JPS6197982A - 固体レ−ザ発振装置 - Google Patents
固体レ−ザ発振装置Info
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- JPS6197982A JPS6197982A JP21990884A JP21990884A JPS6197982A JP S6197982 A JPS6197982 A JP S6197982A JP 21990884 A JP21990884 A JP 21990884A JP 21990884 A JP21990884 A JP 21990884A JP S6197982 A JPS6197982 A JP S6197982A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- excitation
- laser rod
- light
- lamp
- laser
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/0915—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
- H01S3/092—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp
- H01S3/093—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp focusing or directing the excitation energy into the active medium
- H01S3/0931—Imaging pump cavity, e.g. elliptical
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はレーザロッドに照射される励起光の照射状態
を改良した固体レーザ発振装置に関する。
を改良した固体レーザ発振装置に関する。
一般に、固体レーザ発掘装置として第5図に示す構成の
ものが知られている。第5図中で、1は集光鏡筒である
。この集光鏡筒1の内面には金メッキ等が施された略楕
円筒状の反射面2が形成されている。そして、この集光
M筒1の反射面2の一方の焦点には励起用ランプ3.他
方の焦点には横断面形状が円形状のレーザロッド4をそ
れぞれ配設し、励起用ランプ3から発光させた励起光を
反射面2によって効率良くレーザロッド4に集光照射し
てレーザロッド4からレーザ光を発成させるようにして
いる。
ものが知られている。第5図中で、1は集光鏡筒である
。この集光鏡筒1の内面には金メッキ等が施された略楕
円筒状の反射面2が形成されている。そして、この集光
M筒1の反射面2の一方の焦点には励起用ランプ3.他
方の焦点には横断面形状が円形状のレーザロッド4をそ
れぞれ配設し、励起用ランプ3から発光させた励起光を
反射面2によって効率良くレーザロッド4に集光照射し
てレーザロッド4からレーザ光を発成させるようにして
いる。
しかしながら、上記従来構成のものにあってはレーザロ
ッド4の周面全面のうち励起用ランプ3から放射された
励起光が直接照射される部分(励起用ランプ3と対向す
る部分)4aではレーザ光の励起強度が強くなり、励起
用ランプ3がら放射された励起光が直接照射されない部
分く励起用ランプ3と対向する部分4aの裏側部分)4
bでは励起光が直接照射される部分4aに比べてレーザ
光の励起強度が弱くなるので、レーザロッド4のレーザ
光発振モードに偏りが発生する問題があるとともに、励
起光の吸収にともないレーザロッド4が不均一に熱変形
を起こし、レーザ光の発振モードを乱ず問題があった。
ッド4の周面全面のうち励起用ランプ3から放射された
励起光が直接照射される部分(励起用ランプ3と対向す
る部分)4aではレーザ光の励起強度が強くなり、励起
用ランプ3がら放射された励起光が直接照射されない部
分く励起用ランプ3と対向する部分4aの裏側部分)4
bでは励起光が直接照射される部分4aに比べてレーザ
光の励起強度が弱くなるので、レーザロッド4のレーザ
光発振モードに偏りが発生する問題があるとともに、励
起光の吸収にともないレーザロッド4が不均一に熱変形
を起こし、レーザ光の発振モードを乱ず問題があった。
そのため、単一モードのレーザ光を発成させることが難
しく、レーザ光によってB21fll加工を行なううえ
で問題があった。
しく、レーザ光によってB21fll加工を行なううえ
で問題があった。
そこで、励起用ランプ3とレーザロッド4との間に遮光
板や散乱板を配設し、レーザロッド4の周面全面のうち
励起用ランプ3がら放射された励起光が直接照射される
部分4aのレーザ光の励起強度を弱めることにより、レ
ーザロッド4の内部全体に亙ってレーザ光を均一に励起
させることが考えられている。しかし、この場合はレー
ザロッド4の周面全面のうち励起用ランプ3がら放射さ
れた励起光が直接照射される部分4aの励起光照別門を
局部的に減少させるだけであったので、レーザロッド4
の内部全体に亙って効果的にレーザ光の励起強度を均一
化することができない問題があった。
板や散乱板を配設し、レーザロッド4の周面全面のうち
励起用ランプ3がら放射された励起光が直接照射される
部分4aのレーザ光の励起強度を弱めることにより、レ
ーザロッド4の内部全体に亙ってレーザ光を均一に励起
させることが考えられている。しかし、この場合はレー
ザロッド4の周面全面のうち励起用ランプ3がら放射さ
れた励起光が直接照射される部分4aの励起光照別門を
局部的に減少させるだけであったので、レーザロッド4
の内部全体に亙って効果的にレーザ光の励起強度を均一
化することができない問題があった。
この発明はレーザロッドの内部全体に亙って効果的にレ
ーザ光の励起強度を均一化することかでき、レーザロッ
ドのレーザ光発振モードの偏りの発生を防止することが
できるとともに、レーザロッドの不均一な熱変形を防止
してレーザ光の発振モードの乱れを低減することができ
る固体レーザ発振装置を提供することを目的とするもの
である。
ーザ光の励起強度を均一化することかでき、レーザロッ
ドのレーザ光発振モードの偏りの発生を防止することが
できるとともに、レーザロッドの不均一な熱変形を防止
してレーザ光の発振モードの乱れを低減することができ
る固体レーザ発振装置を提供することを目的とするもの
である。
この発明は内面に略楕円筒状の反射面が形成された集光
鏡筒の一方の焦点に配設された励起用ランプとの対向面
中心部分の光の透過率を最も低くするとともに、前記励
起用ランプとの対向面中心部分から離れるにしたがって
光の透過率を徐々に高くするように周方向に沿って光の
透過率を連続的に変化させて前記励起用ランプからの励
起光を集光鏡筒の他方の焦点に配設された円形状のレー
ザロッドの周面全面に均一に照射させる励起光調
′警部材を前記レーザロッドの周囲に配設したことを
特徴とするものである。
鏡筒の一方の焦点に配設された励起用ランプとの対向面
中心部分の光の透過率を最も低くするとともに、前記励
起用ランプとの対向面中心部分から離れるにしたがって
光の透過率を徐々に高くするように周方向に沿って光の
透過率を連続的に変化させて前記励起用ランプからの励
起光を集光鏡筒の他方の焦点に配設された円形状のレー
ザロッドの周面全面に均一に照射させる励起光調
′警部材を前記レーザロッドの周囲に配設したことを
特徴とするものである。
第1図乃至第3図はこの発明の一実施例を示すものであ
る。第1図は固体レーザ発振装置の要部の慨略構成を示
すもので、11は一重楕円筒によって形成された集光鏡
筒である。この集光鏡筒11の内面には金メッキ等が施
された略楕円筒状の高反射率の反射面12が形成されて
いる。ざらに、この集光鏡筒11の反射面12の一方の
焦点には励起用ランプ13.他方の焦点には横断面形状
が円形状のレーザロッド14がそれぞれ配設されている
。この場合、励起用ランプ13は例えばクリプトンアー
クランプが使用されている。また、レーザロッド14は
例えばYAG結晶等のレーザ活性aiをロッド状に形成
したものである。さらに、集光鏡筒11の反射面12の
軸方向の長さ寸法は励起用ランプ13およびレーザロッ
ド14の長さに応じた長さに設定されている。
る。第1図は固体レーザ発振装置の要部の慨略構成を示
すもので、11は一重楕円筒によって形成された集光鏡
筒である。この集光鏡筒11の内面には金メッキ等が施
された略楕円筒状の高反射率の反射面12が形成されて
いる。ざらに、この集光鏡筒11の反射面12の一方の
焦点には励起用ランプ13.他方の焦点には横断面形状
が円形状のレーザロッド14がそれぞれ配設されている
。この場合、励起用ランプ13は例えばクリプトンアー
クランプが使用されている。また、レーザロッド14は
例えばYAG結晶等のレーザ活性aiをロッド状に形成
したものである。さらに、集光鏡筒11の反射面12の
軸方向の長さ寸法は励起用ランプ13およびレーザロッ
ド14の長さに応じた長さに設定されている。
また、レーザロッド14の周囲には励起光調整パイプ(
励起光調整部材)15が離間対向状態で配設されている
。この励起光調整パイプ15は第2図に示すように硬質
鉛ガラス等の透光材料によって形成された管体16の外
周面上に金等の金属簿膜17を数千人程度の厚さに真空
蒸着して形成されている。この場合、金属薄膜17の厚
さと光の透過率とは略反比例の関係になっており、管体
16の外周面上に真空蒸着される金属簿膜17の膜厚を
管体16の周方向に沿って変化させることにより、励起
光調整パイプ15の周方向に沿って所望の透過率分布を
得ることができる。したがって、管体16の金属薄膜1
7の膜厚を管体16の周方向に沿って適宜制御すること
により励起光調整パイプ15の周面上における透過率分
布を第3図に示すように励起用ランプ13との対向面中
心部分15aの光の透過率が最も低く、励起用ランプ1
3との対向面中心部分15aから離れるにしたがって光
の透過率が徐々に高くなるように周方向に沿って光の透
過率が連続的に変化するように形成させて、励起用ラシ
プ13からの励起光をレーザロッド14の周面全面に均
一に照射させるようになっている。なお、第3図中で、
角度θ=Ooは第2図に示すように励起光調整1<イブ
15の中心線と励起用ランプ13の中心線との間を結ぶ
基準線しと励起光調整バイブ15の外周面との交点位置
を示すものである。また、角度θDはレーザロッド14
の半径をrD、励起光調整バイブ15の外半径をr9と
するとともに、励起用ランプ13の半径をレーザロッド
14の半径roと同径にした場合に θo=s i n’ (ro/rs )として示され
るものである。そして、励起光調整バイブ15の周面上
における励起用ランプ13から励起光が直接照射される
部分、すなわち励起光調整バイブ15の励起用ランプ1
3との対向面中心部分15a(θ=O°とθDとの間お
よびθ=360°−θDとθ=360°との間)の光の
透過率は60〜80%程度に設定されており、レーザロ
ッド14に到達する励起光の光量が弱められるようにな
っている。ざらに、励起光調整バイブ15の周面上にお
ける励起用ランプ13から励起光が直接照射される部分
の反対側の部分、すなわちθ=180°−θDとθ=1
80°+θDとの間の範囲では光の透過率を100%に
、設定されており、レーザロッド14に到達する励起光
の全光量がレーザロッド14に入射されるようになって
いる。また、θDとθ=180’−θDとの間の。 & 範囲では近似的に−(θ−180)、(α=1〜2)に
比例して励起用ランプ13との対向面中心部分15aか
ら離れるにしたがって光の透過率が連続的に徐々に増加
するような分布Bに設定されている。なお、θ=180
”から360°までの間では幾何学的対称性によりθ=
O°から180”までの間の透過率分布を反転させた分
布状態になっている。なお、集光鏡筒11の反射面12
の内部およびレーザロッド14と励起光調整バイブ15
との間には脱イオン化された冷却用の流水が充填されて
いる。
励起光調整部材)15が離間対向状態で配設されている
。この励起光調整パイプ15は第2図に示すように硬質
鉛ガラス等の透光材料によって形成された管体16の外
周面上に金等の金属簿膜17を数千人程度の厚さに真空
蒸着して形成されている。この場合、金属薄膜17の厚
さと光の透過率とは略反比例の関係になっており、管体
16の外周面上に真空蒸着される金属簿膜17の膜厚を
管体16の周方向に沿って変化させることにより、励起
光調整パイプ15の周方向に沿って所望の透過率分布を
得ることができる。したがって、管体16の金属薄膜1
7の膜厚を管体16の周方向に沿って適宜制御すること
により励起光調整パイプ15の周面上における透過率分
布を第3図に示すように励起用ランプ13との対向面中
心部分15aの光の透過率が最も低く、励起用ランプ1
3との対向面中心部分15aから離れるにしたがって光
の透過率が徐々に高くなるように周方向に沿って光の透
過率が連続的に変化するように形成させて、励起用ラシ
プ13からの励起光をレーザロッド14の周面全面に均
一に照射させるようになっている。なお、第3図中で、
角度θ=Ooは第2図に示すように励起光調整1<イブ
15の中心線と励起用ランプ13の中心線との間を結ぶ
基準線しと励起光調整バイブ15の外周面との交点位置
を示すものである。また、角度θDはレーザロッド14
の半径をrD、励起光調整バイブ15の外半径をr9と
するとともに、励起用ランプ13の半径をレーザロッド
14の半径roと同径にした場合に θo=s i n’ (ro/rs )として示され
るものである。そして、励起光調整バイブ15の周面上
における励起用ランプ13から励起光が直接照射される
部分、すなわち励起光調整バイブ15の励起用ランプ1
3との対向面中心部分15a(θ=O°とθDとの間お
よびθ=360°−θDとθ=360°との間)の光の
透過率は60〜80%程度に設定されており、レーザロ
ッド14に到達する励起光の光量が弱められるようにな
っている。ざらに、励起光調整バイブ15の周面上にお
ける励起用ランプ13から励起光が直接照射される部分
の反対側の部分、すなわちθ=180°−θDとθ=1
80°+θDとの間の範囲では光の透過率を100%に
、設定されており、レーザロッド14に到達する励起光
の全光量がレーザロッド14に入射されるようになって
いる。また、θDとθ=180’−θDとの間の。 & 範囲では近似的に−(θ−180)、(α=1〜2)に
比例して励起用ランプ13との対向面中心部分15aか
ら離れるにしたがって光の透過率が連続的に徐々に増加
するような分布Bに設定されている。なお、θ=180
”から360°までの間では幾何学的対称性によりθ=
O°から180”までの間の透過率分布を反転させた分
布状態になっている。なお、集光鏡筒11の反射面12
の内部およびレーザロッド14と励起光調整バイブ15
との間には脱イオン化された冷却用の流水が充填されて
いる。
そこで、上記構成のものにあってはレーザロッド14の
周囲に励起光調整バイブ15を離間対向状態で配設し、
この励起光調整バイブ15の周面上における光の透過率
分布を周方向に沿って連続的に変化させ励起用ランプ1
3との対向面中心部分15aの光の透過率が最も低く、
励起用ランプ13との対向面中心部分15aから離れる
にしたがって光の透過率が徐々に高くなるように形成し
たので、励起用ランプ13からの励起光をレーザロッド
14の周面全面に均一に照射することができる。そのた
め、レーザロッド14の内部全体にHつてレーザ光の励
起強度を均一化することができるので、従来のようにレ
ーザロッド14の周面全面のうち励起用ランプ13から
放射された励起光が直接照射される部分と励起用ランプ
13から放射された励起光が直接照射されない部分との
間てレーザロッド14のレーザ光発振モードの偏りな熱
変形を防止することもできる。゛したがって、レーザロ
ッド14の内部全体に亙ってレーザ光の発振モードを均
一化することができるので、単一モードのレーザ光発振
出力を従来に比べて増大することができる。
周囲に励起光調整バイブ15を離間対向状態で配設し、
この励起光調整バイブ15の周面上における光の透過率
分布を周方向に沿って連続的に変化させ励起用ランプ1
3との対向面中心部分15aの光の透過率が最も低く、
励起用ランプ13との対向面中心部分15aから離れる
にしたがって光の透過率が徐々に高くなるように形成し
たので、励起用ランプ13からの励起光をレーザロッド
14の周面全面に均一に照射することができる。そのた
め、レーザロッド14の内部全体にHつてレーザ光の励
起強度を均一化することができるので、従来のようにレ
ーザロッド14の周面全面のうち励起用ランプ13から
放射された励起光が直接照射される部分と励起用ランプ
13から放射された励起光が直接照射されない部分との
間てレーザロッド14のレーザ光発振モードの偏りな熱
変形を防止することもできる。゛したがって、レーザロ
ッド14の内部全体に亙ってレーザ光の発振モードを均
一化することができるので、単一モードのレーザ光発振
出力を従来に比べて増大することができる。
なお、この発明は上記実施例に限定されるものではない
。例えば、上記実施例では一重楕円筒によって形成され
た集光鏡筒11を使用した場合について説明したが、第
4図に示すように一対の一重楕円筒21a、21bの一
方の焦点を共通化した状態で連結した二重楕円筒によっ
て形成された集光鏡筒22を設け、この集光鏡筒22の
共通焦点上に横断面形状が円形状のレーザロッド23゜
他方の各焦点上に励起用ランプ24.24をそれぞれ配
設するとともに、このレーザロッド23の周囲に励起光
調整バイブ(励起光調整部材)25を離間対向状態で装
着する構成にしてもよい。この場合の励起光調整バイブ
25の周面上における光の透過率分布は第3図の360
°分の分布パターンを180°分の分布パターンに圧縮
したパターンを2周期分連結させた状態になっており、
この場合であっても上記実施例と同様に励起光調整バイ
ブ25の周方向に沿って光の透過率を連続的に変化させ
て励起用ランプ24との対向面中心部分25a、25a
の光の透過率が最も低く、励起用ランプ24との対向面
中心部分25a、25aから離れるにしたがって光の透
過率が徐々に高くなるように設定されている。そのため
、この場合であっても上記実施例と同様に励起用ランプ
24゜24からの励起光をレーザロッド23の周面全面
に均一に照射することができ、レーザロッド23の内部
全体に亙って効果的にレーザ光の励起強度を均一化して
レーザ光の発振モードを均一化することができるので、
単一モードのレーザ光発振出力を従来に比べて増大する
ことができる。さらに、その他この発明の要旨を逸脱し
ない範囲で種々変形実施できることは勿論である。
。例えば、上記実施例では一重楕円筒によって形成され
た集光鏡筒11を使用した場合について説明したが、第
4図に示すように一対の一重楕円筒21a、21bの一
方の焦点を共通化した状態で連結した二重楕円筒によっ
て形成された集光鏡筒22を設け、この集光鏡筒22の
共通焦点上に横断面形状が円形状のレーザロッド23゜
他方の各焦点上に励起用ランプ24.24をそれぞれ配
設するとともに、このレーザロッド23の周囲に励起光
調整バイブ(励起光調整部材)25を離間対向状態で装
着する構成にしてもよい。この場合の励起光調整バイブ
25の周面上における光の透過率分布は第3図の360
°分の分布パターンを180°分の分布パターンに圧縮
したパターンを2周期分連結させた状態になっており、
この場合であっても上記実施例と同様に励起光調整バイ
ブ25の周方向に沿って光の透過率を連続的に変化させ
て励起用ランプ24との対向面中心部分25a、25a
の光の透過率が最も低く、励起用ランプ24との対向面
中心部分25a、25aから離れるにしたがって光の透
過率が徐々に高くなるように設定されている。そのため
、この場合であっても上記実施例と同様に励起用ランプ
24゜24からの励起光をレーザロッド23の周面全面
に均一に照射することができ、レーザロッド23の内部
全体に亙って効果的にレーザ光の励起強度を均一化して
レーザ光の発振モードを均一化することができるので、
単一モードのレーザ光発振出力を従来に比べて増大する
ことができる。さらに、その他この発明の要旨を逸脱し
ない範囲で種々変形実施できることは勿論である。
この発明によれば内面に略楕円筒状の反射面が形成され
た集光鏡筒の一方の焦点に配設された励起用ランプとの
対向面中心部分の光の透過率を最も低くするとともに、
前記励起用ランプとの対向面中心部分から離れるにした
がって光の透過率を徐々に高くするように周方向に沿っ
て光の透過率を連続的に変化させて前記励起用ランプか
らの励起九を集光鏡筒の他方の焦点に配設された円形状
のレーザロッドの周面全面に均一に照射させる励起光調
整部材を前記レーザロッドの周囲に配設したので、レー
ザロッドの内部全体に亙っで効果的にレーザ光の励起強
度を均一化することができ、レーザロッドのレーザ光発
振モードの偏りの発生を防止することができるとともに
、レーザロッドの不均一な熱変形を防止してレーザ光の
発振七−ドの乱れを低減することができる。
た集光鏡筒の一方の焦点に配設された励起用ランプとの
対向面中心部分の光の透過率を最も低くするとともに、
前記励起用ランプとの対向面中心部分から離れるにした
がって光の透過率を徐々に高くするように周方向に沿っ
て光の透過率を連続的に変化させて前記励起用ランプか
らの励起九を集光鏡筒の他方の焦点に配設された円形状
のレーザロッドの周面全面に均一に照射させる励起光調
整部材を前記レーザロッドの周囲に配設したので、レー
ザロッドの内部全体に亙っで効果的にレーザ光の励起強
度を均一化することができ、レーザロッドのレーザ光発
振モードの偏りの発生を防止することができるとともに
、レーザロッドの不均一な熱変形を防止してレーザ光の
発振七−ドの乱れを低減することができる。
第1図乃至第3図はこの発明の一実施例を示すもので、
第1図は固体レーザ発掘装置の要部の概略構成を示す横
断面図、第2図は励起光調整パイプを示す横断面図、第
3図は励起光調整パイプの光の透過率の分布パターンを
示す特性図、第4図は別の実施例の要部の概略構成を示
す横断面図、第5図は従来例の要部の概略構成を示す横
断面図である。 11.22・・・集光鏡筒、12・・・反射面、13゜
24・・・励起用ランプ、14.23・・・レーザロッ
ド、15.25・・・励起光調整パイプ (励起光調整
部材)。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1 口 第3図 角層 (Gl’)
第1図は固体レーザ発掘装置の要部の概略構成を示す横
断面図、第2図は励起光調整パイプを示す横断面図、第
3図は励起光調整パイプの光の透過率の分布パターンを
示す特性図、第4図は別の実施例の要部の概略構成を示
す横断面図、第5図は従来例の要部の概略構成を示す横
断面図である。 11.22・・・集光鏡筒、12・・・反射面、13゜
24・・・励起用ランプ、14.23・・・レーザロッ
ド、15.25・・・励起光調整パイプ (励起光調整
部材)。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1 口 第3図 角層 (Gl’)
Claims (1)
- 内面に略楕円筒状の反射面が形成された集光鏡筒の一方
の焦点に励起用ランプ、他方の焦点に横断面形状が円形
状のレーザロッドをそれぞれ配設させた固体レーザ発振
装置において、前記励起用ランプとの対向面中心部分の
光の透過率を最も低くするとともに、前記励起用ランプ
との対向面中心部分から離れるにしたがって光の透過率
を徐々に高くするように周方向に沿って光の透過率を連
続的に変化させて前記励起用ランプからの励起光を前記
レーザロッドの周面全面に均一に照射させる励起光調整
部材を前記レーザロッドの周囲に配設したことを特徴と
する固体レーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21990884A JPS6197982A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 固体レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21990884A JPS6197982A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 固体レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197982A true JPS6197982A (ja) | 1986-05-16 |
Family
ID=16742908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21990884A Pending JPS6197982A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 固体レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6197982A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990008413A1 (fr) * | 1989-01-13 | 1990-07-26 | Tosoh Corporation | Laser a semi-conducteur |
| JPH05102564A (ja) * | 1991-04-04 | 1993-04-23 | Electrox Inc | 高出力NdYAGレーザ |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21990884A patent/JPS6197982A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990008413A1 (fr) * | 1989-01-13 | 1990-07-26 | Tosoh Corporation | Laser a semi-conducteur |
| US5134626A (en) * | 1989-01-13 | 1992-07-28 | Tosoh Corporation | Solid laser generator |
| JPH05102564A (ja) * | 1991-04-04 | 1993-04-23 | Electrox Inc | 高出力NdYAGレーザ |
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