JPS6185800A - 高周波誘導プラズマの点弧方法 - Google Patents
高周波誘導プラズマの点弧方法Info
- Publication number
- JPS6185800A JPS6185800A JP20671584A JP20671584A JPS6185800A JP S6185800 A JPS6185800 A JP S6185800A JP 20671584 A JP20671584 A JP 20671584A JP 20671584 A JP20671584 A JP 20671584A JP S6185800 A JPS6185800 A JP S6185800A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ignition
- fixing ring
- plasma
- electrode
- plug
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006698 induction Effects 0.000 title description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 12
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 206010014357 Electric shock Diseases 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Arc Welding Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術の分野〕
本発明は、高周波誘導プラズマの点弧方法に関する。さ
らに詳しくは、高周波電流を流すワークコイルに囲まれ
たプラズマトーチ内に挿入された点火用電極若しくは水
冷管に該トーチ内に設置した形状記憶合金製スプリング
を装着し、トーチ内温度の上昇に応じて該スプリングを
収縮させて該電極を引きあげ可能とした該点弧方法に関
する。
らに詳しくは、高周波電流を流すワークコイルに囲まれ
たプラズマトーチ内に挿入された点火用電極若しくは水
冷管に該トーチ内に設置した形状記憶合金製スプリング
を装着し、トーチ内温度の上昇に応じて該スプリングを
収縮させて該電極を引きあげ可能とした該点弧方法に関
する。
高周波プラズマ装置は、アークプラズマ装置に較べて、
不純物の混入がないこと、雰囲気ガスの種類が適宜選択
できること、ならびにプラズマガスの速度が低速である
ことなどの利点がある。そのため、金属の超微粉末若し
くはセラミックスの超微粉末の製造または、超高温度で
の化学反応の研究など広く利用されている。該装置の構
造は、水冷された石英製円筒の円周面に銅製の高周波誘
導コイル（ＲＦコイル）を巻き、該コイルに数百キロヘ
ルツないし５メガヘルツの高周波電流を流すことができ
るように構成されている。そして、該石英製円筒のＥ部
からプラズマ操作ガスを導入し、前述のように高周波電
流を流すことによりプラズマを発生させる。
不純物の混入がないこと、雰囲気ガスの種類が適宜選択
できること、ならびにプラズマガスの速度が低速である
ことなどの利点がある。そのため、金属の超微粉末若し
くはセラミックスの超微粉末の製造または、超高温度で
の化学反応の研究など広く利用されている。該装置の構
造は、水冷された石英製円筒の円周面に銅製の高周波誘
導コイル（ＲＦコイル）を巻き、該コイルに数百キロヘ
ルツないし５メガヘルツの高周波電流を流すことができ
るように構成されている。そして、該石英製円筒のＥ部
からプラズマ操作ガスを導入し、前述のように高周波電
流を流すことによりプラズマを発生させる。
このプラズマのスタート方法としては、該石英製円筒の
上部からアルゴンガスを導入して点弧スタートするが、
この点弧方法としては、次の三つの方法が知られている
。すなわち、■石英製円筒の内面に金属膜を蒸着し、該
蒸着膜に傷をつけ。
上部からアルゴンガスを導入して点弧スタートするが、
この点弧方法としては、次の三つの方法が知られている
。すなわち、■石英製円筒の内面に金属膜を蒸着し、該
蒸着膜に傷をつけ。
この傷の部分にスパークを飛ばすことにより点弧する方
法、（Ｄ石英製円筒内を減圧状態にしてアルゴン稀薄ガ
スによる放電を起させた後、徐々に該内圧を常圧に戻す
方法（特開昭５８−１８１，４７１号）および■先端を
尖らせた黒鉛電極（特開昭５６−３２，３１６号）また
は突起部をもつスターター電極（特開昭５８−１３７．
１１！３８、全５Ｂ−１３７．１３９９号）をＲＦコイ
ル部に挿入して放電点弧した後に引きあげ装置を利用し
て該電極を引きあげる方法である。
法、（Ｄ石英製円筒内を減圧状態にしてアルゴン稀薄ガ
スによる放電を起させた後、徐々に該内圧を常圧に戻す
方法（特開昭５８−１８１，４７１号）および■先端を
尖らせた黒鉛電極（特開昭５６−３２，３１６号）また
は突起部をもつスターター電極（特開昭５８−１３７．
１１！３８、全５Ｂ−１３７．１３９９号）をＲＦコイ
ル部に挿入して放電点弧した後に引きあげ装置を利用し
て該電極を引きあげる方法である。
しかしながら、上述の諸方法は、いづれも次に述べる問
題点を有する。すなわち、■の方法は、放電による蒸着
膜の消耗が著るしく、せいぜい数回しか使用できない反
面：蒸着石英管が高価であるから経済的でない、前記■
の方法は、放電開始後石英製円筒内圧を常圧に戻す際に
プラズマが不安定になり易く、運転上高度の技術的訓練
を必要とする。前記■の方法は、比較的簡単に実施でき
るが、プラズマが点弧された後直ちに電極を引きあげる
必要がある。しかし、この引きあげを手動で行うと感電
の危険があり、４Ｉ！械的に行うには自動用あげ装置を
付加する必要がある。さらに前記［Ｆ］の方法は、前記
石英製円筒の上部からプラズマ炎の中心部に原料を供給
する供給管を装着した場合には採用できない。
題点を有する。すなわち、■の方法は、放電による蒸着
膜の消耗が著るしく、せいぜい数回しか使用できない反
面：蒸着石英管が高価であるから経済的でない、前記■
の方法は、放電開始後石英製円筒内圧を常圧に戻す際に
プラズマが不安定になり易く、運転上高度の技術的訓練
を必要とする。前記■の方法は、比較的簡単に実施でき
るが、プラズマが点弧された後直ちに電極を引きあげる
必要がある。しかし、この引きあげを手動で行うと感電
の危険があり、４Ｉ！械的に行うには自動用あげ装置を
付加する必要がある。さらに前記［Ｆ］の方法は、前記
石英製円筒の上部からプラズマ炎の中心部に原料を供給
する供給管を装着した場合には採用できない。
本発明者等は、高周波誘導プラズマの点弧方法に係る従
来の技術の以上の問題点につき鋭意研究を行った。その
結果、石英製円筒の中心部に上方から挿入された電極を
プラズマの点弧後直ちに引きあげる手段として該電極若
しくは電極に代える点火栓つき水冷式原料供給管（以下
水冷供給管という）に形状記憶合金製スプリングを組合
わせることにより前記（りの方法の問題点が解消される
ことを知って本発明を完成した。
来の技術の以上の問題点につき鋭意研究を行った。その
結果、石英製円筒の中心部に上方から挿入された電極を
プラズマの点弧後直ちに引きあげる手段として該電極若
しくは電極に代える点火栓つき水冷式原料供給管（以下
水冷供給管という）に形状記憶合金製スプリングを組合
わせることにより前記（りの方法の問題点が解消される
ことを知って本発明を完成した。
以上の記述から明らかなように、本発明の目的は、安全
確実で装置的にも難点のない高周波誘導プラズマの点弧
方法とその方法に使用する？を置を提供することである
。
確実で装置的にも難点のない高周波誘導プラズマの点弧
方法とその方法に使用する？を置を提供することである
。
本発明は、下記の構成を有する。
（１）高周波電流を流すワークコイルに囲まれたプラズ
マトーチ内に流入させたアルゴンガスに該トーチ内に挿
入された点火用電極若しくは点火栓を用いてプラズマを
点弧する方法において、該電極若しくは点火栓を装着し
た水冷供給管を昇降自在に挿通したノズル内面の該挿通
部に？１ｔ８ｉ又は水冷供給管への上方固定リング；該
固定リングの下方で該電極若しくは該水冷管上に保持さ
れた下方固定リング；上方固定リングと下方固定リング
間に伸縮可能に装着された形状記憶合金製スプリング、
該電極の下端部で構成され若しくは、該“ド方固定リン
グに装着された点火栓からなる点火装置の点火栓を該ワ
ークコイル内に位置させて点弧し、該点弧後の該トーチ
内の過度上昇に伴い該スプリングが収縮して、該点火栓
が点弧されたプラズマ流から抜き出される如くすること
を特徴とする高周波誘導プラズマの点弧方法。
マトーチ内に流入させたアルゴンガスに該トーチ内に挿
入された点火用電極若しくは点火栓を用いてプラズマを
点弧する方法において、該電極若しくは点火栓を装着し
た水冷供給管を昇降自在に挿通したノズル内面の該挿通
部に？１ｔ８ｉ又は水冷供給管への上方固定リング；該
固定リングの下方で該電極若しくは該水冷管上に保持さ
れた下方固定リング；上方固定リングと下方固定リング
間に伸縮可能に装着された形状記憶合金製スプリング、
該電極の下端部で構成され若しくは、該“ド方固定リン
グに装着された点火栓からなる点火装置の点火栓を該ワ
ークコイル内に位置させて点弧し、該点弧後の該トーチ
内の過度上昇に伴い該スプリングが収縮して、該点火栓
が点弧されたプラズマ流から抜き出される如くすること
を特徴とする高周波誘導プラズマの点弧方法。
本発明の構成と効果につき、以下図面のよって詳細に説
明する。
明する。
第１図（ａ 、 ｂ）は、本発明に係る高周波プラズマ
装置の例示説明図である。
装置の例示説明図である。
図において、１は高周波誘導プラズマトーチであり、上
部にプラズマ操作ガスフィードノズル２ａ。
部にプラズマ操作ガスフィードノズル２ａ。
２ｂ、 ２ｃを持ったノズル部材２が装着されている。
６は、ＲＦコイルで銅管８ａおよび６ｂによって高周波
発振ａ（図示せず）と接続されている。 ＲＦコイル６
に負荷する高周波の周波数は、装置の容Ｑ記によって変
わるが、数百キロヘルツないＩＡ５メガヘルツの範囲で
使用される。最内筒５は石英製の円筒で水冷ジャケット
部７に囲まれている。冷却水は、７ａから入り７ｂから
排出されこれにより石英管を高温度から保ｊ作する。更
に、前記ノズル部材２の中心には、黒鉛電極３若しくは
黒鉛製の点火栓５を装着した水冷供給管１０（ただし、
第３図に示す）が挿通されリング１２で挿入深さを調整
されている。ノズル内面の該挿通部には上方固定リング
９が嵌着され、その下の下方固定リング４との間に該両
リングに固定されて形状記憶合金製のスプリング８が装
着されている。そしてプラズマが点弧されて高周波誘導
プラズマトーチｌ内の温度上昇が該スプリングに及ぶと
、該スプリングが予め記憶している形状にまで収縮して
（第１図ｂ）、該点火栓をプラズマ外に移動させる。こ
のため従来のような危険を伴う点火栓を引上げる手動操
作が不要となり、若しくは、核用あげ用の複雑で高価な
自動操作が不要となる。また水冷供給管を使用する場合
でも点火栓１１の上下動が可能となるので、トーチ下部
からの原料供給管１３ａ、 １３ｂを使用しなくてもよ
い。
発振ａ（図示せず）と接続されている。 ＲＦコイル６
に負荷する高周波の周波数は、装置の容Ｑ記によって変
わるが、数百キロヘルツないＩＡ５メガヘルツの範囲で
使用される。最内筒５は石英製の円筒で水冷ジャケット
部７に囲まれている。冷却水は、７ａから入り７ｂから
排出されこれにより石英管を高温度から保ｊ作する。更
に、前記ノズル部材２の中心には、黒鉛電極３若しくは
黒鉛製の点火栓５を装着した水冷供給管１０（ただし、
第３図に示す）が挿通されリング１２で挿入深さを調整
されている。ノズル内面の該挿通部には上方固定リング
９が嵌着され、その下の下方固定リング４との間に該両
リングに固定されて形状記憶合金製のスプリング８が装
着されている。そしてプラズマが点弧されて高周波誘導
プラズマトーチｌ内の温度上昇が該スプリングに及ぶと
、該スプリングが予め記憶している形状にまで収縮して
（第１図ｂ）、該点火栓をプラズマ外に移動させる。こ
のため従来のような危険を伴う点火栓を引上げる手動操
作が不要となり、若しくは、核用あげ用の複雑で高価な
自動操作が不要となる。また水冷供給管を使用する場合
でも点火栓１１の上下動が可能となるので、トーチ下部
からの原料供給管１３ａ、 １３ｂを使用しなくてもよ
い。
なお築２図は、第１図の黒鉛電極の下部の拡大図で、３
は黒鉛電極、４は下方固定リング、８は前述のスプリン
グ、９は上方固定リングである。
は黒鉛電極、４は下方固定リング、８は前述のスプリン
グ、９は上方固定リングである。
そして９は３に固定され４はスプリング８の伸縮に伴っ
て３の上を摺動する。 ＩＩは尖端となっている点火部
である。
て３の上を摺動する。 ＩＩは尖端となっている点火部
である。
第３図ａ、ｂは、第１図の黒鉛電極に代えてノズル２に
装着可能な水冷供給管の下部の拡大説１１図で、記号４
，８．９の意味は第２図と同様である。ｌＯは水冷供給
管で、二重管となっており、ジャケット部は通水され、
中心部はＭ料ガスの供給管である。同図ａでは点火装置
９−８−４−１１は上方固定リング９において水冷供給
管ｌＯに嵌着され、点火栓１１は水冷供給管１０と共に
上下動する。他方、同図すでは、該点火装置は、上方固
定リング９においてノズル２の下面（ｔＪＩＪ１図）固
定され。
装着可能な水冷供給管の下部の拡大説１１図で、記号４
，８．９の意味は第２図と同様である。ｌＯは水冷供給
管で、二重管となっており、ジャケット部は通水され、
中心部はＭ料ガスの供給管である。同図ａでは点火装置
９−８−４−１１は上方固定リング９において水冷供給
管ｌＯに嵌着され、点火栓１１は水冷供給管１０と共に
上下動する。他方、同図すでは、該点火装置は、上方固
定リング９においてノズル２の下面（ｔＪＩＪ１図）固
定され。
水冷供給管には、単に挿通されているだけである。した
がって点火栓１１のみが上下動する。なおいづれの場合
も点火栓１１は下方固定リング４に固着されている。
がって点火栓１１のみが上下動する。なおいづれの場合
も点火栓１１は下方固定リング４に固着されている。
実施例
ターファ社（米国ＴＡＦＡ （：ｏ、）製５６型プラズ
マトーチを用いて実際に点弧した例を説明する。
マトーチを用いて実際に点弧した例を説明する。
第１図のトーチの黒鉛電極３に代えて、第３図（ｂ）の
点火栓固Ｒ型原料供給管１０を装着する。そして鎖管に
上方固定リング９で固着されている形状記憶合金製スプ
リング８の下端に鎖管に摺動して伸縮自在に固着されて
いる下方固定リング４に螺着されている黒鉛製点火栓１
１の下端部がＲＦコイル６の１春目と２春目中間に位置
するように挿入してセットする。ついで該トーチ内をア
ルゴンガスで置換し、ノズル２ａより２０ｆＬ１層ｉｎ
（標準状態換算）およびノズル２ｃから２５４１ ／ｗ
ｉｎのアルゴンガスをそれぞれ流しなからＲＦコイル６
に４メガヘルツの高周波電流を流す、徐々に負荷を上げ
、グレート電圧５．？ＫＶ、プレート電流１．８Ａにな
った所でプラズマが点火する。該点弧後、該トーチ内の
温度が上昇した時点で形状記憶合金製スプリング８が収
縮して（註、第１図すの状態）原料供給管ｌＯに沿って
黒鉛点火栓をノズル２の方へ引上げ、該栓をプラズマ外
に移動させた０以上により点弧操作は終了し、原料供給
管ｌＯからの原料ガス供給が可能となった。
点火栓固Ｒ型原料供給管１０を装着する。そして鎖管に
上方固定リング９で固着されている形状記憶合金製スプ
リング８の下端に鎖管に摺動して伸縮自在に固着されて
いる下方固定リング４に螺着されている黒鉛製点火栓１
１の下端部がＲＦコイル６の１春目と２春目中間に位置
するように挿入してセットする。ついで該トーチ内をア
ルゴンガスで置換し、ノズル２ａより２０ｆＬ１層ｉｎ
（標準状態換算）およびノズル２ｃから２５４１ ／ｗ
ｉｎのアルゴンガスをそれぞれ流しなからＲＦコイル６
に４メガヘルツの高周波電流を流す、徐々に負荷を上げ
、グレート電圧５．？ＫＶ、プレート電流１．８Ａにな
った所でプラズマが点火する。該点弧後、該トーチ内の
温度が上昇した時点で形状記憶合金製スプリング８が収
縮して（註、第１図すの状態）原料供給管ｌＯに沿って
黒鉛点火栓をノズル２の方へ引上げ、該栓をプラズマ外
に移動させた０以上により点弧操作は終了し、原料供給
管ｌＯからの原料ガス供給が可能となった。
第１図（ａ、ｂ）は、本発明方法を説明するためのプラ
ズマトーチのスタート前後の状態を示す。 第２．３図は本発明の方法に使用する点火用電極（第２
図）若しくは点火栓が形状記憶合金製スプリングと組合
わされた状態を示す、たＮ Ｌｉ３図ａは点火装置固定
型、同図すは点火装置固定型である。 第１．２図において、 １・・・高周波誘導プラズマトーチ ２・・・ノズル ３・・・点火用黒鉛電極４
・・・下方固定リング ５・・・石英製円部６・・・
ＲＦコイル ７・・・水冷ジャケット８・・・
形状記憶合金製スプリング ９・・・上方固定リング １１・・・点火部１２・・
・ノズル外面固定リング 第３図（ａ 、 ｂ）において ４・・・下方固定リング ８・・・形状記憶合金製スプリング ９・・・上方固定リング １０・・・水冷供給管 １１・・・黒鉛製点火栓 以 上 特許出願人 チッソ株式会社 代理人 弁理士 佐々井 彌太部 同 上 野 中 克 彦＄２図
第３ （α） （ｂ）
ズマトーチのスタート前後の状態を示す。 第２．３図は本発明の方法に使用する点火用電極（第２
図）若しくは点火栓が形状記憶合金製スプリングと組合
わされた状態を示す、たＮ Ｌｉ３図ａは点火装置固定
型、同図すは点火装置固定型である。 第１．２図において、 １・・・高周波誘導プラズマトーチ ２・・・ノズル ３・・・点火用黒鉛電極４
・・・下方固定リング ５・・・石英製円部６・・・
ＲＦコイル ７・・・水冷ジャケット８・・・
形状記憶合金製スプリング ９・・・上方固定リング １１・・・点火部１２・・
・ノズル外面固定リング 第３図（ａ 、 ｂ）において ４・・・下方固定リング ８・・・形状記憶合金製スプリング ９・・・上方固定リング １０・・・水冷供給管 １１・・・黒鉛製点火栓 以 上 特許出願人 チッソ株式会社 代理人 弁理士 佐々井 彌太部 同 上 野 中 克 彦＄２図
第３ （α） （ｂ）
Claims (1)
- （１）高周波電流を流すワークコイルに囲まれたプラズ
マトーチ内に流入させたアルゴンガスに該トーチ内に挿
入された点火用電極若しくは点火栓を用いてプラズマを
点弧する方法において、該電極若しくは点火栓を装着し
た水冷供給管を昇降自在に挿通したノズル内面の該挿通
部に電極又は水冷供給管への上方固定リング；該固定リ
ングの下方で該電極若しくは該水冷管上に保持された下
方固定リング；上方固定リングと下方固定リング間に伸
縮可能に装着された形状記憶合金製スプリング、該電極
の下端部で構成され若しくは、該下方固定リングに装着
された点火栓からなる点火装置の点火栓を該ワークコイ
ル内に位置させて点弧し、該点弧後の該トーチ内の過度
上昇に伴い該スプリングが収縮して、該点火栓が点弧さ
れたプラズマ流から抜き出される如くすることを特徴と
する高周波誘導プラズマの点弧方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20671584A JPS6185800A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 高周波誘導プラズマの点弧方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20671584A JPS6185800A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 高周波誘導プラズマの点弧方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6185800A true JPS6185800A (ja) | 1986-05-01 |
Family
ID=16527908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20671584A Pending JPS6185800A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 高周波誘導プラズマの点弧方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6185800A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03120303U (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-11 |
-
1984
- 1984-10-02 JP JP20671584A patent/JPS6185800A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03120303U (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3004137A (en) | Method and apparatus for the production of high gas temperatures | |
| US3330985A (en) | High voltage igniter with fluid feed through the insulator core center | |
| CN103079329B (zh) | 一种高压等离子点火装置 | |
| US4665296A (en) | Method of and apparatus for igniting a high-frequency torch to create a high-temperature plasma of high purity | |
| JP2012199236A (ja) | プレチャンバー点火プラグおよびその点火室キャップ | |
| JP2000328134A (ja) | 真空脱ガス槽用複合ランス及びその使用方法 | |
| US7402275B2 (en) | Powder body melting burner | |
| JPS6185800A (ja) | 高周波誘導プラズマの点弧方法 | |
| CN109404164B (zh) | 一种固体火箭发动机燃烧性能提高的装药结构 | |
| EP0418284A1 (en) | SPARK PLUG. | |
| US4223874A (en) | Shaft furnace for producing low-oxygen iron-base metallic powder for powder metallurgy | |
| US7132620B2 (en) | Inductive thermal plasma torch | |
| US3316082A (en) | Oxygen steelmaking | |
| US5297510A (en) | Volume ignition system | |
| US1957254A (en) | Method for the conversion of gases or gas mixtures at high temperatures | |
| JP2002173333A (ja) | 光ファイバの線引用加熱炉および線引方法 | |
| US2367029A (en) | Protection of chilling nozzles | |
| KR100419798B1 (ko) | 고주파 유도 가열방식에 의한 턴디쉬 예열장치 | |
| CN103628130A (zh) | 一种可实现连续拉晶的冷坩埚熔炼装置 | |
| US1535007A (en) | Method for removing liners from cylinders | |
| US3033651A (en) | Method and apparatus for making carbon black | |
| JPS6168900A (ja) | プラズマト−チの着火方法 | |
| US2640136A (en) | Electrode for underwater cutting | |
| US2365608A (en) | Electric discharge device | |
| US2327763A (en) | Method of firing explosive rivets |