JPS6190247U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6190247U JPS6190247U JP17448484U JP17448484U JPS6190247U JP S6190247 U JPS6190247 U JP S6190247U JP 17448484 U JP17448484 U JP 17448484U JP 17448484 U JP17448484 U JP 17448484U JP S6190247 U JPS6190247 U JP S6190247U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support member
- rod
- limit switch
- push
- wafer boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図は本案の装置の斜視図、第２図、第３図
、第４図及び第５図はその装置の使用状態を示す
側面図、第６図は本案の他の実施例の斜視図であ
る。 ３…ウエハボート、４…ロツド、６…フツク、
７…支持部材、８…リミツトスイツチ。
、第４図及び第５図はその装置の使用状態を示す
側面図、第６図は本案の他の実施例の斜視図であ
る。 ３…ウエハボート、４…ロツド、６…フツク、
７…支持部材、８…リミツトスイツチ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ウエハボートの長手方向の手前側に、上下方
向に揺動可能に軸着されたロツドの先端に下向き
のフツクを形成し、該ロツドの下方に支持部材を
設け、更にその支持部材にロツドが支持されたと
き断続作動するリミツトスイツチを具備したウエ
ハボード用プツシユプルロツド。 ２ リミツトスイツチが支持部材に設けられてい
ることを特徴とする請求の範囲１記載のウエハボ
ート用プツシユプルロツド。 ３ リミツトスイツチが支持部材の上下動範囲内
に設けられていることを特徴とする請求の範囲１
記載のウエハボート用プツシユプルロツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17448484U JPS6190247U (ja) | 1984-11-17 | 1984-11-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17448484U JPS6190247U (ja) | 1984-11-17 | 1984-11-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190247U true JPS6190247U (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=30732102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17448484U Pending JPS6190247U (ja) | 1984-11-17 | 1984-11-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190247U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54111758A (en) * | 1978-02-22 | 1979-09-01 | Hitachi Ltd | Heat treatment unit and boat pick up method from heat treatment unit |
-
1984
- 1984-11-17 JP JP17448484U patent/JPS6190247U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54111758A (en) * | 1978-02-22 | 1979-09-01 | Hitachi Ltd | Heat treatment unit and boat pick up method from heat treatment unit |