JPS6193546A - エネルギ分析装置 - Google Patents
エネルギ分析装置Info
- Publication number
- JPS6193546A JPS6193546A JP59214652A JP21465284A JPS6193546A JP S6193546 A JPS6193546 A JP S6193546A JP 59214652 A JP59214652 A JP 59214652A JP 21465284 A JP21465284 A JP 21465284A JP S6193546 A JPS6193546 A JP S6193546A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- energy
- sweep
- analyzer
- mode
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、分析器を通過する電子のエネルギを一定に保
つように減速する分析器エネルギ固定モードと、分析器
を通過する電子のエネルギを一定の比率で減速させる定
減速比モードの両モードを備えたハイブリット型のエネ
ルギ分析Ｗ Ｈに関す−る。
つように減速する分析器エネルギ固定モードと、分析器
を通過する電子のエネルギを一定の比率で減速させる定
減速比モードの両モードを備えたハイブリット型のエネ
ルギ分析Ｗ Ｈに関す−る。
［従来の技術］
エネルギ分析装置の掃引には、分析器を通過する電子の
エネルギを、一定に保つように、入射レンズ電極と分析
器電極印加される電圧を掃引する所謂分析器エネルギ固
定モード（Ｆｉｘｅｄ Δｎａｌｙｚｉｎｇ Ｅ
ｎｅｒｇｙ Ｍ ｏｄｅ以下Ｆ、Ａ、Ｅモードと略す
）と、分析器を通過する電子のエネルーにを、分析器電
極に与える電位を掃引することにより一定の比率で減速
さμる所謂定減速比モード（Ｆｉｘｅｄ Ｒｅｔａｒ
ｄｉｒ＋ｇＲａｔｉｏ Ｍ ｏｄｅ以下Ｆ、Ｒ。
エネルギを、一定に保つように、入射レンズ電極と分析
器電極印加される電圧を掃引する所謂分析器エネルギ固
定モード（Ｆｉｘｅｄ Δｎａｌｙｚｉｎｇ Ｅ
ｎｅｒｇｙ Ｍ ｏｄｅ以下Ｆ、Ａ、Ｅモードと略す
）と、分析器を通過する電子のエネルーにを、分析器電
極に与える電位を掃引することにより一定の比率で減速
さμる所謂定減速比モード（Ｆｉｘｅｄ Ｒｅｔａｒ
ｄｉｒ＋ｇＲａｔｉｏ Ｍ ｏｄｅ以下Ｆ、Ｒ。
Ｒモードと略づ）の２つのモードがあり、それぞれ目的
に応じて使い分けている（講談社用 ［表面分析Ｊ １
９７６年３月１０日発１１ 玲貨染野倍他。
に応じて使い分けている（講談社用 ［表面分析Ｊ １
９７６年３月１０日発１１ 玲貨染野倍他。
ところで、前者のＦ、Δ、ＥモードにＪ３いては、出射
スリット位置におけるエネルギが一定であるため、分散
、は常に一定となり分解能は全エネルギ範囲で一定でφ
る。しかし、試料とアナライザとの間に設けられた集束
電°極のレンズ動作が異なるためアナライザ透過Ｉ！Ｉ
数は第３図の如く変化し、電子の運動エネルギ（ｋＥ）
のうち高い運動エネルギ側で検出感度は低い。一方、後
者のＦ、Ｒ。
スリット位置におけるエネルギが一定であるため、分散
、は常に一定となり分解能は全エネルギ範囲で一定でφ
る。しかし、試料とアナライザとの間に設けられた集束
電°極のレンズ動作が異なるためアナライザ透過Ｉ！Ｉ
数は第３図の如く変化し、電子の運動エネルギ（ｋＥ）
のうち高い運動エネルギ側で検出感度は低い。一方、後
者のＦ、Ｒ。
Ｒモードにおいては、レンズ動作は一定であるが、分析
器を通過する電子の運動エネルギが変化するので、出射
スリット位置におけるエネルギの分散も変化しアナライ
ザ透過関数は第４図の如く変化する。そのため、低エネ
ルギ側で検出感度が低い。
器を通過する電子の運動エネルギが変化するので、出射
スリット位置におけるエネルギの分散も変化しアナライ
ザ透過関数は第４図の如く変化する。そのため、低エネ
ルギ側で検出感度が低い。
［発明が解決しようとする問題点］
このような従来装置を元素分析等に使用した場合、Ｆ、
Ａ、Ｅモードを用いた装置においては、高エネルギ側に
ピークを有する元素の存在を見落としたり、又、Ｆ、Ｒ
，Ｒモードを用いた装置では、低エネルギ側にピークを
有する元素を見落としたりすることがあった。本発明は
、以上の問題点を解消して、低エネルギ側及び高エネル
ギ側とも充分な検出感度で測定できるエネルギ分析装置
を提供することを目的としている。
Ａ、Ｅモードを用いた装置においては、高エネルギ側に
ピークを有する元素の存在を見落としたり、又、Ｆ、Ｒ
，Ｒモードを用いた装置では、低エネルギ側にピークを
有する元素を見落としたりすることがあった。本発明は
、以上の問題点を解消して、低エネルギ側及び高エネル
ギ側とも充分な検出感度で測定できるエネルギ分析装置
を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
本問題点を解決するための本発明の構成は、一対のエネ
ルギ分析電極と、該エネルギ分析電極間に電子を導くた
めの入射レンズと、該アナライナを通過する電子のエネ
ルギを一定に保つようにエネルギ掃引するため該一対の
電極に与える電位を１１引する第１の電源と、該アナラ
イザを通過する電子のエネルギが一定の比率で変化する
ようにエネルギ釦用するため該アナライザ及び集束レン
ズに与える電位を掃引するための第２の電源と、低エネ
ルギ側では第１の電源による掃引が行なわれ高エネルギ
側では第２の電源による掃引が行なわれるように掃引を
切換える制御手段とを備えたことを特徴としている。
ルギ分析電極と、該エネルギ分析電極間に電子を導くた
めの入射レンズと、該アナライナを通過する電子のエネ
ルギを一定に保つようにエネルギ掃引するため該一対の
電極に与える電位を１１引する第１の電源と、該アナラ
イザを通過する電子のエネルギが一定の比率で変化する
ようにエネルギ釦用するため該アナライザ及び集束レン
ズに与える電位を掃引するための第２の電源と、低エネ
ルギ側では第１の電源による掃引が行なわれ高エネルギ
側では第２の電源による掃引が行なわれるように掃引を
切換える制御手段とを備えたことを特徴としている。
［実施例］
以下本発明の実施例を図面に基づき詳述する。
第１図は本発明の一実施例の構成図である。図中１は試
料で、試料１にはＸ線ｍ２からＸ線が照射されている。
料で、試料１にはＸ線ｍ２からＸ線が照射されている。
該Ｘ線の照射により試料１から発生した光電子３は、円
筒状に形成された集束電極４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄか
ら成る静電レンズにより半円球面型エネルギアナライザ
５の入射スリット６上に集束される。該半円球面型エネ
ルギアナライザは、同心的に配置された二つの半球電極
５ａ、５ｂから成り、該エネルギアナライザのもう一方
には出射スリット７が配置され、該出射スリット７を通
過した光電子３はチャンネルトロン型電子線検出器８に
より検出される。９は二つの半球電極５ａ、５ｂに後述
するモード切換え回路を介して接続された第１の分析用
電源で、１０はモード切換え回路を介して集束電極４ｂ
、４ｃ。
筒状に形成された集束電極４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄか
ら成る静電レンズにより半円球面型エネルギアナライザ
５の入射スリット６上に集束される。該半円球面型エネ
ルギアナライザは、同心的に配置された二つの半球電極
５ａ、５ｂから成り、該エネルギアナライザのもう一方
には出射スリット７が配置され、該出射スリット７を通
過した光電子３はチャンネルトロン型電子線検出器８に
より検出される。９は二つの半球電極５ａ、５ｂに後述
するモード切換え回路を介して接続された第１の分析用
電源で、１０はモード切換え回路を介して集束電極４ｂ
、４ｃ。
４ｄに電位を与えるためのレンズ電源である。該第１の
分析用電源９とレンズ電源１０により第１の電源が形成
され、該第１の電源からＦ、Ａ、Ｅモードで二つの半球
電極５ａ、５ｂおよび集束レンズ４ｂ、４ｃ、４ｄに電
位が与えられる。１１は、第２の電源を形成する第２の
分析用電源であり、該第２の電源よりＦ、Ｒ，Ｒモード
で二つの半球電極５ａ、５ｂおよび集束レンズ４ｂ 、
４ｃ 。
分析用電源９とレンズ電源１０により第１の電源が形成
され、該第１の電源からＦ、Ａ、Ｅモードで二つの半球
電極５ａ、５ｂおよび集束レンズ４ｂ、４ｃ、４ｄに電
位が与えられる。１１は、第２の電源を形成する第２の
分析用電源であり、該第２の電源よりＦ、Ｒ，Ｒモード
で二つの半球電極５ａ、５ｂおよび集束レンズ４ｂ 、
４ｃ 。
４ｄに電位が与えられる。１２は前記第１の分析用電源
９、レンズ電源１０及び第２の分析用電源１１が接続さ
れたモード切換え回路であり、該モード切換え回路１２
は、リレーＲ＋ 、Ｒｚ 、Ｒ３。
９、レンズ電源１０及び第２の分析用電源１１が接続さ
れたモード切換え回路であり、該モード切換え回路１２
は、リレーＲ＋ 、Ｒｚ 、Ｒ３。
Ｒ４、Ｒｓによって形成されマイクロコンピュータ等の
制ｔ１１装置１３によって制御される。１４は制御装置
１３に接続されたＤ／Ａ変換冴であり、１ｉ（Ｊ ＩＩ
Ｉ装置１３よりの電圧可変信号はＤ／Ａ変換器１４でア
ナログ信号に変換され掃引制御用源１５及びレンズ電源
１０に入力される。該掃引制御１１電源１５は前記第１
の分析用電源９及び第２の分析用型［１１に接続され、
該第１の分析用電源９及び第２の分析用型［１１の電圧
は、該電源をコントロールする掃引１ｌＩＩＩＩＩｌ電
源１５により掃引される。
制ｔ１１装置１３によって制御される。１４は制御装置
１３に接続されたＤ／Ａ変換冴であり、１ｉ（Ｊ ＩＩ
Ｉ装置１３よりの電圧可変信号はＤ／Ａ変換器１４でア
ナログ信号に変換され掃引制御用源１５及びレンズ電源
１０に入力される。該掃引制御１１電源１５は前記第１
の分析用電源９及び第２の分析用型［１１に接続され、
該第１の分析用電源９及び第２の分析用型［１１の電圧
は、該電源をコントロールする掃引１ｌＩＩＩＩＩｌ電
源１５により掃引される。
１６は制御装置１３に接続された入力装置であり、該入
力装置１６は掃引モード指定、モードが切換えられるエ
ネルギ値、好例電圧、集束電極の印加電圧等の分析条件
を入力するためのものである。
力装置１６は掃引モード指定、モードが切換えられるエ
ネルギ値、好例電圧、集束電極の印加電圧等の分析条件
を入力するためのものである。
以上の様に構成された装置において、先ず、入力装置１
６により第３図及び第４図に示した感度曲線が交叉する
エネルギ値ＥＣを境にして高エネルギ側ではＦ、Ａ、Ｅ
モード、低エネルギ側ではＦ、Ｒ，Ｒモードで掃引され
るように設定する。
６により第３図及び第４図に示した感度曲線が交叉する
エネルギ値ＥＣを境にして高エネルギ側ではＦ、Ａ、Ｅ
モード、低エネルギ側ではＦ、Ｒ，Ｒモードで掃引され
るように設定する。
この分析条件の入力により制御装置１３は、モード切換
え回路１２を制御して第１図実線で示した接続状態にし
、まず、Ｆ、Ａ、Ｅモードにする。
え回路１２を制御して第１図実線で示した接続状態にし
、まず、Ｆ、Ａ、Ｅモードにする。
このＦ、Ａ、Ｅモードの指定により、２つの半球電極５
ａ、５ｂ及び集束電極４ｄに与えられる電位は掃引され
ると共に集束電極４０，４ｂにはレンズ電源１０より固
定した電位が与えられＦ、Ａ。
ａ、５ｂ及び集束電極４ｄに与えられる電位は掃引され
ると共に集束電極４０，４ｂにはレンズ電源１０より固
定した電位が与えられＦ、Ａ。
Ｅモードでの掃引が行なわれる。分析が進んでモード切
換えのエネルギ値ＥＣになると制御装置１３は、モード
切換え回路１２を制御して、次に指定されたＦ、Ｒ，Ｒ
モードに切換える。このモード切換によりモード切換え
回路１２は第１図点線で示した接続状態となり、半球電
極５ａ、５ｂ及び集束電極４ｂ、４ｃ、４ｄに与えられ
る電位は掃引されＦ、Ｒ，Ｒモードに切換えられる。尚
、この切換えの際、制御装置１３はモード切換えに伴う
電圧の変動が一定になるのを持ってＦ、Ｒ。
換えのエネルギ値ＥＣになると制御装置１３は、モード
切換え回路１２を制御して、次に指定されたＦ、Ｒ，Ｒ
モードに切換える。このモード切換によりモード切換え
回路１２は第１図点線で示した接続状態となり、半球電
極５ａ、５ｂ及び集束電極４ｂ、４ｃ、４ｄに与えられ
る電位は掃引されＦ、Ｒ，Ｒモードに切換えられる。尚
、この切換えの際、制御装置１３はモード切換えに伴う
電圧の変動が一定になるのを持ってＦ、Ｒ。
Ｒモードでの掃引を行なう。又、くり返し分析する場合
は、１回毎に上述した動作が自動的に行われる。そのた
め、アナライブの感度特性は、第２図に示すようになり
、全エネルギ領域において充分な感度で試料のスベクル
分析を行なうことができる。
は、１回毎に上述した動作が自動的に行われる。そのた
め、アナライブの感度特性は、第２図に示すようになり
、全エネルギ領域において充分な感度で試料のスベクル
分析を行なうことができる。
［効果］
以上詳述したように本発明においては、自動的に低エネ
ルギ側ではＦ、Ａ、Ｅモードの掃引が行なわれ、高エネ
ルギ側ではＦ、Ｒ，Ｒモードの掃引が行なわれるため、
エネルギ全領域において充分な感度で試料のスペクトル
を分析することができる。
ルギ側ではＦ、Ａ、Ｅモードの掃引が行なわれ、高エネ
ルギ側ではＦ、Ｒ，Ｒモードの掃引が行なわれるため、
エネルギ全領域において充分な感度で試料のスペクトル
を分析することができる。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は本発明に
基づく装置の検出感度特性を説明するための図、第３図
はＦ、Ａ、Ｅモード型の従来装置′のエネルギに対する
検出感度特性を説明するための図、第４図はＦ、Ｒ，Ｒ
モード型の従来装置のエネルギに対する検出感度特性を
説明するための図である。 １：試料、２：Ｘ線源、３：光電子、４ａ、４ｂ、４ｃ
、４ｄ：集束電極、５：エネルギアナライザ、６：入射
スリット、７：出射スリット、８：電子線検出器、９：
第１の分析用電源、１０：レンズ電源、１１：第２の分
析用電源、１２：モード切換え回路、１３：制御装置、
１４ ： Ｄ／Ａ変換器、１５：掃引制御１１電源、１
６二人力装首。
基づく装置の検出感度特性を説明するための図、第３図
はＦ、Ａ、Ｅモード型の従来装置′のエネルギに対する
検出感度特性を説明するための図、第４図はＦ、Ｒ，Ｒ
モード型の従来装置のエネルギに対する検出感度特性を
説明するための図である。 １：試料、２：Ｘ線源、３：光電子、４ａ、４ｂ、４ｃ
、４ｄ：集束電極、５：エネルギアナライザ、６：入射
スリット、７：出射スリット、８：電子線検出器、９：
第１の分析用電源、１０：レンズ電源、１１：第２の分
析用電源、１２：モード切換え回路、１３：制御装置、
１４ ： Ｄ／Ａ変換器、１５：掃引制御１１電源、１
６二人力装首。
Claims (1)
- 一対のエネルギ分析電極と、該エネルギ分析電極間に電
子を導くための入射レンズと、該アナライザを通過する
電子のエネルギを一定に保つようにエネルギ掃引するた
め該一対の電極に与える電位を掃引する第１の電源と、
該アナライザを通過する電子のエネルギが一定の比率で
変化するようにエネルギ掃引するため該アナライザ及び
集束レンズに与える電位を掃引するための第２の電源と
、低エネルギ側では第１の電源による掃引が行なわれ高
エネルギ側では第２の電源による掃引が行なわれるよう
に掃引を切換える制御手段とを備えたことを特徴とする
エネルギ分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214652A JPS6193546A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | エネルギ分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214652A JPS6193546A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | エネルギ分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6193546A true JPS6193546A (ja) | 1986-05-12 |
| JPH0358143B2 JPH0358143B2 (ja) | 1991-09-04 |
Family
ID=16659308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59214652A Granted JPS6193546A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | エネルギ分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6193546A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5546421A (en) * | 1978-09-29 | 1980-04-01 | Hitachi Ltd | Mass spectrometer |
-
1984
- 1984-10-13 JP JP59214652A patent/JPS6193546A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5546421A (en) * | 1978-09-29 | 1980-04-01 | Hitachi Ltd | Mass spectrometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0358143B2 (ja) | 1991-09-04 |
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