JPS6196536U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6196536U JPS6196536U JP18175684U JP18175684U JPS6196536U JP S6196536 U JPS6196536 U JP S6196536U JP 18175684 U JP18175684 U JP 18175684U JP 18175684 U JP18175684 U JP 18175684U JP S6196536 U JPS6196536 U JP S6196536U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- inner tube
- tube
- inlet
- receiving portion
- Prior art date
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- Granted
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図ａ，ｂは、本考案の一実施例に係る熱処
理用石英管の軸方向に切断した断面図と、軸方向
から見た側面図である。第２図は、本考案の従来
技術に係る、熱処理用石英管の断面図である。 １…内管、１１…ガス送入口、１２…キヤツプ
、１３…引き出し棒、２…外管、２１…ガス流入
口、２２…ガス流出口、２３…ガス流入管、２４
…ガス受け部、２５…ガス流入管、２６…石英製
支柱、３…被処理体、４…ヒータ。
理用石英管の軸方向に切断した断面図と、軸方向
から見た側面図である。第２図は、本考案の従来
技術に係る、熱処理用石英管の断面図である。 １…内管、１１…ガス送入口、１２…キヤツプ
、１３…引き出し棒、２…外管、２１…ガス流入
口、２２…ガス流出口、２３…ガス流入管、２４
…ガス受け部、２５…ガス流入管、２６…石英製
支柱、３…被処理体、４…ヒータ。
Claims (1)
- 内管と、これを囲んで設けられる外管と、これ
を囲んで設けられるヒータとよりなり、前記内管
の１端にはガス送入口が設けられ、前記外管の１
端には２本以上のらせん状チユーブよりなるガス
流入管が設けられ、該ガス流入管の他端には１個
のガス受け部が設けられ、該ガス受け部には２個
以上のガス流入口が設けられてなることを特徴と
する熱処理用石英管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18175684U JPH0219960Y2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18175684U JPH0219960Y2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6196536U true JPS6196536U (ja) | 1986-06-21 |
| JPH0219960Y2 JPH0219960Y2 (ja) | 1990-05-31 |
Family
ID=30739297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18175684U Expired JPH0219960Y2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0219960Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01207926A (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-21 | Toshiba Corp | 半導体ウェハの処理装置 |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP18175684U patent/JPH0219960Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01207926A (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-21 | Toshiba Corp | 半導体ウェハの処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0219960Y2 (ja) | 1990-05-31 |