JPS6192048U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6192048U JPS6192048U JP17769784U JP17769784U JPS6192048U JP S6192048 U JPS6192048 U JP S6192048U JP 17769784 U JP17769784 U JP 17769784U JP 17769784 U JP17769784 U JP 17769784U JP S6192048 U JPS6192048 U JP S6192048U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase growth
- light source
- moving mechanism
- semiconductor wafer
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 7
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000012071 phase Substances 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
Description
第１図はこの考案の光気相成長装置の実施例を
示す一部を切欠いた斜視図、第２図は光源および
その反射板を示す斜視図、第３図は第２の移動機
構を示す平面図、第４図はモータの反転制御回路
を示すブロツク図、第５図は光源およびその反射
板の移動状態を示す説明図、第６図は鏡の移動状
態を示す説明図、第７図は水銀ランプの形状を示
す説明図、第８図は第７図の−線断面の光度
特性を示す説明図、第９図は第７図の−線断
面の光度および照度特性を示す説明図である。 ８……半導体ウエハ、１２……光源としての水
銀ランプ、１４……反射板、１８……鏡、２０…
…第１の移動機構、２２……第２の移動機構、２
４，２６……カム板、４４……回転駆動部として
のモータ、６０……摺動ユニツト。
示す一部を切欠いた斜視図、第２図は光源および
その反射板を示す斜視図、第３図は第２の移動機
構を示す平面図、第４図はモータの反転制御回路
を示すブロツク図、第５図は光源およびその反射
板の移動状態を示す説明図、第６図は鏡の移動状
態を示す説明図、第７図は水銀ランプの形状を示
す説明図、第８図は第７図の−線断面の光度
特性を示す説明図、第９図は第７図の−線断
面の光度および照度特性を示す説明図である。 ８……半導体ウエハ、１２……光源としての水
銀ランプ、１４……反射板、１８……鏡、２０…
…第１の移動機構、２２……第２の移動機構、２
４，２６……カム板、４４……回転駆動部として
のモータ、６０……摺動ユニツト。
補正 昭６０．２．２６
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
(1) 半導体ウエハに対して光を照射して気相成
長を施す光気相成長装置において、半導体ウエハ
に至る光路に対して直交方向に一定の変位速度で
光源を移動させる第１の移動機構と、前記光源お
よび反射板からの光を前記半導体ウエハに導く鏡
体を平行移動させる第２の移動機構とから構成し
たことを特徴とする光気相成長装置。 (2) 前記第１の移動機構は、前記光源として水
銀ランプを取り付けた前記反射板の背面上に一定
の間隔をおいて一対のカムを設置し、このカムに
回転駆動部から回転力を与え、前記光源を取り付
けた前記反射板を移動させることを特徴とする実
用新案登録請求の範囲第１項に記載の光気相成長
装置。 (3) 前記第２の移動機構は、前記鏡体をねじ軸
の回転に応じて摺動する摺動体に取り付け、前記
ねじ軸に回転駆動部から回転を付与することを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記載の
光気相成長装置。
長を施す光気相成長装置において、半導体ウエハ
に至る光路に対して直交方向に一定の変位速度で
光源を移動させる第１の移動機構と、前記光源お
よび反射板からの光を前記半導体ウエハに導く鏡
体を平行移動させる第２の移動機構とから構成し
たことを特徴とする光気相成長装置。 (2) 前記第１の移動機構は、前記光源として水
銀ランプを取り付けた前記反射板の背面上に一定
の間隔をおいて一対のカムを設置し、このカムに
回転駆動部から回転力を与え、前記光源を取り付
けた前記反射板を移動させることを特徴とする実
用新案登録請求の範囲第１項に記載の光気相成長
装置。 (3) 前記第２の移動機構は、前記鏡体をねじ軸
の回転に応じて摺動する摺動体に取り付け、前記
ねじ軸に回転駆動部から回転を付与することを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記載の
光気相成長装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体ウエハに対して光を照射して気相成
長を施す光気相成長装置において、半導体ウエハ
に至る光路に対して直交方向に一定の変位速度で
光源を移動させる第１の移動機構と、前記光源お
よび反射板からの光を前記反応室の前記半導体ウ
エハに導く鏡体を平行移動させる第２の移動機構
とから構成したことを特徴とする光気相成長装置
。 (2) 前記第１の移動機構は、光源として水銀ラ
ンプを取り付けた反射板の背面上に一定の可隔を
おいて一対のカムを設置し、このカムに回転駆動
部から回転力を与え、前記光源を取り付けた前記
反射板を移動させることを特徴とする実用新案登
録請求の範囲第１項に記載の光気相成長装置。 (3) 前記第２の移動機構は、前記鏡体をねじ軸
の回転に応じて摺動する摺動体に取り付け、前記
ねじ軸に回転駆動部から回転を付与することを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記載の
光気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17769784U JPS6192048U (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17769784U JPS6192048U (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6192048U true JPS6192048U (ja) | 1986-06-14 |
Family
ID=30735267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17769784U Pending JPS6192048U (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6192048U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961920A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-09 | Agency Of Ind Science & Technol | 薄膜製造方法およびその装置 |
-
1984
- 1984-11-22 JP JP17769784U patent/JPS6192048U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961920A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-09 | Agency Of Ind Science & Technol | 薄膜製造方法およびその装置 |
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