JPS6192047U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6192047U JPS6192047U JP17740484U JP17740484U JPS6192047U JP S6192047 U JPS6192047 U JP S6192047U JP 17740484 U JP17740484 U JP 17740484U JP 17740484 U JP17740484 U JP 17740484U JP S6192047 U JPS6192047 U JP S6192047U
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- JP
- Japan
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- light source
- light
- partition
- source device
- shield
- Prior art date
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- Pending
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- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図Ａ及びＢは夫々本考案実施例装置の横断
面図及び要部縦断面図、第２図は成膜速度曲線図
、第３図は他の実施例装置の斜視図である。 ４……仕切体、６……反応用光源、７……光遮
蔽体、７ａ……窓。
面図及び要部縦断面図、第２図は成膜速度曲線図
、第３図は他の実施例装置の斜視図である。 ４……仕切体、６……反応用光源、７……光遮
蔽体、７ａ……窓。
Claims (1)
- 反応用光源、該光源と反応雰囲気とを区画する
透明仕切体、該仕切体より小面積の窓を有する光
遮蔽体を備え、上記光源の放出する光を上記仕切
体及び上記光遮蔽体の窓を介して反応雰囲気に投
射する光ＣＶＤ用光源装置において、上記光遮蔽
体を固定すると共に、上記仕切体を上記光遮蔽体
の窓とほぼ平行に移動可能になしたことを特徴と
する光ＣＶＤ用光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17740484U JPS6192047U (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17740484U JPS6192047U (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6192047U true JPS6192047U (ja) | 1986-06-14 |
Family
ID=30734972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17740484U Pending JPS6192047U (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6192047U (ja) |
-
1984
- 1984-11-22 JP JP17740484U patent/JPS6192047U/ja active Pending
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