JPS6185057U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6185057U JPS6185057U JP17058084U JP17058084U JPS6185057U JP S6185057 U JPS6185057 U JP S6185057U JP 17058084 U JP17058084 U JP 17058084U JP 17058084 U JP17058084 U JP 17058084U JP S6185057 U JPS6185057 U JP S6185057U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cup array
- current profile
- faraday
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- faraday cup
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例を示す概略図で
ある。第２図は、フアラデーカツプアレイの一例
を示す概略図である。第３図は、ビーム電流プロ
フアイルの一例を示す概略図である。 ３…イオンビーム、４…駆動機構、５…フアラ
デーカツプアレイ、６…フアラデーカツプ、８…
ウエハ、ＡＸ…ビーム軸。
ある。第２図は、フアラデーカツプアレイの一例
を示す概略図である。第３図は、ビーム電流プロ
フアイルの一例を示す概略図である。 ３…イオンビーム、４…駆動機構、５…フアラ
デーカツプアレイ、６…フアラデーカツプ、８…
ウエハ、ＡＸ…ビーム軸。
Claims (1)
- 試料の全面をカバーする大きさを有するイオン
ビームの空間的ビーム電流プロフアイルを測定す
る装置において、試料の直径以上の長さに複数の
フアラデーカツプを配列したフアラデーカツプア
レイと、当該フアラデーカツプアレイをビーム軸
と略垂直になるようにビームラインに挿入し、か
つ当該フアラデーカツプアレイをビームラインか
ら外す駆動機構とを備えることを特徴とするビー
ム電流プロフアイル測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17058084U JPS6185057U (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17058084U JPS6185057U (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6185057U true JPS6185057U (ja) | 1986-06-04 |
Family
ID=30728287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17058084U Pending JPS6185057U (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6185057U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6433838A (en) * | 1987-07-28 | 1989-02-03 | Nissin Electric Co Ltd | Surface analyzer |
-
1984
- 1984-11-09 JP JP17058084U patent/JPS6185057U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6433838A (en) * | 1987-07-28 | 1989-02-03 | Nissin Electric Co Ltd | Surface analyzer |
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