JPS6190030A - 圧電振動子圧力センサ装置 - Google Patents
圧電振動子圧力センサ装置Info
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- JPS6190030A JPS6190030A JP21304084A JP21304084A JPS6190030A JP S6190030 A JPS6190030 A JP S6190030A JP 21304084 A JP21304084 A JP 21304084A JP 21304084 A JP21304084 A JP 21304084A JP S6190030 A JPS6190030 A JP S6190030A
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- JP
- Japan
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- pressure
- diaphragm
- oscillation
- frequency
- pressure sensor
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
１ｍとの利用分野）
本発明は、圧セ振動子圧カセンサ装ごに係り、特に、圧
電振動子の周波数の安定性を利用し、かつ、広範な温度
域と圧力域をもつ圧力をｌＣ７流で検出可能な圧電振動
子圧力センサ装置に関する。
電振動子の周波数の安定性を利用し、かつ、広範な温度
域と圧力域をもつ圧力をｌＣ７流で検出可能な圧電振動
子圧力センサ装置に関する。
（従来技術とその問題点）
ｉ７ｓ９図および：ｊＳｌＯ図は従来の圧力センサの一
例を説明する説明図である０図中、２０は円筒状の容器
であり、そのｖｑ端部には薄いセラミックダイアプラム
２１を設ける。該ダイアプラム２１の裏側には’電極ｂ
１．ｂ２を形成させ、その電極ｂ１ 、ｂ２には内部対
向電極ａを設けるようにする、そこで、ダイアフラム外
部の圧力が変化するとダイアフラムが変化し、′；電極
ｂｌ、ｂ２と内部対向電極ａとの間隔が変化することに
なるので、この変化を静電容４１． ｃの変化として検
出し、圧力センサとして用いるようにしている。しかし
、この種の圧力センサは１！極す、、ｂ２と内部対向Ｉ
ｔ極ａの設定が面倒であると共に圧力域を広くとるため
の調整を行なうことが困難であった。
例を説明する説明図である０図中、２０は円筒状の容器
であり、そのｖｑ端部には薄いセラミックダイアプラム
２１を設ける。該ダイアプラム２１の裏側には’電極ｂ
１．ｂ２を形成させ、その電極ｂ１ 、ｂ２には内部対
向電極ａを設けるようにする、そこで、ダイアフラム外
部の圧力が変化するとダイアフラムが変化し、′；電極
ｂｌ、ｂ２と内部対向電極ａとの間隔が変化することに
なるので、この変化を静電容４１． ｃの変化として検
出し、圧力センサとして用いるようにしている。しかし
、この種の圧力センサは１！極す、、ｂ２と内部対向Ｉ
ｔ極ａの設定が面倒であると共に圧力域を広くとるため
の調整を行なうことが困難であった。
一方、圧電振動子は励振電力の印加によりその固有周波
数（電気共振周波数ともいう）で強く共振を生じるので
安定な一定周波数を得る手段としてｄ Ｌｆｆ機などに
広く用いられてきており この圧、シ撮勤ｔを用いた圧
カセノサをりすることが強く望まれていた。
数（電気共振周波数ともいう）で強く共振を生じるので
安定な一定周波数を得る手段としてｄ Ｌｆｆ機などに
広く用いられてきており この圧、シ撮勤ｔを用いた圧
カセノサをりすることが強く望まれていた。
（発明の目的）
本発明は、Ｘ囲気に影響されず、圧電振動子の４＆Ｉ動
の安定性を利用し、かつ、広範な温度域と圧力域をもつ
圧力を直流で検出可能なコンパクトな圧ＴＬ振動子圧カ
センサ装置を提供することを目的とする。
の安定性を利用し、かつ、広範な温度域と圧力域をもつ
圧力を直流で検出可能なコンパクトな圧ＴＬ振動子圧カ
センサ装置を提供することを目的とする。
（発明のＩＮ要）
本発明は、気密容器内に同一平板状の圧題体とに形成さ
れる厚み振動をする三対の同一′Ｗｌ極対（振動部）を
所定距離隔てて配設し、中央に位置する電極対（ｒＡ動
Ｂ）の−表面に平行に対応してダイアフラムが圧力差に
よって生ずる変位を伝える対向心棒を設け、この対向電
極とこの中央の電極対の前記対向電極と反対側の電極間
に外部より発振をＪａ続するための発振回路を接続する
と共に該発振回路からバッファを介して中央のｔ極対以
外の２つの１極対（振動部）が含まれる周波数判別回路
を接続して、周波数の変化をｆ１流出力として検出する
ようにする。
れる厚み振動をする三対の同一′Ｗｌ極対（振動部）を
所定距離隔てて配設し、中央に位置する電極対（ｒＡ動
Ｂ）の−表面に平行に対応してダイアフラムが圧力差に
よって生ずる変位を伝える対向心棒を設け、この対向電
極とこの中央の電極対の前記対向電極と反対側の電極間
に外部より発振をＪａ続するための発振回路を接続する
と共に該発振回路からバッファを介して中央のｔ極対以
外の２つの１極対（振動部）が含まれる周波数判別回路
を接続して、周波数の変化をｆ１流出力として検出する
ようにする。
（χ施例）
以下、未発明の一実施例を図面を参照しながら詳細に説
明する。
明する。
第１図は圧電振妨子圧カセンサ装置の内部を破断して示
した傾斜図、第２図は圧電振動子圧カセ／す回路図であ
る０図中、１は気密容器、２はダイアフラム、２ａはダ
イアプラムの裏面に取付けられた対向′＠極、３は圧ｉ
ｔ振動子片、３＆〜３ｃは圧電振動部、４は圧電振動子
片保持具、５は定眉圧バッファ、６は周波数判別回路、
７は発振回路である。
した傾斜図、第２図は圧電振動子圧カセ／す回路図であ
る０図中、１は気密容器、２はダイアフラム、２ａはダ
イアプラムの裏面に取付けられた対向′＠極、３は圧ｉ
ｔ振動子片、３＆〜３ｃは圧電振動部、４は圧電振動子
片保持具、５は定眉圧バッファ、６は周波数判別回路、
７は発振回路である。
次に、この圧電振動子圧カセンサ装２の動作について説
明する。まず１片面にダイアフラム２を有する気密容器
ｌ内に、同−平板状圧？ｔｔＭ動子３の上に形成した厚
み振動をする三対の同一１電極対（振動部）を互いに音
饗結合しないとみなせる所定距離（圧電体中の波長の１
０倍以上）に離して大々配設する。これらの振動部のう
ち中央の振動部３ｂの一表面に平行に対応してダイアフ
ラム２が圧力差によって生ずる変位を伝える対向電極２
ａを設ける。この対向電極２ａとこの中央の振動部３ｂ
のうち灼応電極２ａと反対側の電極間で形成した電気回
路に外部より発振を持続するための発振回路７を持続す
る。
明する。まず１片面にダイアフラム２を有する気密容器
ｌ内に、同−平板状圧？ｔｔＭ動子３の上に形成した厚
み振動をする三対の同一１電極対（振動部）を互いに音
饗結合しないとみなせる所定距離（圧電体中の波長の１
０倍以上）に離して大々配設する。これらの振動部のう
ち中央の振動部３ｂの一表面に平行に対応してダイアフ
ラム２が圧力差によって生ずる変位を伝える対向電極２
ａを設ける。この対向電極２ａとこの中央の振動部３ｂ
のうち灼応電極２ａと反対側の電極間で形成した電気回
路に外部より発振を持続するための発振回路７を持続す
る。
一方、この発振回路７から発振に影１を及ぼさないため
のバッファ５を介して三対の電極対（振動部）３ｍ、３
ｂ、３ｃのうち、中央の振動部３ｂを除く２つの振動部
３ｍ、３ｃが含まれる周波数判別回路６に４３周波数の
変化を直流出力として検出する。尚、Ｗ４波数判別回路
６におけるコンデ／すＣ５は整合トランスＴの同調コン
デンサ、コンデ／すｃ、、Ｃ２はほぼ振動部２ａ、２ｃ
の静電容’ｋ ｃ ｏと等しくする。抵抗Ｒは検出出力
負荷抵抗である。
のバッファ５を介して三対の電極対（振動部）３ｍ、３
ｂ、３ｃのうち、中央の振動部３ｂを除く２つの振動部
３ｍ、３ｃが含まれる周波数判別回路６に４３周波数の
変化を直流出力として検出する。尚、Ｗ４波数判別回路
６におけるコンデ／すＣ５は整合トランスＴの同調コン
デンサ、コンデ／すｃ、、Ｃ２はほぼ振動部２ａ、２ｃ
の静電容’ｋ ｃ ｏと等しくする。抵抗Ｒは検出出力
負荷抵抗である。
Ｌ６の動作を更に詳細に説明する。
ダイアフラム２Ｆの圧力が変化すると気密容器ｌ内の気
圧との圧力差が変化するので、その圧力差の変化に応じ
てダイアフラム２は変位する。するとそのダイアフラム
２に取付けられている対向電極２ｍ＃３′１１位する。
圧との圧力差が変化するので、その圧力差の変化に応じ
てダイアフラム２は変位する。するとそのダイアフラム
２に取付けられている対向電極２ｍ＃３′１１位する。
一方、圧電振動子片３は保持具４によって保持されてお
り、圧力の変動には左右されない、つまり、圧力の変動
によっても圧電振動子片３上に形成された振動部３ｂは
変位しない。
り、圧力の変動には左右されない、つまり、圧力の変動
によっても圧電振動子片３上に形成された振動部３ｂは
変位しない。
従って、気密容！！ｌの外部の気圧変化によって、に４
向電極２＆と圧１を振動子片３との振動部３ｂとの間Ｈ
ｔが変化することになる。
向電極２＆と圧１を振動子片３との振動部３ｂとの間Ｈ
ｔが変化することになる。
このように構成されたものは第２図に示される外部発振
回路７に接続し発振させるようにする。
回路７に接続し発振させるようにする。
つまり、振動部３ｂに対向＃ｌ極２＆と振動部３ｂとの
間で形成される静電容積Ｃ１を直列に接続し、この両端
に発振回路７を接続する。
間で形成される静電容積Ｃ１を直列に接続し、この両端
に発振回路７を接続する。
そして、振動部３ｂの助振回路中にそれと直列にこの負
荷容量とよばれる静電容量ＣＬを挿入すると、この＾）
電容礒の大きさに従って固有周波数ｆは直列共振周波数
ｆ０かも次のように変化するる電極間静電６碩、ｃ１は
同じ〈等価直列静電容７１テアリ、ｒｌｔＡ）’ｉｔ容
１１比（ｒ−Ｃｏ ／Ｃ＋ ） とよばれる圧電体の電
気機械結合係数と、圧電振動子の構造によって決まる定
数である。
荷容量とよばれる静電容量ＣＬを挿入すると、この＾）
電容礒の大きさに従って固有周波数ｆは直列共振周波数
ｆ０かも次のように変化するる電極間静電６碩、ｃ１は
同じ〈等価直列静電容７１テアリ、ｒｌｔＡ）’ｉｔ容
１１比（ｒ−Ｃｏ ／Ｃ＋ ） とよばれる圧電体の電
気機械結合係数と、圧電振動子の構造によって決まる定
数である。
また、この真向容量ＣＬは第３図から明らかなように、
ダイアフラム２に取付けられた対向電極２＆と振動ａＢ
３ ｂｒＩ！Ｉｔ７）間ＰＩＡ＊ ｔ トｔ６ト。
ダイアフラム２に取付けられた対向電極２＆と振動ａＢ
３ ｂｒＩ！Ｉｔ７）間ＰＩＡ＊ ｔ トｔ６ト。
ＣＬ−に／（ｔＸｓ） −＝（２）となる
。
。
ここで、には静電容ＩＩｋ算出定数、Ｓは対向電極２ａ
と振動部３ｂのなす有効静電容量面積を表わすものとす
る。
と振動部３ｂのなす有効静電容量面積を表わすものとす
る。
そこで、第２図から明らかなように、当該圧力センサの
外部に発振回路７を接続し１発振させると、該圧力セン
サ容器内の不活性気体圧力とダイアフラムの外圧との間
に圧力差を生ずるとその圧力差と、ダイアプラムの弾性
反撥力にほぼ比例した省だけダイアフラム２が可動し、
間隙ｔ（第３図８ ’！’、 ）が変化する。するとこ
の間隙ｔの変化により、−ｔＪ記式（２）に従って静１
容睦ＣＬが変化する。
外部に発振回路７を接続し１発振させると、該圧力セン
サ容器内の不活性気体圧力とダイアフラムの外圧との間
に圧力差を生ずるとその圧力差と、ダイアプラムの弾性
反撥力にほぼ比例した省だけダイアフラム２が可動し、
間隙ｔ（第３図８ ’！’、 ）が変化する。するとこ
の間隙ｔの変化により、−ｔＪ記式（２）に従って静１
容睦ＣＬが変化する。
そして、該振動部３ｂ、つまり、中央の電極対はダイア
フラム２の変位Δｔによって周ｆｍ散ｆの変化ｔΔｆと
して現われ次式で表現できる。
フラム２の変位Δｔによって周ｆｍ散ｆの変化ｔΔｆと
して現われ次式で表現できる。
ムｆ ｍ −に’ｆｅ’ＡＣＬ
、’：’ｌ ΔＣＬ−−Ｃｔ”Ｋ″１１ｔ 、°、
Δ＋−−に’ｃｔｅ”ｆｓ”Δｔよって、ダイアフラム
２の変位に比例した１４波数の変化として検出すること
ができる。
Δ＋−−に’ｃｔｅ”ｆｓ”Δｔよって、ダイアフラム
２の変位に比例した１４波数の変化として検出すること
ができる。
ここで検出された信号は第２図から明らかなようにバッ
ファ５を介してヤーマントランスＴに導 ・〈、このト
ランスからの出力、つまり、前記周波数変化量Δｆを、
同一圧電振動子片３上に形成した同一構造の他の振動部
２ｍ、２ｃで形成した周波数判別回路６を介して直流電
圧Ｖとして検出するように構成する。また、第５図から
明らかなように振動部２ｍ、２ｃの周波数を振動部２ｂ
を中心にほぼ等間隔に周波数を設定するが、この位置に
より１周波数判別回路のＳ特性を選択で！ａ感度を自由
に設定できる。ただし、ここで、変位Δｔ＝Ｏのとき、
Δｆ−０となるように予め調整するようにする。
ファ５を介してヤーマントランスＴに導 ・〈、このト
ランスからの出力、つまり、前記周波数変化量Δｆを、
同一圧電振動子片３上に形成した同一構造の他の振動部
２ｍ、２ｃで形成した周波数判別回路６を介して直流電
圧Ｖとして検出するように構成する。また、第５図から
明らかなように振動部２ｍ、２ｃの周波数を振動部２ｂ
を中心にほぼ等間隔に周波数を設定するが、この位置に
より１周波数判別回路のＳ特性を選択で！ａ感度を自由
に設定できる。ただし、ここで、変位Δｔ＝Ｏのとき、
Δｆ−０となるように予め調整するようにする。
次に、この圧−、を振動子圧力センサ装置の圧力のｉ’
Ｔ ′ｎ４ｉＩｌｌ！！のｍ整手段の具体的構成につい
て説明する。
Ｔ ′ｎ４ｉＩｌｌ！！のｍ整手段の具体的構成につい
て説明する。
：！Ｓ５図乃至：ｉＳａ図は当該圧力センサのｙ４！！
手段の一実施例の説明図である０図中、６はｙ４繁用つ
まみネジ、７はコイルスプリング、８はｍ！ｉ！ボルト
であり、その他は前記した実施例におけるものと同一の
ものであるので説明を省略する。
手段の一実施例の説明図である０図中、６はｙ４繁用つ
まみネジ、７はコイルスプリング、８はｍ！ｉ！ボルト
であり、その他は前記した実施例におけるものと同一の
ものであるので説明を省略する。
次に この調整手段の動作について説明する。
ｉ常は、第５図に示されるように調整ポルト８をダイヤ
フラムに１ざかる方向にセットするためコイルスプリン
グ７で調整ボルト８に設けられた回転止め溝に沿ってっ
まみ６を一杯に回転し固定させて置く、このときは圧電
振動子３の表面に設けられた゛？極３＆はダイアフラム
対向電極２ａから敲れている０次に圧力のｂｆ測範囲を
調整するために圧電振動子３をっまみ６を回して調整ボ
ルト８を第８図の状態から押し上げて間隙ｔを小さくす
る。このように圧ｉｔＮ動子３とダイアフラム対向電極
２＆の間隙ｔを変化させると静電容量ＣＬを変化させる
ことがで３．従って、圧力の可ａｍｉｔ囲を調整するこ
とができる。尚、気密容Ｍｌと調整ボルト８との間は気
布性を保つため１例えば。
フラムに１ざかる方向にセットするためコイルスプリン
グ７で調整ボルト８に設けられた回転止め溝に沿ってっ
まみ６を一杯に回転し固定させて置く、このときは圧電
振動子３の表面に設けられた゛？極３＆はダイアフラム
対向電極２ａから敲れている０次に圧力のｂｆ測範囲を
調整するために圧電振動子３をっまみ６を回して調整ボ
ルト８を第８図の状態から押し上げて間隙ｔを小さくす
る。このように圧ｉｔＮ動子３とダイアフラム対向電極
２＆の間隙ｔを変化させると静電容量ＣＬを変化させる
ことがで３．従って、圧力の可ａｍｉｔ囲を調整するこ
とができる。尚、気密容Ｍｌと調整ボルト８との間は気
布性を保つため１例えば。
第８図に示すようにジャバラ７＆をスプリング７の、周
りに設けるようにする。また、ダイアフラム対向電極２
＆と圧Ｍｌ振動子３のなす角度０を予め適りに選ぶこと
により、圧力測定域を広範囲に扛り自由に設定で３る。
りに設けるようにする。また、ダイアフラム対向電極２
＆と圧Ｍｌ振動子３のなす角度０を予め適りに選ぶこと
により、圧力測定域を広範囲に扛り自由に設定で３る。
ここでは片面ダイアプラムの場合を示したが圧ｉｔ振動
子保持を空器の側面或いはもう一方のダイアプラム面２
で固定して行なえばダイアプラムとなし得ることはいう
までもない。
子保持を空器の側面或いはもう一方のダイアプラム面２
で固定して行なえばダイアプラムとなし得ることはいう
までもない。
また１本発明を一実施例によって説明したが、本発明は
この実施例に限定されるものではなく。
この実施例に限定されるものではなく。
未発明の↑旨に従い、種々の変形が町ず屯であり。
これらを木発す１の範囲から排除するものではない（９
１明の効果） 転ＲＩｌｌによれば、気密容器内に圧′Ｎ、揚動ｆ Ｂ
を組み込み圧力センサ装置を得るようにしたので、ｎ：
ｚ振動子が雰囲気条件に左右されることなく安定に動
作し、かつ再現性が良好である。また、同一の圧電振動
子片りに三つの振動部２ａ 、 ２ｂ 。
１明の効果） 転ＲＩｌｌによれば、気密容器内に圧′Ｎ、揚動ｆ Ｂ
を組み込み圧力センサ装置を得るようにしたので、ｎ：
ｚ振動子が雰囲気条件に左右されることなく安定に動
作し、かつ再現性が良好である。また、同一の圧電振動
子片りに三つの振動部２ａ 、 ２ｂ 。
２ｃを同一構造で配設するようにしたので、６振動部の
条件は同一となり、特に、圧電体の温度特性の変化に基
づく誤差を生ずることがないコンパクトな、かつ信頼性
の高い圧力センサ装置を得ることができる。更に１発振
回路出力の一部を用いて容器内圧と被測定圧の差圧変位
に比例した一魔出力電圧をネ＾確に、しかもｆｉｌｌに
得ることができる。
条件は同一となり、特に、圧電体の温度特性の変化に基
づく誤差を生ずることがないコンパクトな、かつ信頼性
の高い圧力センサ装置を得ることができる。更に１発振
回路出力の一部を用いて容器内圧と被測定圧の差圧変位
に比例した一魔出力電圧をネ＾確に、しかもｆｉｌｌに
得ることができる。
第１図は本発明に係る圧電振動子圧力センサ装置の内部
を破断した斜視図、ＯＳ２図は本発明に係る圧力センサ
装置の回路図、第３図は第１図における一部拡大図、第
４図は周波数の変化を説明する説明図、第５図乃至第８
図は圧力の軒側範囲のＡ整ｆ役を説明するＪ’ＪＩ図、
第９因は従来の圧力セ／すの斜視図、第１０図は第９図
の断面図である。 ｌ・・・気烹容器、２・・・ダイアフラム、２ａ・・・
対向電極、３・・・圧電振動子片、３ｍ、３ｂ、３ｃ・
・・振ｉ１１部、４・・・圧ｔＩｉ動子の保持具、５・
・・バッファ。 ６・・・周波数判別回路、７・・・発振回路、８・・・
調整用つまみ、９・・・調整用位履決め装置、１Ｇ・・
・調整ロット。 特許出願人 日本゛−電波工業株式会社代 理 人
弁理士 辻 實図 第１０図
を破断した斜視図、ＯＳ２図は本発明に係る圧力センサ
装置の回路図、第３図は第１図における一部拡大図、第
４図は周波数の変化を説明する説明図、第５図乃至第８
図は圧力の軒側範囲のＡ整ｆ役を説明するＪ’ＪＩ図、
第９因は従来の圧力セ／すの斜視図、第１０図は第９図
の断面図である。 ｌ・・・気烹容器、２・・・ダイアフラム、２ａ・・・
対向電極、３・・・圧電振動子片、３ｍ、３ｂ、３ｃ・
・・振ｉ１１部、４・・・圧ｔＩｉ動子の保持具、５・
・・バッファ。 ６・・・周波数判別回路、７・・・発振回路、８・・・
調整用つまみ、９・・・調整用位履決め装置、１Ｇ・・
・調整ロット。 特許出願人 日本゛−電波工業株式会社代 理 人
弁理士 辻 實図 第１０図
Claims (1)
- 気密容器内に同一平板状の圧電体上に形成される厚み振
動をする三対の同一電極対を所定距離隔てて配設し、中
央に位置する電極対の一表面に平行に対応してダイアフ
ラムが圧力差によって生ずる変位を伝える対向電極を設
け、この対向電極とこの中央の電極対の前記対向電極と
反対側の電極間に外部より発振を持続するための発振回
路を接続すると共に該発振回路からバッファを介して中
央の電極対以外の２つの電極対が含まれる周波数判別回
路を接続して、周波数の変化を直流出力として検出する
ようにしたことを特徴とする圧電振動子圧力センサ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21304084A JPS6190030A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 圧電振動子圧力センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21304084A JPS6190030A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 圧電振動子圧力センサ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190030A true JPS6190030A (ja) | 1986-05-08 |
| JPH0435018B2 JPH0435018B2 (ja) | 1992-06-09 |
Family
ID=16632518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21304084A Granted JPS6190030A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 圧電振動子圧力センサ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190030A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62173656A (ja) * | 1986-01-28 | 1987-07-30 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 情報記録基板およびその製法 |
-
1984
- 1984-10-11 JP JP21304084A patent/JPS6190030A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62173656A (ja) * | 1986-01-28 | 1987-07-30 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 情報記録基板およびその製法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0435018B2 (ja) | 1992-06-09 |
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