JPS6192060U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6192060U JPS6192060U JP17670884U JP17670884U JPS6192060U JP S6192060 U JPS6192060 U JP S6192060U JP 17670884 U JP17670884 U JP 17670884U JP 17670884 U JP17670884 U JP 17670884U JP S6192060 U JPS6192060 U JP S6192060U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- wafer
- molecular beam
- beam epitaxy
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 claims 3
Description
第１、第２図ａ，ｂは従来のサセプタを示す斜
視図であり、第３図ａ，ｂは本考案を説明するた
めの断面図であり、第４図ａ，ｂは本考案の使用
法を説明する正面図と側面図であり、第５図は本
考案の他の実施例の断面図、第６図は本考案の更
に他の実施例の断面図である。 １…サセプタ、２…つり治具、３…ウエハ、４
…支持棒、５…サセプタ固定部材、６…溝、７…
溝、８…支持棒、９…凹部。
視図であり、第３図ａ，ｂは本考案を説明するた
めの断面図であり、第４図ａ，ｂは本考案の使用
法を説明する正面図と側面図であり、第５図は本
考案の他の実施例の断面図、第６図は本考案の更
に他の実施例の断面図である。 １…サセプタ、２…つり治具、３…ウエハ、４
…支持棒、５…サセプタ固定部材、６…溝、７…
溝、８…支持棒、９…凹部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ウエハーを貼り付けるための円板状のサセプ
タにおいて、サセプタの側面に溝を設けたことを
特長とする分子線エピタキシ装置用サセプタ。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項記載のサセプ
タに於て、ウエハを貼らない側の面を削り込んだ
ことを特長とする分子線エピタキシ装置用サセプ
タ。 ３ 実用新案登録請求の範囲第１項又は、第２項
記載のサセプタに於て、ウエハを貼らない側の面
中央に凹部を設けたことを特長とする分子線エピ
タキシ装置用サセプタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17670884U JPS6192060U (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17670884U JPS6192060U (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6192060U true JPS6192060U (ja) | 1986-06-14 |
Family
ID=30734301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17670884U Pending JPS6192060U (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6192060U (ja) |
-
1984
- 1984-11-22 JP JP17670884U patent/JPS6192060U/ja active Pending