JPS618941U - 真空排気装置 - Google Patents

真空排気装置

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Publication number
JPS618941U
JPS618941U JP9364084U JP9364084U JPS618941U JP S618941 U JPS618941 U JP S618941U JP 9364084 U JP9364084 U JP 9364084U JP 9364084 U JP9364084 U JP 9364084U JP S618941 U JPS618941 U JP S618941U
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JP
Japan
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vacuum
vacuum exhaust
exhaust equipment
mass spectrometer
stage
Prior art date
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Pending
Application number
JP9364084U
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English (en)
Inventor
健一 阪田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
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Publication of JPS618941U publication Critical patent/JPS618941U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】 第１図は、本考案の一実施例を示す構成図、第２図は、
本考案の他の実施例を示す構成図、第３図は、従来例を
示す構成図である。 １，５・・・スリット、２・・・スキマー、３・・・第
１室、４・・・第２室、６・・・質量分析計、７・・・
検出器、１４， １５， １６・・・漏斗形部材、
１７・・・多段ステージ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 複数の室を備え、差動排気して真空度を高め、所定の真
    空度の下で、イオンを含む分子、又は、原子より成るビ
    ームを質量分析計に供給する真空排気装置において、 前記質量分析計の設置室に隣接する室が、多段ステージ
    を排気口側に備え排気動作に伴い前記ビームを圧接する
    ことを特徴とする真空排気装置。
JP9364084U 1984-06-22 1984-06-22 真空排気装置 Pending JPS618941U (ja)

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JP9364084U JPS618941U (ja) 1984-06-22 1984-06-22 真空排気装置

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JP9364084U JPS618941U (ja) 1984-06-22 1984-06-22 真空排気装置

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JPS618941U true JPS618941U (ja) 1986-01-20

Family

ID=30651501

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JP9364084U Pending JPS618941U (ja) 1984-06-22 1984-06-22 真空排気装置

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