５の中央に突出するカラス短管６の一
端に溶層する。−万、陽極４側では前記した右端側と同
様に中空円筒ｌに溶層した中空円筒取付管２を陰極導入
棒７と排気管８とを有するステム７ランジ９の中央部に
突出するカラス短管６の一端に溶層する。ステム７ラン
ジ９を介し中空円筒２の反対側には薄肉ガラス管をつな
いだ延長管１０を配置している。この延長管１０の先端
部に放電細管１１を同軸状に溶着し、内部に陰極１２を
配置した外囲器太管３の両端に中空円筒取付管２の溶着
されたステム７ランジ５．９をそれぞれ組合せて加熱溶
着し、その後各中空円筒１の外側の端面に−すれぞれ放
電細管１１に対し共振器をなす反射膜が松着されたガラ
ス基板１３゜１４を低融点ガソス１５で気密接層して外
部ミラー形レーザ管の形が出来上がる。
この方法では中空円筒ｌに中空円筒取付管２を封着する
工程、中空円筒取付管２をステム７ランジ５．９に溶着
する工程、ステム７ランジ５，９をそれぞれ外囲器太管
３に溶着する工程、さらに姑長管１０．放電細管１１を
それぞれ溶着する工程を必安とし、これらの工程はいず
れも洲度な熟練と多大な工数がかかり量産に不向きであ
り、このためガスレーザ管が高価となる欠点を有してい
た。
工程、中空円筒取付管２をステム７ランジ５．９に溶着
する工程、ステム７ランジ５，９をそれぞれ外囲器太管
３に溶着する工程、さらに姑長管１０．放電細管１１を
それぞれ溶着する工程を必安とし、これらの工程はいず
れも洲度な熟練と多大な工数がかかり量産に不向きであ
り、このためガスレーザ管が高価となる欠点を有してい
た。
一万、工数低減のため第３図のように外囲器大管の陽極
とは反対側端部をガラス管絞シ成形法で第２図の中空円
筒取付管２とほぼ同じ直径に絞り外囲器構体１６を成形
し光軸調整用中空円筒１に直接溶着して工数の低減を行
なう方法が提案されている。しかし、この方法でも外囲
器構体１６と中空円筒ｌとの封着罠は部間の熟練を必女
とし、また外囲器構体１６を中空円筒ＩＫ溶潰しだ佼ざ
らに反射膜が被着されたガラス基板１３と中空円筒１と
を低融点ガラス１５で接着する工程が必光ではん雉にな
り、レーザ管騰作に時間がかかっていた０ 本発明の目的は、製作作業が簡便で作業工数の大幅な低
減を図り得る内部ミラー形ガスレーザ管の製造方法を提
供することであるっ （問題点を解決するための手段） 本発明は、内部ミラー形ガスレーザ管製造に当り、光ｆ
ｊＪ甥整用中空円筒と反射膜が被Ｎされ共振器をなすガ
ラス基板を硬着性ガラスチーブてよって気密に接着し、
さらに中空円筒と外囲器構体とを接着性カラスチーブに
よって気密に嵌着することを特徴とする。
とは反対側端部をガラス管絞シ成形法で第２図の中空円
筒取付管２とほぼ同じ直径に絞り外囲器構体１６を成形
し光軸調整用中空円筒１に直接溶着して工数の低減を行
なう方法が提案されている。しかし、この方法でも外囲
器構体１６と中空円筒ｌとの封着罠は部間の熟練を必女
とし、また外囲器構体１６を中空円筒ＩＫ溶潰しだ佼ざ
らに反射膜が被着されたガラス基板１３と中空円筒１と
を低融点ガラス１５で接着する工程が必光ではん雉にな
り、レーザ管騰作に時間がかかっていた０ 本発明の目的は、製作作業が簡便で作業工数の大幅な低
減を図り得る内部ミラー形ガスレーザ管の製造方法を提
供することであるっ （問題点を解決するための手段） 本発明は、内部ミラー形ガスレーザ管製造に当り、光ｆ
ｊＪ甥整用中空円筒と反射膜が被Ｎされ共振器をなすガ
ラス基板を硬着性ガラスチーブてよって気密に接着し、
さらに中空円筒と外囲器構体とを接着性カラスチーブに
よって気密に嵌着することを特徴とする。
（泉１１山例）
第１図は本発明の一実施例であって、具空外囲器大管部
と中空円筒取付管部とが一体連通する外囲器構体１６の
片方の端面に光軸Ａ整用甲空円筒。
と中空円筒取付管部とが一体連通する外囲器構体１６の
片方の端面に光軸Ａ整用甲空円筒。
１の片方の端面が接着性ガラスチーブ１７で接着され、
さらに中空円筒１の他端面と反射膜が仮着された共振器
をなすガラス基板１３とが接着性ガラスチーブ１７で接
着されている加工外囲器構体管１８を示すものである。
さらに中空円筒１の他端面と反射膜が仮着された共振器
をなすガラス基板１３とが接着性ガラスチーブ１７で接
着されている加工外囲器構体管１８を示すものである。
この方法によれば、外囲器構体１６を中空円筒１に溶着
する必髪がなく、また共去器を成すガラス基板１３と中
空円筒１との接着も接着性ガラスチーブ１７で行なって
いる為ガラス基板１３と中空円筒１との接着及び中空円
筒１と外６器６休１６との接着を同時に行なえる利点か
ある。具体的数１直例を示すと、外囲器構体１６は長さ
４ＱＱｍｍ、直径３ Ｑ ｍｍ 、肉厚１．５ｍｍの硼
珪酸カラス管の中央部４０ ｍｒｎをガラス管絞り成形
法で直径１５ ｍｍ Ｋ散り、中央から長さ２００ ｍ
ｍづつの管に切断して侑られたもので、この構体紗り込
み部端面に厚さＱ、 ｌ ｍｍ １７）接着性ガラスチ
ーズ（Ｖｉｔｔａ社１（Ｊｌａｓｓ Ｔｒａｎｓｆｅｒ
ＴａｐｅＧ １４９５７）１７を貼付し中空円筒ｌを
貼付直にのせ、中２円筒ｊの反対側端面罠前記接脂性ガ
ラスチー１１７を貼付しさらに反射膜が被着され共振器
をなすカラス基板１３をのぞその上に３００ｇの熱鉛製
車し治具１９′＋：ｉ、ｉｉ約６００°Ｃで１５分間加
熱することで接着を行ない方ロエ外囲器輛体管１８を得
た０ 以上の実施例では外囲器構体の−！４ＶＣガラス管絞り
成形法を用い絞り込みを行なっているが、絞り込みを行
なわすとも散は外囲器構体と軸合わせ用中空円筒が接着
性ガラスチーブで接着さ几ていればよく、また接着性力
ラスチーブもＶｉｔｔａ 社ｉＵ １ａｓｓ Ｔｒａｎ
ｓｆｅｒ Ｔａｐｅに限られない０（発明の効果） 以上説明したように、本発明では従来局度な熟練と多大
な工数を必髪とした外囲器構体カラス管を光軸ｊ＋４整
用申望円筒に溶着する工程とその佐行なわれる共振器を
なすカラス基板と中空円筒との低融点ガラス？匣りだ＆
着工程とを接着性ガラスチーズを使った外囲器構体と中
空円筒との接着及び中空円筒と共奈器をなすカラス基板
との接着に変えることにより高度な熟線が不用となり、
また外囲器構体と中空円筒との接着及び中空円筒とカラ
ス基板との接着を同時に行なえる為作業工数が大幅に低
減される利点がある。
する必髪がなく、また共去器を成すガラス基板１３と中
空円筒１との接着も接着性ガラスチーブ１７で行なって
いる為ガラス基板１３と中空円筒１との接着及び中空円
筒１と外６器６休１６との接着を同時に行なえる利点か
ある。具体的数１直例を示すと、外囲器構体１６は長さ
４ＱＱｍｍ、直径３ Ｑ ｍｍ 、肉厚１．５ｍｍの硼
珪酸カラス管の中央部４０ ｍｒｎをガラス管絞り成形
法で直径１５ ｍｍ Ｋ散り、中央から長さ２００ ｍ
ｍづつの管に切断して侑られたもので、この構体紗り込
み部端面に厚さＱ、 ｌ ｍｍ １７）接着性ガラスチ
ーズ（Ｖｉｔｔａ社１（Ｊｌａｓｓ Ｔｒａｎｓｆｅｒ
ＴａｐｅＧ １４９５７）１７を貼付し中空円筒ｌを
貼付直にのせ、中２円筒ｊの反対側端面罠前記接脂性ガ
ラスチー１１７を貼付しさらに反射膜が被着され共振器
をなすカラス基板１３をのぞその上に３００ｇの熱鉛製
車し治具１９′＋：ｉ、ｉｉ約６００°Ｃで１５分間加
熱することで接着を行ない方ロエ外囲器輛体管１８を得
た０ 以上の実施例では外囲器構体の−！４ＶＣガラス管絞り
成形法を用い絞り込みを行なっているが、絞り込みを行
なわすとも散は外囲器構体と軸合わせ用中空円筒が接着
性ガラスチーブで接着さ几ていればよく、また接着性力
ラスチーブもＶｉｔｔａ 社ｉＵ １ａｓｓ Ｔｒａｎ
ｓｆｅｒ Ｔａｐｅに限られない０（発明の効果） 以上説明したように、本発明では従来局度な熟練と多大
な工数を必髪とした外囲器構体カラス管を光軸ｊ＋４整
用申望円筒に溶着する工程とその佐行なわれる共振器を
なすカラス基板と中空円筒との低融点ガラス？匣りだ＆
着工程とを接着性ガラスチーズを使った外囲器構体と中
空円筒との接着及び中空円筒と共奈器をなすカラス基板
との接着に変えることにより高度な熟線が不用となり、
また外囲器構体と中空円筒との接着及び中空円筒とカラ
ス基板との接着を同時に行なえる為作業工数が大幅に低
減される利点がある。
４ 図面のｆｆｌ］都な説明
第１図は本発明による外囲器構体管の製造方法を示す断
面図、第２図および第３図は従来の内部ミラー形ガスレ
ーザ管の断面図である。
面図、第２図および第３図は従来の内部ミラー形ガスレ
ーザ管の断面図である。
１ ・・光軸調整用中空円筒、２・・・・・中空円筒
取付管、４・・・・・内極、３・・・・外囲器太管、５
，９・・・・・ステムフランジ、６・・・・カラス短管
、７・・・・陰極尋人棒、８・・・・排気管、１０・
延長雷、１１・・・・・放電細管、１２・・・・陰極、
１３．１４・・・・・反射膜が被着されたカラス基板、
１５・・・・・・低融点カラス、１６・・・・外囲器構
体カラス管、１７・・・・・接脂性カラスチーブ、１８
・・・・−７Ｊ０工外囲器構体管、１９・・・・黒鉛製
重し治具。
取付管、４・・・・・内極、３・・・・外囲器太管、５
，９・・・・・ステムフランジ、６・・・・カラス短管
、７・・・・陰極尋人棒、８・・・・排気管、１０・
延長雷、１１・・・・・放電細管、１２・・・・陰極、
１３．１４・・・・・反射膜が被着されたカラス基板、
１５・・・・・・低融点カラス、１６・・・・外囲器構
体カラス管、１７・・・・・接脂性カラスチーブ、１８
・・・・−７Ｊ０工外囲器構体管、１９・・・・黒鉛製
重し治具。
享 ／ 図
Claims (1)
- 陰極と陽極間の放電路を形成する放電細管を内蔵し気体
を密閉した真空外囲器の両端が前記放電細管に対し共振
器を成す反射膜が被着されたガラス基板と光軸調整用の
中空円筒とにより閉じられた内部ミラー形ガスレーザ管
の製造方法において、前記ガラス基板と前記中空円筒と
を接着性ガラステープによって気密に接着し、かつ前記
中空円筒と前記外囲器とを接着性ガラステープにより気
密に接着することを特徴とする内部ミラー形ガスレーザ
管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20592084A JPS6184080A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | 内部ミラ−形ガスレ−ザ管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20592084A JPS6184080A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | 内部ミラ−形ガスレ−ザ管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184080A true JPS6184080A (ja) | 1986-04-28 |
Family
ID=16514929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20592084A Pending JPS6184080A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | 内部ミラ−形ガスレ−ザ管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184080A (ja) |
-
1984
- 1984-10-01 JP JP20592084A patent/JPS6184080A/ja active Pending
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