JPS6199959U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6199959U JPS6199959U JP18464684U JP18464684U JPS6199959U JP S6199959 U JPS6199959 U JP S6199959U JP 18464684 U JP18464684 U JP 18464684U JP 18464684 U JP18464684 U JP 18464684U JP S6199959 U JPS6199959 U JP S6199959U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- section
- electromagnetic lens
- high vacuum
- lens
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に基づく一実施例を示す図、第
２図は気体の熱伝導率と真空度との関係を示すグ
ラフである。 １……フランジ、２……上ポールピース、３…
…下ポールピース、４……レンズコイル、５……
コイルケース、６……管、７……偏向電極、８…
…円筒支持体、９……孔、１０……パイプ、１１
……ロータリポンプ、１２……真空計、１３……
バルブ、１４……制御回路。
２図は気体の熱伝導率と真空度との関係を示すグ
ラフである。 １……フランジ、２……上ポールピース、３…
…下ポールピース、４……レンズコイル、５……
コイルケース、６……管、７……偏向電極、８…
…円筒支持体、９……孔、１０……パイプ、１１
……ロータリポンプ、１２……真空計、１３……
バルブ、１４……制御回路。
Claims (1)
- 電子線通路を含む高真空部外に電磁レンズを配
置し、該電磁レンズのコイル部を冷却すると共に
該電磁レンズ部を該高真空部と独立に排気するよ
うにした電子線装置において、該電磁レンズ部の
真空度を略１Ｔｏｒｒに維持する手段を設けたこ
とを特徴とする電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18464684U JPS6199959U (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18464684U JPS6199959U (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199959U true JPS6199959U (ja) | 1986-06-26 |
Family
ID=30742131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18464684U Pending JPS6199959U (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6199959U (ja) |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP18464684U patent/JPS6199959U/ja active Pending