JPS6190243U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6190243U JPS6190243U JP17522384U JP17522384U JPS6190243U JP S6190243 U JPS6190243 U JP S6190243U JP 17522384 U JP17522384 U JP 17522384U JP 17522384 U JP17522384 U JP 17522384U JP S6190243 U JPS6190243 U JP S6190243U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- waxless
- workpiece
- polishing
- held
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第１図は本考案の無歪鏡面装置のワツクスレス
パツド構造の一実施例を説明する図、第２図は従
来の無歪鏡面研摩装置のワツクスレスパツドの一
例を説明する図である。 図において、１と１′はウエハ、２と２′は研
摩ホルダー、４と１０はテンプレート、５と９は
吸着パツド、７と７′は粘着テープを示す。
パツド構造の一実施例を説明する図、第２図は従
来の無歪鏡面研摩装置のワツクスレスパツドの一
例を説明する図である。 図において、１と１′はウエハ、２と２′は研
摩ホルダー、４と１０はテンプレート、５と９は
吸着パツド、７と７′は粘着テープを示す。
Claims (1)
- ワツクスレスパツドにより被加工物を保持し、
研摩布面上で該被加工物を摺動運動させながら化
学研摩液を供給して加工する無歪鏡面研摩装置に
おけるワツクスレスパツドにおいて、テンプレー
トのウエハ挿入穴の中にだけ設けた吸着パツドと
研摩ホルダー表面に直接取付けたテンプレートに
よりウエハを保持した構造とすることを特徴とす
るワツクスレスパツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17522384U JPS6190243U (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17522384U JPS6190243U (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190243U true JPS6190243U (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=30732827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17522384U Pending JPS6190243U (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190243U (ja) |
-
1984
- 1984-11-19 JP JP17522384U patent/JPS6190243U/ja active Pending
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