JPS6199924A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6199924A JPS6199924A JP59219526A JP21952684A JPS6199924A JP S6199924 A JPS6199924 A JP S6199924A JP 59219526 A JP59219526 A JP 59219526A JP 21952684 A JP21952684 A JP 21952684A JP S6199924 A JPS6199924 A JP S6199924A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- recording medium
- magnetic
- film
- coo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する磁気記録媒体に関する
。
。
従来例の構成とその問題点
近年磁気記録の高密度化の要求の高まりと共に、従来の
長手記録にない特長を有する垂直記録方式が提案され、
検討されている。
長手記録にない特長を有する垂直記録方式が提案され、
検討されている。
垂直記録方式は、テープ、ディスク等の磁気記録媒体の
走行方向と垂直方向、即ち磁気記録層の厚み方向に磁化
容易軸をもった磁気記録媒体を使用し、磁気記録媒体を
厚さ方向に磁化しかつこの方向に磁化を残留させるよう
構成されたもので、こうすることで自串減磁界が短波長
になる程小さくでき、結果的に高密度化が可能になるも
のとして注目されるものである。
走行方向と垂直方向、即ち磁気記録層の厚み方向に磁化
容易軸をもった磁気記録媒体を使用し、磁気記録媒体を
厚さ方向に磁化しかつこの方向に磁化を残留させるよう
構成されたもので、こうすることで自串減磁界が短波長
になる程小さくでき、結果的に高密度化が可能になるも
のとして注目されるものである。
第１図に構成の一例を示したように、高分子フィルム等
の非磁性基板２上に軟磁性層３とＧｏ −Ｏｒ等の垂直
磁化膜４を積層したものが磁気ディスク又は磁気テープ
１として用いられる。
の非磁性基板２上に軟磁性層３とＧｏ −Ｏｒ等の垂直
磁化膜４を積層したものが磁気ディスク又は磁気テープ
１として用いられる。
かかる媒体構成を量産の面から眺めると、Ｃｏ −Ｏｒ
垂直磁化膜は、性能上からは極めて膜形成速度の小さ
いスパッタリング法で得られる膜が適しており、量産性
で優れる電子ビーム蒸着法にて得ることのできるものは
、ＣｏとＣｒの蒸気圧が異なるため、蒸着制御がはん雑
になる点と、性能も十分とは言えず、特に高抗磁力番得
るのに、基板温度を高温にする必要がある点も実用化の
隘路となっている。
垂直磁化膜は、性能上からは極めて膜形成速度の小さ
いスパッタリング法で得られる膜が適しており、量産性
で優れる電子ビーム蒸着法にて得ることのできるものは
、ＣｏとＣｒの蒸気圧が異なるため、蒸着制御がはん雑
になる点と、性能も十分とは言えず、特に高抗磁力番得
るのに、基板温度を高温にする必要がある点も実用化の
隘路となっている。
最近になって、長手記録で用いられているＧＯ−Ｏ，Ｇ
ｏ −Ｎｉ−０系の斜方蒸着膜と類似の製法で、基板温
度をそれ程高くしなくても高抗磁力が得られるＧｏ −
’Ｏ、Ｃｏ −Ｎｉ−０垂直磁化膜がＣｏ −Ｃｒに代
シ注目されている。
ｏ −Ｎｉ−０系の斜方蒸着膜と類似の製法で、基板温
度をそれ程高くしなくても高抗磁力が得られるＧｏ −
’Ｏ、Ｃｏ −Ｎｉ−０垂直磁化膜がＣｏ −Ｃｒに代
シ注目されている。
しかし、垂直磁化可能な膜をＧｏ−０，Ｃｏ−Ｎニー〇
膜で得ることは、前記したように長手記録用の磁気テー
プの生産技術の裏付けがあるので、比較的容易であるが
、逆に性能面からは、Ｇｏ −Ｏｒスパッタ膜に比較す
ると不十分である。
膜で得ることは、前記したように長手記録用の磁気テー
プの生産技術の裏付けがあるので、比較的容易であるが
、逆に性能面からは、Ｇｏ −Ｏｒスパッタ膜に比較す
ると不十分である。
と９わけ信号対雑音面（Ｓ／Ｎ ）が実用上必要な値に
遠く及ばず、特に高密度記録時の雑音は改良を必要とす
る。
遠く及ばず、特に高密度記録時の雑音は改良を必要とす
る。
発明の目的
本発明は上記事情に鑑みなされたものでＧｏ−０又はＱ
□ −Ｎｉ −０垂直磁化膜を磁気記録層とする磁気記
録媒体の高密度記録時の雑音を改良し、Ｓ／Ｎの優れた
垂直磁気記録を実現することを目。
□ −Ｎｉ −０垂直磁化膜を磁気記録層とする磁気記
録媒体の高密度記録時の雑音を改良し、Ｓ／Ｎの優れた
垂直磁気記録を実現することを目。
的とするものである。
発明の構成
本発明の磁気記録媒体はＧｏ−０，又はＧｏ −Ｎｉ−
０系の垂直磁化膜を磁気記録層とし、表層部のＣｏＯ含
有率が１０％以下であることを特徴とし、高密度記録時
のＳ／Ｎが良好なものである。
０系の垂直磁化膜を磁気記録層とし、表層部のＣｏＯ含
有率が１０％以下であることを特徴とし、高密度記録時
のＳ／Ｎが良好なものである。
実施例の説明
以下図面を参照しながら本発明を説明する。
第２図は本発明の磁気記録媒体の要部部分拡大断面図で
ある。
ある。
第２図で、５は垂直磁化膜を構成する微結晶粒子で、薄
膜の厚みをｔ。とすると、ここでいう表層部とは０．２
ｔｏまでの表面側の部分６をさしている。７は基板又
は軟磁性層である。
膜の厚みをｔ。とすると、ここでいう表層部とは０．２
ｔｏまでの表面側の部分６をさしている。７は基板又
は軟磁性層である。
表層部に含まれるＣｏＯの体積比率で１０％以下である
ことの臨界的意義は、後述するように雑音レベルの規制
からくるもので、０．２ ｔｏが０．０１μｍから０．
１ μｍの範囲に於て確認されるものである。
ことの臨界的意義は、後述するように雑音レベルの規制
からくるもので、０．２ ｔｏが０．０１μｍから０．
１ μｍの範囲に於て確認されるものである。
Ｃｏ Ｏの体積比率をこの範囲にするには、（ｌｉｏ（
ＯＨ）２． Ｇａ２Ｏ３で表面保護層を主として構成す
るようにすれば良い。
ＯＨ）２． Ｇａ２Ｏ３で表面保護層を主として構成す
るようにすれば良い。
特にＧａ５Ｏ４で構成した媒体は耐腐食性の面で改良さ
れる利点がある。
れる利点がある。
雑音の発生源のうちｃｏとＧｏ Ｏの強磁性９反強磁性
の相互作用の大小によシ磁気的ムラが生じるために起る
成分が、ＣｏＯが１０％以下になると殆んど実用上差し
支えなくなるのに対し、１０％以上になると、記録波長
が０．４μｍ以下で、２〜３ｄＢ増加するので、１０％
以下にＣｏＯを抑制するのが好ましい。
の相互作用の大小によシ磁気的ムラが生じるために起る
成分が、ＣｏＯが１０％以下になると殆んど実用上差し
支えなくなるのに対し、１０％以上になると、記録波長
が０．４μｍ以下で、２〜３ｄＢ増加するので、１０％
以下にＣｏＯを抑制するのが好ましい。
本発明の磁気記録媒体を製造するには、例えば高分子基
板を円筒状キャンに沿わせて巻取りながら、はぼ垂直入
射となるような入射角成分のＣ。
板を円筒状キャンに沿わせて巻取りながら、はぼ垂直入
射となるような入射角成分のＣ。
又はＣｏ −Ｎｉ蒸気を差し向け、その時、酸素又はオ
ゾンを真空系内に導入して得たＧｏ−０、又はＧｏ −
Ｎｉ −０垂直磁化膜を、酸素雰囲気で４０°Ｃ〜８０
’Ｃで長時間、例えば６４時間から１２０時間エージン
グする方法が一例として挙げられる。
ゾンを真空系内に導入して得たＧｏ−０、又はＧｏ −
Ｎｉ −０垂直磁化膜を、酸素雰囲気で４０°Ｃ〜８０
’Ｃで長時間、例えば６４時間から１２０時間エージン
グする方法が一例として挙げられる。
以下さらに具体的に一実施例について説明する。
（実施例）
厚み１１μｍのポリアミド基板を６０”／Ｃｄ。
０．３ Ｔｏｒｒで酸素グロー放電処理し、高周波スパ
ッタリング法で厚さ０．３９μｍのパーマロイ薄膜（透
磁率７６０）を形成し、その上に、各種のＣｏＯ含有率
を有する０、１５μｍのＣｏＯ垂直磁化膜を形成し、Ｓ
／Ｎを片側配置の垂直ヘッドで相対比較した。
ッタリング法で厚さ０．３９μｍのパーマロイ薄膜（透
磁率７６０）を形成し、その上に、各種のＣｏＯ含有率
を有する０、１５μｍのＣｏＯ垂直磁化膜を形成し、Ｓ
／Ｎを片側配置の垂直ヘッドで相対比較した。
垂直磁化膜の形成条件は、基板温度：Ｏ’Ｃ〜３４℃、
酸素分圧： Ｉ Ｘｌ ０”ＴＯｒｒ〜４×１０−’Ｔ
ｏｒｒ 、 Ｇｏ蒸着速度：１４ｏ入／ ｓｅａ 〜１
９００人／ｓｅａ、入射角＝６度以内で選び、ＣｏＯ含
有率を変化させるための後処理は、３５°Ｃ８８％ＲＨ
で４０時間から１２０時間のエージング処理と、１３．
１５６Ｍ）ｌｚでｅ Ｗ／ｃｄ 〜４４ Ｗ／ｃ４ 、
ｏ２ｏ、ｏｅ〜ｏ、４Ｔｏｒｒの高周波グロー放電処
理の２種類のいずれかを用いた。ＣＯＯ含有率は、Ｘ線
電子分光分析によシ調べた。
酸素分圧： Ｉ Ｘｌ ０”ＴＯｒｒ〜４×１０−’Ｔ
ｏｒｒ 、 Ｇｏ蒸着速度：１４ｏ入／ ｓｅａ 〜１
９００人／ｓｅａ、入射角＝６度以内で選び、ＣｏＯ含
有率を変化させるための後処理は、３５°Ｃ８８％ＲＨ
で４０時間から１２０時間のエージング処理と、１３．
１５６Ｍ）ｌｚでｅ Ｗ／ｃｄ 〜４４ Ｗ／ｃ４ 、
ｏ２ｏ、ｏｅ〜ｏ、４Ｔｏｒｒの高周波グロー放電処
理の２種類のいずれかを用いた。ＣＯＯ含有率は、Ｘ線
電子分光分析によシ調べた。
尚記録ビットは０．２μｍ×１２μｍである。
以 下 余 白
尚、比較のために、０．１５μｍのＣｏ Ｃｒで垂直磁
化膜を〔垂直抗磁力ｇｏｏ（Ｏｅ）、飽和磁束密度４０
００（Ｇ）：］構成して得たテープのＳ／Ｎは、−ｏ、
４（ｄＢ）であった。
化膜を〔垂直抗磁力ｇｏｏ（Ｏｅ）、飽和磁束密度４０
００（Ｇ）：］構成して得たテープのＳ／Ｎは、−ｏ、
４（ｄＢ）であった。
このデータ及び上表の結果より、本発明の磁気記録媒体
は、高密度記録再生でのＳ／Ｎが極めて良好である。
は、高密度記録再生でのＳ／Ｎが極めて良好である。
又主としてＣＯ３Ｏ４で表層部の保護層が形成された媒
体は、４０°Ｃ９０％ＲＨ，６０’ＣＢ５％ＲＨの環境
に２ケ月保存しても、前後で総磁束の変化は殆んどみら
れない点も有利である。
体は、４０°Ｃ９０％ＲＨ，６０’ＣＢ５％ＲＨの環境
に２ケ月保存しても、前後で総磁束の変化は殆んどみら
れない点も有利である。
尚、本発明は、磁気テープはもとよシ、磁気ディスクに
於ても全く同様の効果を発揮することは勿論であるし、
他の材料でもほぼ同様の効果のあることを確認している
。
於ても全く同様の効果を発揮することは勿論であるし、
他の材料でもほぼ同様の効果のあることを確認している
。
発明の効果
以上のように、本発明の磁気記録媒体は、表層部のＣｏ
Ｏ含有率を１０％以下にしたＧｏ−０，又はＣｏ −Ｎ
ｉ −０系垂直磁化膜を磁気記録層とすることでＳ／Ｎ
を高密度記録再生時に改良できるものでその実用的効果
は大きい。
Ｏ含有率を１０％以下にしたＧｏ−０，又はＣｏ −Ｎ
ｉ −０系垂直磁化膜を磁気記録層とすることでＳ／Ｎ
を高密度記録再生時に改良できるものでその実用的効果
は大きい。
第１図は垂直記録用の磁気記録媒体の断面図、第２図は
本発明の磁気記録媒体の部分拡大断面図である。 ５・・・・・・垂直磁化膜を構成する微結晶、６・・・
・・・表層部分。 代理人の氏名 去理士 中 尾 敏 男 はが１名第１
図 θ、？ｔ。
本発明の磁気記録媒体の部分拡大断面図である。 ５・・・・・・垂直磁化膜を構成する微結晶、６・・・
・・・表層部分。 代理人の氏名 去理士 中 尾 敏 男 はが１名第１
図 θ、？ｔ。
Claims (1)
- Ｃｏ−Ｏ又はＣｏ−Ｎｉ−Ｏ系の垂直磁化膜を磁気記録
層とし、表層部のＣｏＯ含有率が１０％以下であること
を特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59219526A JPS6199924A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59219526A JPS6199924A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199924A true JPS6199924A (ja) | 1986-05-19 |
Family
ID=16736858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59219526A Pending JPS6199924A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6199924A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58189823A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-05 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JPS59162622A (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-13 | Ulvac Corp | 垂直磁気記録体並にその製造法 |
| JPS59163810A (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-14 | Ulvac Corp | 垂直磁気記録体並びにその製造法 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP59219526A patent/JPS6199924A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58189823A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-05 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JPS59162622A (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-13 | Ulvac Corp | 垂直磁気記録体並にその製造法 |
| JPS59163810A (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-14 | Ulvac Corp | 垂直磁気記録体並びにその製造法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5815343A (en) | Magnetic recording medium, process for producing the same and magnetic recording system | |
| JP3090128B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP3099790B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| US5650889A (en) | Magnetic recording medium containing heavy rare gas atoms, and a magnetic transducing system using the medium | |
| JPH01158618A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| US6686071B2 (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same | |
| JP2991672B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH10228620A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP3359706B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2004127502A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3050305B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JP2002324313A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6199922A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3520751B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法及びそれを使用した記憶装置 | |
| JPH08115516A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 | |
| JP3050421B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0737237A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記録装置 | |
| JPH0831639A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP2002063712A (ja) | 磁気記録媒体及びこれを用いた磁気記録装置 | |
| JPH08138228A (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法および磁気記録装置 | |
| JPH01173312A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6174134A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH06103555A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH1040527A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6166219A (ja) | 磁気記録媒体 |