JPS6199860A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
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- JPS6199860A JPS6199860A JP59220930A JP22093084A JPS6199860A JP S6199860 A JPS6199860 A JP S6199860A JP 59220930 A JP59220930 A JP 59220930A JP 22093084 A JP22093084 A JP 22093084A JP S6199860 A JPS6199860 A JP S6199860A
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- Japan
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- ultrasonic
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/042—Wave modes
- G01N2291/0421—Longitudinal waves
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超音波探触子に係り、とくに−の振動子に送
信および受信の二つの動作をなさしめる超音波探触子に
関する。
信および受信の二つの動作をなさしめる超音波探触子に
関する。
超音波探触子は、超音波探傷器に接続されて使用される
超音波送受波器であり、材料の非破壊試験に不可欠な超
音波センサとして当業者には周知のものである。この種
の超音波探触子にはその用途に応じて種々のものがある
が、その多くは、材料内の欠陥に対する分解能の向上等
を意図して、振動子を背面材に固着し、これを所定のケ
ース内に収納するという構成を採用している。
超音波送受波器であり、材料の非破壊試験に不可欠な超
音波センサとして当業者には周知のものである。この種
の超音波探触子にはその用途に応じて種々のものがある
が、その多くは、材料内の欠陥に対する分解能の向上等
を意図して、振動子を背面材に固着し、これを所定のケ
ース内に収納するという構成を採用している。
一方、前記背面材としては、分解能の向上を意図した非
励振時における所謂ダンパー（ｄａｍｐｅｒ）としての
機能のほかに、励振時に振動子から伝播してくる超音波
をいかに能率よく吸収するかが重要な課題となっている
。このため、背面材の素材として、従来は減衰の大なる
部材を使用するとともに当該背面材の寸法を比較的大き
く採り、これによって、背面材側へ伝播してくる超音波
を効果的に吸収若しくは分散減衰せしめるという手法が
採り入れられていた。
励振時における所謂ダンパー（ｄａｍｐｅｒ）としての
機能のほかに、励振時に振動子から伝播してくる超音波
をいかに能率よく吸収するかが重要な課題となっている
。このため、背面材の素材として、従来は減衰の大なる
部材を使用するとともに当該背面材の寸法を比較的大き
く採り、これによって、背面材側へ伝播してくる超音波
を効果的に吸収若しくは分散減衰せしめるという手法が
採り入れられていた。
しかしながら、かかる従来例においては、背面材が大き
いことから探触子そのものが全体的に大型化し、取扱い
にくいばかりでなく超音波センサーとしての小型化の要
請に対しては逆行する事態が生じ、一方、そのまま小型
化すると背面材からの反射エコーが高レベルの雑音とし
て振動子に検知されるという不都合があった。
いことから探触子そのものが全体的に大型化し、取扱い
にくいばかりでなく超音波センサーとしての小型化の要
請に対しては逆行する事態が生じ、一方、そのまま小型
化すると背面材からの反射エコーが高レベルの雑音とし
て振動子に検知されるという不都合があった。
本発明は、かかる従来例の有する不都合を改善し、とく
に背面材側からの反射エコーの検出を著しく少なくする
とともにその厚さ方向の寸法を小さくして全体的に小型
化および高性能化を図った超音波探触子を提供すること
を、その目的とする。
に背面材側からの反射エコーの検出を著しく少なくする
とともにその厚さ方向の寸法を小さくして全体的に小型
化および高性能化を図った超音波探触子を提供すること
を、その目的とする。
そこで、本発明では、超音波振動子とこの超音波振動子
を固着した背面材とを備えた超音波探触子において、前
記背面材における振動子固着面の反対側の面を略均一な
傾斜面とするとともに、この傾斜面の全域に、所定の厚
さの層をなして粒状固形物を配設し固定するという構成
を採り、これによって前記目的を達成しようとするもの
である。
を固着した背面材とを備えた超音波探触子において、前
記背面材における振動子固着面の反対側の面を略均一な
傾斜面とするとともに、この傾斜面の全域に、所定の厚
さの層をなして粒状固形物を配設し固定するという構成
を採り、これによって前記目的を達成しようとするもの
である。
〔発明の第１実施例〕
以下、本発明の第１実施例を第１図ないし第３図に基づ
いて説明する。
いて説明する。
第１図ないし第２図において、１は本体ケースを示し、
２はコネクターを示す。前記本体ケース１は、本実施例
においては下方が幾分太く形成された円筒状をなし、外
周面には滑り止め用の環状溝ＩＡが複数本形成されてい
る。
２はコネクターを示す。前記本体ケース１は、本実施例
においては下方が幾分太く形成された円筒状をなし、外
周面には滑り止め用の環状溝ＩＡが複数本形成されてい
る。
前記本体ケース１内には、同図の下方に幾分突出した円
筒状で金属製の支持部材３が固着されている。そして、
この円筒状支持部材３の内側には、図に示す如く下方か
ら上方に向けて、ディスクプレート４．振動子５．背面
材６．およびスペーサ部材７が順次配設され固着されて
いる。この場合、前記振動子５は、背面材６の同図にお
ける下端面に固着され、同時に、前記支持部材３の内側
に配設された絶縁材からなる円筒状の保持体８内に前記
背面材６とともに収納・固着されている。そして、この
保持体８および前記振動子５の第１図における下端面を
保護するようにして前記ディスクプレート４が固着され
ている。
筒状で金属製の支持部材３が固着されている。そして、
この円筒状支持部材３の内側には、図に示す如く下方か
ら上方に向けて、ディスクプレート４．振動子５．背面
材６．およびスペーサ部材７が順次配設され固着されて
いる。この場合、前記振動子５は、背面材６の同図にお
ける下端面に固着され、同時に、前記支持部材３の内側
に配設された絶縁材からなる円筒状の保持体８内に前記
背面材６とともに収納・固着されている。そして、この
保持体８および前記振動子５の第１図における下端面を
保護するようにして前記ディスクプレート４が固着され
ている。
前記振動子５は、本実施例では円盤状で音響インピーダ
ンス（ρｃ）＝約２１Ｘ１０’ （ｋｇ／ｍ”ｓｅｃ
）のニオブ酸鉛系（ＰｂＮｂｚＯ６）のものが使用され
ている。
ンス（ρｃ）＝約２１Ｘ１０’ （ｋｇ／ｍ”ｓｅｃ
）のニオブ酸鉛系（ＰｂＮｂｚＯ６）のものが使用され
ている。
一方、前記背面材６は、前述した如く振動子５の非励振
時における自由振動を抑えるとともに、励振時に背面材
６側へ伝播してくる超音波を吸収減衰せしめる必要上よ
り、超音波の減衰が大で且つ音９インピーダンス（ρＣ
）が前記振動子４に近い値のものが選定される。本実施
例における背面材５は、その素材として、エポキシ樹脂
にタングステンの粉末を混入し、これに希釈材としてア
セトンを加入するとともに、音の減衰効果をあげるため
に適当量の無機質の粉末を添加したもの、を使用し、こ
れを適度に攪拌し所定の形状に加工成型したものが使用
されている。この背面材５の形状は、その直径よりも厚
さの薄い円柱状をなし、その下端面には前述した如く振
動子５が固着され、そして、前記背面材６の上端面６Ａ
は、略均一な平坦面をなし、同時に全体に傾いた傾斜面
をなしている。この傾斜上端面６Ａの第１図における上
方には、粒状固形物の層９を介してエポキシ樹脂の含浸
固形層７が設けられ、この樹脂含浸固形層７の上方には
シリコーン等の充填材１０が充填されている。
時における自由振動を抑えるとともに、励振時に背面材
６側へ伝播してくる超音波を吸収減衰せしめる必要上よ
り、超音波の減衰が大で且つ音９インピーダンス（ρＣ
）が前記振動子４に近い値のものが選定される。本実施
例における背面材５は、その素材として、エポキシ樹脂
にタングステンの粉末を混入し、これに希釈材としてア
セトンを加入するとともに、音の減衰効果をあげるため
に適当量の無機質の粉末を添加したもの、を使用し、こ
れを適度に攪拌し所定の形状に加工成型したものが使用
されている。この背面材５の形状は、その直径よりも厚
さの薄い円柱状をなし、その下端面には前述した如く振
動子５が固着され、そして、前記背面材６の上端面６Ａ
は、略均一な平坦面をなし、同時に全体に傾いた傾斜面
をなしている。この傾斜上端面６Ａの第１図における上
方には、粒状固形物の層９を介してエポキシ樹脂の含浸
固形層７が設けられ、この樹脂含浸固形層７の上方には
シリコーン等の充填材１０が充填されている。
また、１１はアース側リード線を示し、１２は信号印加
用リード線を示し、１３はコネクタを示す。前記アース
側リード線１１は、前記ディスクプレート４の一端に固
着された帯状の銀箔１４を介して上方へ延設され、前記
支持部材３に固着された中継部材１５Ａを介して前記コ
ネクタ１３のアース側に接続されている。また、前記信
号印加用リード線１２は、同じく前記支持部材３に固着
された中継部材１５Ｂを介して前記コネクタ１３の信号
伝達部１３Ｂに接続されている。さらに、前記本体ケー
ス１の内面側の上端部周囲にはシールド用の銅箔１６が
装着されている。１７は金属製の蓋を示す。
用リード線を示し、１３はコネクタを示す。前記アース
側リード線１１は、前記ディスクプレート４の一端に固
着された帯状の銀箔１４を介して上方へ延設され、前記
支持部材３に固着された中継部材１５Ａを介して前記コ
ネクタ１３のアース側に接続されている。また、前記信
号印加用リード線１２は、同じく前記支持部材３に固着
された中継部材１５Ｂを介して前記コネクタ１３の信号
伝達部１３Ｂに接続されている。さらに、前記本体ケー
ス１の内面側の上端部周囲にはシールド用の銅箔１６が
装着されている。１７は金属製の蓋を示す。
ここで、前記背面板５の作用について説明する。
まず、前記振動子５が励振されると、超音波は第３図の
ＡＩ、Ａｍにて示す如く目的物Ｚと背面材６の両方へ超
音波を伝播せしめる。今、背面材６内へ伝播された超音
波（縦波）Ａ２について考える。
ＡＩ、Ａｍにて示す如く目的物Ｚと背面材６の両方へ超
音波を伝播せしめる。今、背面材６内へ伝播された超音
波（縦波）Ａ２について考える。
この場合、当該背面材６の上端傾斜面６Ａが振動子５の
面に対しθ０の傾きを有しているとすると、この上端傾
斜面６Ａに対する超音波Ｔ（の入射角は法線りに対しθ
０となり、従って該上端傾斜面６Ａからの反射波（縦波
）Ｔｒの反射方向も法線りに対しθ０１ （但しθ０−
θ６ｒ）の方向となる。そして、前記上端傾斜面６Ａの
外部（図の上方）には粒状固形物の層９が設けられてい
ることから、当該上端傾斜面６Ａに到達した超音波Ｔ。
面に対しθ０の傾きを有しているとすると、この上端傾
斜面６Ａに対する超音波Ｔ（の入射角は法線りに対しθ
０となり、従って該上端傾斜面６Ａからの反射波（縦波
）Ｔｒの反射方向も法線りに対しθ０１ （但しθ０−
θ６ｒ）の方向となる。そして、前記上端傾斜面６Ａの
外部（図の上方）には粒状固形物の層９が設けられてい
ることから、当該上端傾斜面６Ａに到達した超音波Ｔ。
は、一部は縦波及び横波として当該粒状固形物へ透過し
、残りは同じく反射縦波および横波に変換され図の下方
へ向けて反射される。
、残りは同じく反射縦波および横波に変換され図の下方
へ向けて反射される。
このように、固体内の反射に際しては縦波とともに横波
が発生する。この場合、横波の音速は縦波の略２である
ことから、第３図における反射横波Ｓｒは前述した法線
りに対し βｒ”５ｉｎ−’（ｓｉｎθワ／２）となり、反射縦波
Ｔ１の反射方向θ１＝２０°とするとβｒ＃９．８５°
となり、前記法線りに近い方向となっている。しかしな
がら、この横波は、前述した縦波発振用の振動子５では
全く受信することのない性質の波であることから、当該
振動子５では仮に反射横波のレベルが大であっても何ら
これを感知しない。
が発生する。この場合、横波の音速は縦波の略２である
ことから、第３図における反射横波Ｓｒは前述した法線
りに対し βｒ”５ｉｎ−’（ｓｉｎθワ／２）となり、反射縦波
Ｔ１の反射方向θ１＝２０°とするとβｒ＃９．８５°
となり、前記法線りに近い方向となっている。しかしな
がら、この横波は、前述した縦波発振用の振動子５では
全く受信することのない性質の波であることから、当該
振動子５では仮に反射横波のレベルが大であっても何ら
これを感知しない。
更に横波の減衰については、材質によって異なるが全般
的に縦波の略１０倍の減衰量を示す（Ｂ刊工業新聞社、
超音波探傷法〈Ｓ４９年７月３０日発行）第７５５頁）
ことから、本来的に減衰の大なる素材からなる背面材６
内に発生した横波Ｓ４は、振動子５に至る迄に略完全に
吸収される。
的に縦波の略１０倍の減衰量を示す（Ｂ刊工業新聞社、
超音波探傷法〈Ｓ４９年７月３０日発行）第７５５頁）
ことから、本来的に減衰の大なる素材からなる背面材６
内に発生した横波Ｓ４は、振動子５に至る迄に略完全に
吸収される。
前記上端傾斜面６Ａにおける反射横波Ｔ、の発生レベル
は、背面材６の材質および入射縦波Ｔ。
は、背面材６の材質および入射縦波Ｔ。
の入射角θの大小により著しく異なる。本実施例では一
つの試みとして、θ＃１５°に設定されている。この場
合、反射横波Ｓｒはθ、 ＃７．４５°の方向に振動子
５に向かって反射するが、前述した縦波の約１０倍の減
衰量をもって急激に減衰する。
つの試みとして、θ＃１５°に設定されている。この場
合、反射横波Ｓｒはθ、 ＃７．４５°の方向に振動子
５に向かって反射するが、前述した縦波の約１０倍の減
衰量をもって急激に減衰する。
一方、反射縦波Ｔ１については、多くは反射横波Ｓｒの
発生によってそのレベルは半減し、同時に背面材６が前
述した如く減衰の大なる素材により形成されていること
から、同様にして著しく減衰することとなり、全体的に
は、超音波Ａ２の伝播方向の寸法が比較的小さい寸法で
あるにもかかわらず振動子５へ返ってくる背面材６内か
らの反射波Ｔｒは激減し、かかる点において振動子５に
て受信する雑音が著しく少なく設定されたものとなって
いる。
発生によってそのレベルは半減し、同時に背面材６が前
述した如く減衰の大なる素材により形成されていること
から、同様にして著しく減衰することとなり、全体的に
は、超音波Ａ２の伝播方向の寸法が比較的小さい寸法で
あるにもかかわらず振動子５へ返ってくる背面材６内か
らの反射波Ｔｒは激減し、かかる点において振動子５に
て受信する雑音が著しく少なく設定されたものとなって
いる。
また、前記粒状固形物９側へ透過伝播する縦波Ｔｔは、
その性質上、前述した反射縦波Ｔｒと同様に疎密波であ
ることから境界面での含有空気層によりほとんど反射さ
れ、透過伝播する成分は少ない。このため、一度透過伝
播した縦波成分の内から反射伝播してくる成分は著しく
小さい。一方、横波Ｓｔについては、その性質上、前述
した反射＝９− 横波Ｓ、、と同様に剪断波であることから粒状固形物と
してのコルク部材９内へは比較的伝播し易い。
その性質上、前述した反射縦波Ｔｒと同様に疎密波であ
ることから境界面での含有空気層によりほとんど反射さ
れ、透過伝播する成分は少ない。このため、一度透過伝
播した縦波成分の内から反射伝播してくる成分は著しく
小さい。一方、横波Ｓｔについては、その性質上、前述
した反射＝９− 横波Ｓ、、と同様に剪断波であることから粒状固形物と
してのコルク部材９内へは比較的伝播し易い。
この場合、横波自体は前述した如く比較的減衰大なる性
質を有していることから、本来的に減衰の大きいコルク
部材９内では直ちに減衰を開始し、反射伝播してくる成
分は皆無に近い。従って、前記コルク部材９は、全体的
に超音波エネルギを能率よく吸収する機能を備えたもの
となっており、これがため前述した反射超音波Ｔ、、Ｓ
、のエネルギ成分を大幅に少なくすることができるよう
になっている。ここで、θ１．β１は、反射の法則より
、θ、＝θ４＝θ、β、＝β、である。
質を有していることから、本来的に減衰の大きいコルク
部材９内では直ちに減衰を開始し、反射伝播してくる成
分は皆無に近い。従って、前記コルク部材９は、全体的
に超音波エネルギを能率よく吸収する機能を備えたもの
となっており、これがため前述した反射超音波Ｔ、、Ｓ
、のエネルギ成分を大幅に少なくすることができるよう
になっている。ここで、θ１．β１は、反射の法則より
、θ、＝θ４＝θ、β、＝β、である。
〔第２実施例〕
次に、第２実施例を第４図に基づいて説明する。
この実施例は、前述した第１実施例におけるコルク部材
９を同図に示す如く背面材６の上端部周囲にまで充填し
たものである。その他の構成は前述した第１実施例と同
一となっている。
９を同図に示す如く背面材６の上端部周囲にまで充填し
たものである。その他の構成は前述した第１実施例と同
一となっている。
このようにしても前述した第１実施例と同様の作用効果
を有するほか、とくに側面周囲に向かう＝１０− 伝播波を能率よく吸収し得るという利点がある。
を有するほか、とくに側面周囲に向かう＝１０− 伝播波を能率よく吸収し得るという利点がある。
〔第３実施例〕
次に、第３実施例を第５図に基づいて説明する。
この実施例はミ前述した第２実施例における背面材６の
傾斜面６Ａの形状を、その中央部が凹状をなす逆円錐状
の傾斜面６Ａとしたものである。
傾斜面６Ａの形状を、その中央部が凹状をなす逆円錐状
の傾斜面６Ａとしたものである。
その他の構成は前述した第２実施例と同一となっている
。
。
このようにしても前述した第２実施例と同様の作用効果
を有するほか、同図における傾斜面６Ａからの反射波Ｓ
ｒが外周方向へ均一に分散されるため超音波の減衰効果
が更に促進されるという利点を有している。
を有するほか、同図における傾斜面６Ａからの反射波Ｓ
ｒが外周方向へ均一に分散されるため超音波の減衰効果
が更に促進されるという利点を有している。
なお、上記各実施例において、粒状固形物として特にコ
ルク部材９を用いた場合について例示したが、本発明で
は必ずしもこれに限定されず同等に機能するものであれ
ば粒状固形物として他の部材を用いたものであってもよ
い。
ルク部材９を用いた場合について例示したが、本発明で
は必ずしもこれに限定されず同等に機能するものであれ
ば粒状固形物として他の部材を用いたものであってもよ
い。
以上のように、本発明によると、超音波振動子とこの超
音波振動子を固着した背面材とを備えた超音波探触子に
おいて、前記背面材における振動子固着面の反対側の面
を略均一な傾斜面とするとともに、この傾斜面の全域に
、所定の厚さの層をなして粒状固形物を配設し固定する
という構成を採用したので、前記背面材側からの縦波成
分の反射波が著しく小さくなり、従ってその分だけ雑音
の検出量が少なくなり、これがため被検査物内の欠陥か
らの反射エコーを鮮明に検出することができ、前述した
如く粒状固形物および背面材が機能するので、全体的に
小型化することができる。
音波振動子を固着した背面材とを備えた超音波探触子に
おいて、前記背面材における振動子固着面の反対側の面
を略均一な傾斜面とするとともに、この傾斜面の全域に
、所定の厚さの層をなして粒状固形物を配設し固定する
という構成を採用したので、前記背面材側からの縦波成
分の反射波が著しく小さくなり、従ってその分だけ雑音
の検出量が少なくなり、これがため被検査物内の欠陥か
らの反射エコーを鮮明に検出することができ、前述した
如く粒状固形物および背面材が機能するので、全体的に
小型化することができる。
第１図は本発明の第１実施例を示す断面図、第２図は第
１図の正面図、第３図は第１図中の背面材部分の機能を
示す説明図、第４図は第２実施例を示す断面図、第５図
は第３実施例を示す断面図である。 ５−−−−−一超音波振動子、６−−−−−−−背面材
、６ Ａ −−−−−−反対側の傾斜面、９−−−−−
−一粒状固形物としての粒状コルク部材。 ： ：碌： ＬＯＣ■Ω■ ｒＱ − 第３図 第５図 １ｏ １７ 楔□ ■ 、、、、 −、、、、ＩＡ
１図の正面図、第３図は第１図中の背面材部分の機能を
示す説明図、第４図は第２実施例を示す断面図、第５図
は第３実施例を示す断面図である。 ５−−−−−一超音波振動子、６−−−−−−−背面材
、６ Ａ −−−−−−反対側の傾斜面、９−−−−−
−一粒状固形物としての粒状コルク部材。 ： ：碌： ＬＯＣ■Ω■ ｒＱ − 第３図 第５図 １ｏ １７ 楔□ ■ 、、、、 −、、、、ＩＡ
Claims (4)
- （１）、超音波振動子とこの超音波振動子を固着した背
面材とを備えた超音波探触子において、前記背面材にお
ける振動子固着面の反対側の面を略均一な傾斜面とする
とともに、この傾斜面の全域に、所定の厚さの層をなし
て粒状固形物を配設し固定したことを特徴とする超音波
探触子。 - （２）、前記傾斜面を、一方から他方に向かう一様な傾
斜面としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の超音波探触子。 - （３）、前記傾斜面を、中央部が凹部をなす逆円錐状の
傾斜面としたことを特徴とした特許請求の範囲第１項の
超音波探触子。 - （４）、前記粒状固形物をコルク部材により形成したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波探触
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59220930A JPS6199860A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59220930A JPS6199860A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 超音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199860A true JPS6199860A (ja) | 1986-05-17 |
Family
ID=16758779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59220930A Pending JPS6199860A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6199860A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019032168A (ja) * | 2017-08-04 | 2019-02-28 | 株式会社東芝 | 超音波トランスデューサ、超音波探傷装置及び超音波探傷方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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