JPS6190895A - 力センサの変換行列検出方法 - Google Patents

力センサの変換行列検出方法

Info

Publication number
JPS6190895A
JPS6190895A JP59210435A JP21043584A JPS6190895A JP S6190895 A JPS6190895 A JP S6190895A JP 59210435 A JP59210435 A JP 59210435A JP 21043584 A JP21043584 A JP 21043584A JP S6190895 A JPS6190895 A JP S6190895A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
force
transformation matrix
force sensor
sensor
voltage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59210435A
Other languages
English (en)
Inventor
平林 久明
浩一 杉本
荒井 信一
増井 知幸
因幡 英敏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP59210435A priority Critical patent/JPS6190895A/ja
Priority to US06/784,502 priority patent/US4620436A/en
Priority to KR1019850007359A priority patent/KR890000736B1/ko
Priority to DE8585112676T priority patent/DE3573473D1/de
Priority to EP85112676A priority patent/EP0177919B1/en
Publication of JPS6190895A publication Critical patent/JPS6190895A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、ロボットに装着場れる6軸力センサ(即ち力
の3成分とトルクの3成分を検出できる)における歪′
成圧と力(力とトルクを総称して“力″と示す)との関
係を示す変換行列を自動的に検出する検出方法に関する
〔発明の背景〕
力センサはロボットに装着され、その該当部分の力と歪
電圧との関係を見出す。歪電圧と力との関係は、一義的
に決定逼れるものであす、el、式上は、次式となる。
F=(B)V     ・・・・・・・・・・・・(1
)ある。〔B〕  は、FとVとの関係を示す定数であ
り、一般に変換行列と呼ばれる。FとVとは共にベクト
ルで表現できる。
変換行列〔B〕 を求める従来例には、U S P。
4094192 r Method andAonar
atus for SixDegrpe ofFree
dom Farce Sensing J  がある0
この従来例の測定装置を第1図に示す。ベース1に力セ
ンサ2を固定して取付ける。力センサ2の移動部3にケ
ーブル4を取付け、このケーブル4の先端に滑車を介し
て分銅5をつり下げる。かかる装置で、分銅5の1爆を
変えたり、ケーブル4の取付方間を変えたりする。これ
によって、を換行列に必要なデータを得、変換行列の算
出を行う0 この従来例は、変換行列を求める有力な方法であるが、
多くの労力と時間を必要とする問題点を持つ。
〔発明の目的〕
本発明は、ロピノト自体に力センサを装着したままで変
換行列の検出を可能とした力センサの変換行列の検出方
法を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕
本発明は、ロゲットに力センサと標準ワークを装着して
異る姿勢を取らすことが、力センサに対して多くの独立
な力(力ととルク)を加えたことと同等になることに層
目してな嘔れた。肌ち、口♂ソトに力センサ及び適切な
標準ワークを装着妊せた状態で、ある条件に基づき、首
を振らして数種の異る姿勢を取らすだけで自動的に変換
行列を検出するようにした。
〔発明の実施例〕
第2図は、本発明の詳細な説明図である。アーム11は
ロビノトの一部を構成するアームである。
アーム11の先端とハンド部13との間に、力センサ1
2を取付ける。この力センサ12は、歪ゲージであり、
ハンド部13に加わった力に感応して力対応の歪電圧を
発生する。ここで、力とは、力とトルクとの両者を云う
。この力は、6次元ベクトルとなる。
ベースの座標軸(ob  Xb7bzb)と力センサ1
2の座標軸(Os  ”3 7.−Z、 )  とは第
2図に示す如く異なる。
力センサ12の構成を第3図に示す。外部部材21と内
部部材nと薄板部材nとエリ成る。外部部材21はアー
ム部11の先端部に固定し、内部部材nはバンド部13
に固定する。薄板部材22は、内部部材%と外部部材2
1とを連結する。この薄板部材四の一部に歪ゲージ冴を
取付ける。
この構成で、ハンド部13に力が加わると、それに連結
した内部部材乙に力が伝わり、連結板24を介して歪ゲ
ージあがたわむ。この歪み対応の電圧が歪グージムの出
力端子を現われ、電圧の検出となる。ここで、薄板部の
数、寸法、取付位置、及び歪ゲージの貼付ける枚数位置
等を適切に定めることによって、力と歪電圧との関係が
一義的に定まる。従って、歪電圧の太き塔から力を検出
できる。この力と歪電圧との関係を定めるのが、変換行
列〔B〕  である。
(1)変換行列〔B〕 を求めるための前提事項。
力センサ12の歪電圧Vは、厳密には、V=vo−vd
   ・・・・・・・・・・・・(2)で規定できる。
ここで、■、は、力センサ12に力が加わらない(内部
重量も力とみなす)時の発生電圧である。このVNは、
n次元ベクトルとなる。
voは、力センサ12に力(内部重量も力とみなす)が
、実際に加わった時に発生する電圧である。この電圧v
oもn次元ベクトルとなる。但し、n≧6である。
力Fは、力センサ12に加わる力であり、センサ座標本
で考える。この力Fは、力・トルクより成り、6次元ベ
クトルとなる。
更に、力Fと歪電圧Vとは、線形な関係にあるものとす
る。この結果、 F=〔B)V    ・・・・・・・・・・・・(3)
が成立する。ここで、CBIは、6行n列の行列となる
(2)  電圧vdを求めるための手順。
内部重量は無視して考えられない。しかし、内部重量W
in、内部重量の重心位置din(図2で示した’s 
 ”s  ’s  ”sで示芒れるセンサ座標系(以後
S系と称す)で表わされた値)とは設計図面等を利用し
て事前に求まる故、既知と考えてよい。
内部重量Winを取り除いた時の歪ゲージ電圧vdを求
めたいが+ W inはセンサの一部であり取除くこと
はできない。そこで、以下の方法をとる。
力センサ−2をロゴノドのアーム部11の先端に取付け
る。更に、先センサー2の先端には何もつけない。従っ
て、実際のロゴノド動作系である第2図の如きハンド部
13の取付けはしない。
そこで、センサ座標系の座ml111z、を下向き、即
ち重力の方向を向くようにロゴノドを操作する。座標軸
2、が重力方向になった条件下で、力センサ−2で歪電
圧を測定する。この歪電圧をvd owとする。
次に、センサ座標系の座標軸2 を上向きの姿勢とし、
この姿勢のもとで力センサ−2で歪電圧を測定する。こ
の歪電圧を■。、とする。
VdowとV u p  とより、電圧Vd は、次式
で求める。
”a = (’dow + ”up )/2 −−− 
(4)この下向き、上向きとは、姿勢を重力方向に関し
て反転するとの考え方であり、これにより、力センサに
710わる内部重量に工って生じる刀とトルクとのそれ
ぞれの正負が反転し相殺されて零となる。今、下向き姿
勢時の重力方向の単位ベクトルを”dow (S系表示
)、上向き姿勢時の重力方向の単位ベクトルをUu、 
(S系表示〕とする。但し、いずれも、センサ座標系で
考える。この場合、u do W=u up     
”””””” (5)となる。そこで、力F1.トルク
F2は、となる。
従って、(4)式は正しく 、(4)式より電圧vdが
求まることとなる。
(3)歪電圧Vと力Fとを求めるための手順。
第2図で示したノ・ンド部13の代りに、標準ワークを
力センサ12に取付ける。第4図に標準ワークを取付け
た際の斜視図を示す。標準ワーク31は、重量Wst 
、センサ座標系のもとての重心位置datとする。この
W、j l d3tは共に、既知とする。
内部重量Winに対してW、tなる標準ワーク13を付
加したこととなるから、両者の重量Wは、W=Wi n
 + ”st    −・−・・(8)となる。
一方、重心位置d(S系表示)は、 d = (Win’ d in + Wst ”、0 
/(Wt n+Wat ) ・・・(9)となる。
ここで、第2図に示す如く、アーム11のベースの座標
系(’b  Xb  Ybzb)において、重力方向を
示す単位ベクトルをi、とする。このi、は既知である
センサ座標系での重心方向を示す単位ベクトルを13と
する。センサ座標系での各座標軸方向の単位ベクトルを
f 、g 、hとする。この条件下では、下式が成立つ
”s =” ’ g 、’ )T’ y b ・” ・
・・”’ (io)さて、力センサの内部重量と標準ワ
ークの重量の双方を考慮したもとでの力・トルクはまと
めてFとすると。
となる。ここで、Fは、センナ座標系として表示し、ト
ルクとは、センサ座標系での原点まわりのトルクとする
。Fは6次元ベクトルである。
ベクトルFの6要素は、力のx、y、z軸成分。
トルクの!、7.Z軸成分を云う。
一方、歪電圧Vは、(2)より求まる。即ち、実際の歪
電圧voを求め、このvoから電圧vdを差引けば、■
を求めることができる。
(4)菱撲行夕11 CB 〕を求めるための手順。
以上の(3)項で述べた工程は、1つの姿勢と1つの標
準ワークのもとての1つの測定例である。実際には、姿
勢を変化妊せ、標準ワークを変化(重量や重心位置の変
化)畑せたそれぞれの条件のもとで測定することとなる
そこで、(姿勢al lワークb、)、(姿勢IL2 
rワークb2)、・・・、(姿勢amlワークbm)の
もとてそれぞれ測定を行うと、 が得られることとなる。02)式を行列でまとめると、 ・・・・・・・・・03) となる。ここで、〔Fl、F2.・・・、Fm〕は6行
m列の行列、〔B〕は6行n列の行列、(Vl + F
2 + ”’ 、V曜は5行m列の行列となる。但し、
m≧5.n≧6である。また、F、 、F2.・・・、
Fmの中には少なくとも6個の独立なベクトルを含むこ
ととする。
03)式は、CFl + ”2 + ”’ + Fm]
をCFI、CV+。
F2.・・・、vm〕をCVI  とおくと、CF)=
(B)〔v〕   ・・・・・・・・・ 04)となる
。従って、 jB:]m=F :] 〔V 〕”   ・・・・・・
・・・ α5)となる。但し、 〔V〕*=〔v)T〔〔v〕〔v)T〕−1・・・・・
・・・・(16)である。05)式より、変換行列〔B
〕を求めることができる。
(5)変形例。
以上の実施例は、姿勢及びワークの異なるセット(例え
ば6個のセット)による方法であったが、他の方法もあ
りうる。第5図に示す如く、z3軸上に重心を持つワー
ク34をセンサ12に取付け、種々の姿勢をとらせる。
姿勢の例を第6図に示す。
第6図は、5個の姿勢であり、(a)は下向き、(b)
はx′、軸回りに+451′の傾斜、(C)はx’軸軸
回に−45゜の傾斜、(d)はy′5軸囲軸回+45°
の傾斜、(C)はy’軸軸回に一45°の傾斜を示す。
いずれも、ベース系の座標軸で考えている。即ち、01
)−x′b−y′、−3′5座標系は、ベース系の対応
するx、y・2軸とxシ。
yb、”b軸との姿勢を同一とし、原点oGがセンサ系
の原点0 と一致略せるような構成の座標系とする。
以上の第6図の5つの姿勢のもとで、それぞれの力’ 
+ Fb + ”C+ Fd r Fe  を測定する
。この5個は独立したベクトルとなる。1つのワークで
は姿勢を父えるだけでは最大5個の独立したベクトルし
か取れないが、本方式では、6個の独立したベクトルを
必要とする。そこで第7図に示すように、ワーク34の
代りに、z3軸上に重心のないワーク35を力センサ1
2に取付ける。次に、z3軸囲りのモーメントが零でな
い工うな姿勢をとらせ ゛る。この姿勢で6個目の独立
したベクトルであるする(但し、m=6)。
そこで、03)式にFa−Ffを代入し、対応する歪ゲ
ージの電圧v、 、 Vb、 、・、 v(を”l *
 F2 r ”’vmに代入すれば、05)式より〔B
〕を得ることができる。
(6)  他の変形例。
前述の例は一例であり、ワークの種類やワークの数及び
姿勢の種類や姿勢の敬は、最低6個の独立したFを含ん
でいるとの条件芒え満たせば、どの様に選んでもかまわ
ない。従って、〔B〕 を算出する時の条件、例えば (イ)ワークのSaの変更を少なくしたい(ロ)ワーク
の姿勢はできるだけ下向き姿勢に近くしたい (・′)梢1隻の良い〔B〕を得たい 等の各要求に応じて適切な組合せを選べばよい。
また、姿勢を説明する便宜上、O′、−x′、−y′5
−z′。
座標系を定義したが、必要に応じて他の座標系であって
もよい。
〔発明の効果〕
本発明によれば、変換行列を専用装置を使用することな
(o+yット自身を利用して検出できることとなった。
算出時間、労力の低下を生むこととなった。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来例図、第2図は本発明の実施例図、第3図
は力センサの構成側図、第4図は標準ワークを取り付け
た場合の図、第5図は他の標準ワークを取り付けた場合
の図、第6図は測定モードを示す図、第7図は他の測定
モードを示す図である。 10・・・ロゲットのベース部、11・・・7−ム部、
12・・・力センサ、13・・・ハント部。 代理人 弁理士  秋 本 正 実 第1図 第2図 第3囚 第4図 第5図 第6図 2ら ↑ 第7図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、ロボットアームとハンド部との間に装着される力セ
    ンサであって、該センサがハンド部に印加する力@F@
    に感応し、@F@=〔B〕@V@(但し、〔B〕は変換
    行列)なる関係の歪電圧@V@を発生する特性とする時
    の変換行列〔B〕を検出する検出方法において、 ロボットアームの先端部に装着した力センサの先端に重
    さ、重心位置の既知の種々の標準ワークを次々に取付け
    、この標準ワークの取付けのもとでの力センサの歪電圧
    @V@N及び力・トルクより成る力@F@を求め、該得
    られた@V@と@F@とから変換行列〔B〕を検出して
    なる力センサの変換行列検出方法。 2、ロボットアームとハンド部との間に装着される力セ
    ンサであって、該センサがハンド部に印加する力@F@
    に感応し、@F@=〔B〕@V@(但し、〔B〕は変換
    行列)なる関係の歪電圧@V@を発生する特性とする時
    の変換行列〔B〕を検出する検出方法において、 ロボットアームの先端部に装着した力センサの先端に少
    くとも2個の標準ワークをそれぞれ取付けると共に該標
    準ワークの姿勢を次々に変化させての力センサの歪電圧
    @V@、及び力・トルクより成る力@F@を求め、該得
    られた@V@と@F@とから変換行列〔B〕を検出して
    なる力センサの変換行列検出方法。
JP59210435A 1984-10-07 1984-10-09 力センサの変換行列検出方法 Pending JPS6190895A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59210435A JPS6190895A (ja) 1984-10-09 1984-10-09 力センサの変換行列検出方法
US06/784,502 US4620436A (en) 1984-10-09 1985-10-04 Method and apparatus for calibrating transformation matrix of force sensor
KR1019850007359A KR890000736B1 (ko) 1984-10-07 1985-10-07 힘 센서의 변환행열을 캐리 부레이션 하는 방법 및 장치
DE8585112676T DE3573473D1 (en) 1984-10-09 1985-10-07 Method for calibrating transformation matrix of a force sensor
EP85112676A EP0177919B1 (en) 1984-10-09 1985-10-07 Method for calibrating transformation matrix of a force sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59210435A JPS6190895A (ja) 1984-10-09 1984-10-09 力センサの変換行列検出方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6190895A true JPS6190895A (ja) 1986-05-09

Family

ID=16589277

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59210435A Pending JPS6190895A (ja) 1984-10-07 1984-10-09 力センサの変換行列検出方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6190895A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009522017A (ja) * 2005-12-30 2009-06-11 インテュイティブ サージカル インコーポレイテッド モジュール式力センサ
JP2013160669A (ja) * 2012-02-07 2013-08-19 Seiko Epson Corp センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置及びロボット
JP2014041038A (ja) * 2012-08-22 2014-03-06 Seiko Epson Corp センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置およびロボット
JP2014074587A (ja) * 2012-10-02 2014-04-24 Nissho Denki Kk 多分力計測方法
JP2018077248A (ja) * 2018-01-10 2018-05-17 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置およびロボット
JP2022134578A (ja) * 2021-03-03 2022-09-15 凸版印刷株式会社 3軸荷重計測システム、3軸荷重計測方法、及びプログラム
JP2022168639A (ja) * 2021-04-26 2022-11-08 株式会社トライフォース・マネジメント 力覚センサの校正方法
US11571264B2 (en) 2007-12-18 2023-02-07 Intuitive Surgical Operations, Inc. Force sensor temperature compensation
US11650111B2 (en) 2007-12-18 2023-05-16 Intuitive Surgical Operations, Inc. Ribbed force sensor

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57136133A (en) * 1981-02-18 1982-08-23 Hitachi Ltd Calibrating method for component detector

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57136133A (en) * 1981-02-18 1982-08-23 Hitachi Ltd Calibrating method for component detector

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009522017A (ja) * 2005-12-30 2009-06-11 インテュイティブ サージカル インコーポレイテッド モジュール式力センサ
JP2012157744A (ja) * 2005-12-30 2012-08-23 Intuitive Surgical Inc モジュール式力センサ
US11571264B2 (en) 2007-12-18 2023-02-07 Intuitive Surgical Operations, Inc. Force sensor temperature compensation
US11650111B2 (en) 2007-12-18 2023-05-16 Intuitive Surgical Operations, Inc. Ribbed force sensor
JP2013160669A (ja) * 2012-02-07 2013-08-19 Seiko Epson Corp センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置及びロボット
JP2014041038A (ja) * 2012-08-22 2014-03-06 Seiko Epson Corp センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置およびロボット
US9410856B2 (en) 2012-08-22 2016-08-09 Seiko Epson Corporation Sensor device, sensor module, force detection device, and robot
US9677953B2 (en) 2012-08-22 2017-06-13 Seiko Epson Corporation Sensor device, sensor module, force detection device, and robot
JP2014074587A (ja) * 2012-10-02 2014-04-24 Nissho Denki Kk 多分力計測方法
JP2018077248A (ja) * 2018-01-10 2018-05-17 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置およびロボット
JP2022134578A (ja) * 2021-03-03 2022-09-15 凸版印刷株式会社 3軸荷重計測システム、3軸荷重計測方法、及びプログラム
JP2022168639A (ja) * 2021-04-26 2022-11-08 株式会社トライフォース・マネジメント 力覚センサの校正方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0177919A2 (en) Method for calibrating transformation matrix of a force sensor
JP3792274B2 (ja) 複数のせん断ひずみゲージを用いた六軸力センサ
JPS6179129A (ja) 6軸力センサ
JPS6190895A (ja) 力センサの変換行列検出方法
CN110802585A (zh) 机械臂末端传感器补偿方法及接触力/力矩测量方法
EP0937974A3 (en) Method for calibrating force sensor mounting on robot, and robot
CN110672017A (zh) 一种激光位移传感器振动补偿平台
CN111531566A (zh) 一种集成数据采集系统和惯性力补偿系统的六维力传感器
JPH07260652A (ja) 静荷重試験装置
CN212736036U (zh) 一种集成数据采集系统和惯性力补偿系统的六维力传感器
JPH0690104B2 (ja) 力センサの変換行列をキヤリブレ−シヨンする方法及び装置
Uchiyama et al. Evaluation of the robot force sensor structure using singular value decomposition
JPS6333647B2 (ja)
JPH0518049B2 (ja)
KR102192141B1 (ko) 다축 진동 센서로 감지되는 진동의 방향 사상 장치 및 그 방법
Notash et al. Fixtureless calibration of parallel manipulators
JPH0575058B2 (ja)
JP3256709B2 (ja) 車輪作用力測定装置
SU974155A1 (ru) Датчик векторов силы и момента
CN113816267A (zh) 一种起重臂的侧向位移测量方法、装置及起重机
GB2184996A (en) Robot finger
JP3196145B2 (ja) 加工・組立装置における接触点および接触法線検出法
JPS6340866A (ja) 加速度計
SU1569233A1 (ru) Очувствленный кистевой сустав робота
JPH0752598Y2 (ja) 荷重検出器