JPS618649U - 基板供給装置 - Google Patents

基板供給装置

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Publication number
JPS618649U
JPS618649U JP9290484U JP9290484U JPS618649U JP S618649 U JPS618649 U JP S618649U JP 9290484 U JP9290484 U JP 9290484U JP 9290484 U JP9290484 U JP 9290484U JP S618649 U JPS618649 U JP S618649U
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JP
Japan
Prior art keywords
chuck
supply device
substrate supply
substrates
lifter
Prior art date
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Pending
Application number
JP9290484U
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English (en)
Inventor
光一 田村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案の実施例を示すもので基板を一枚ずつか
き出して供給する方法の断面図、第２図は本考案の実施
例において基板を直接供給する方法の断面図である。 １・・・マガジン、２・・・リフター、３・・・センサ
ー、４・・・一枚ずつかき出す装置、５・・・爪、６・
・・ストッパー、７・・・チャック、８・・・上下シリ
ンダー、９・・・左右シリンダー、Ｘ・・・素板、Ｙ・
・・素板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板を積み重ねて保持し、底面にリフターの入る穴のあ
    るマガジンと、該基板を所定高さまで上昇させるリフタ
    ーと、所定高さを検出するセンサーと、該基板を上から
    一枚ずつかき出す手段と、真空チャック及びそのチャッ
    クを上下させるシリンダおよびその部分を左右に移動さ
    せるシリンダと、該移動の中間で停止させるストッパー
    とを有したことを特徴とする基板供給装置。
JP9290484U 1984-06-21 1984-06-21 基板供給装置 Pending JPS618649U (ja)

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JP9290484U JPS618649U (ja) 1984-06-21 1984-06-21 基板供給装置

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JP9290484U JPS618649U (ja) 1984-06-21 1984-06-21 基板供給装置

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JPS618649U true JPS618649U (ja) 1986-01-18

Family

ID=30650114

Family Applications (1)

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JP9290484U Pending JPS618649U (ja) 1984-06-21 1984-06-21 基板供給装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS618649U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104229504A (zh) * 2014-08-29 2014-12-24 苏州巨康缝制机器人有限公司 一种供标装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104229504A (zh) * 2014-08-29 2014-12-24 苏州巨康缝制机器人有限公司 一种供标装置

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