JPS6193994U - - Google Patents

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JPS6193994U
JPS6193994U JP1985165595U JP16559585U JPS6193994U JP S6193994 U JPS6193994 U JP S6193994U JP 1985165595 U JP1985165595 U JP 1985165595U JP 16559585 U JP16559585 U JP 16559585U JP S6193994 U JPS6193994 U JP S6193994U
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JP
Japan
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tube according
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graphite body
graphite
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JP1985165595U
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JPS6327435Y2 (ja
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Priority claimed from DE19752518045 external-priority patent/DE2518045C3/de
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Publication of JPS6193994U publication Critical patent/JPS6193994U/ja
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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces

Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例を示す斜視図である。 １……シリコン管、２……シリコン管の高濃度
ドープシリコン層、３，４……黒鉛体、５，６…
…銅ブロツク。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ガス相からの析出によつて支持体表面に形
    成され、外表面全体が高濃度ドープシリコン層で
    覆われるかあるいはその全長に亘つて延びた帯状
    の高濃度ドープシリコン区域によつて部分的に覆
    われた拡散処理用の多結晶シリコン管において、
    両端部がチヤツク形の黒鉛体にはめ込まれ、この
    黒鉛体が良伝導金属ブロツクで囲まれ、多結晶シ
    リコン管の外径と多結晶シリコン管の両端部にお
    ける黒鉛体の接触長との比が１０対１以上にはな
    らないように黒鉛体の寸法が決められていること
    を特徴とする拡散処理用多結晶シリコン管。 (2) 外表面が両端部において丸く研磨されてい
    ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
    項記載のシリコン管。 (3) チヤツク形黒鉛体が銅ブロツクで囲まれて
    いることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    １項又は第２項記載のシリコン管。 (4) 黒鉛体と銅ブロツクの一方又は双方が円周
    に沿つていくつかに分割されてシリコン管の丸形
    寸法に適合した形状となり、各部分がボルト締め
    によつて結合されていることを特徴とする実用新
    案登録請求の範囲第３項記載のシリコン管。 (5) 両端がそれぞれ二部分から成る黒鉛体につ
    かまれていることを特徴とする実用新案登録請求
    の範囲第４項記載のシリコン管。 (6) 黒鉛体を囲む銅ブロツクが冷却されること
    を特徴とする実用新案登録請求の範囲第３項乃至
    第５項の一つに記載のシリコン管。 (7) 外径と接触長の比がほぼ２対１であること
    を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
    のシリコン管。 (8) 黒鉛体の間に管を取巻く熱絶縁体が置かれ
    ていることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
    第１項乃至第７項の一つに記載のシリコン管。 (9) 熱絶縁体としてケイ酸アルミニウムフアイ
    バが使用されていることを特徴とする実用新案登
    録請求の範囲第８項記載のシリコン管。 (10) 熱絶縁体として反射性金属壁が設けられて
    いることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
    ８項記載のシリコン管。
JP1985165595U 1975-04-23 1985-10-28 Expired JPS6327435Y2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752518045 DE2518045C3 (de) 1975-04-23 1975-04-23 Rohr für Diffusionsprozesse in der Halbleitertechnik aus polykristallinem Silicium
DE19752527927 DE2527927C2 (de) 1975-06-23 1975-06-23 Rohr für Diffusionsprozesse in der Halbleitertechnik aus polykristallinem Silicium

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6193994U true JPS6193994U (ja) 1986-06-17
JPS6327435Y2 JPS6327435Y2 (ja) 1988-07-25

Family

ID=25768800

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP51044364A Pending JPS51131268A (en) 1975-04-23 1976-04-19 Method of forming electric contacts for tubular furnace heated directly
JP1985165595U Expired JPS6327435Y2 (ja) 1975-04-23 1985-10-28

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP51044364A Pending JPS51131268A (en) 1975-04-23 1976-04-19 Method of forming electric contacts for tubular furnace heated directly

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4007369A (ja)
JP (2) JPS51131268A (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
JPS6327435Y2 (ja) 1988-07-25
JPS51131268A (en) 1976-11-15
US4007369A (en) 1977-02-08

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