JPS62102162A - 速度・位置センサ - Google Patents
速度・位置センサInfo
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- JPS62102162A JPS62102162A JP24130085A JP24130085A JPS62102162A JP S62102162 A JPS62102162 A JP S62102162A JP 24130085 A JP24130085 A JP 24130085A JP 24130085 A JP24130085 A JP 24130085A JP S62102162 A JPS62102162 A JP S62102162A
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- magnetic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
本発明は、速度・位置センサに関し、特に導体や半導体
等の導電性被検出物体の移動速度および位置を非接触で
電気的に検知する装置に関する。
等の導電性被検出物体の移動速度および位置を非接触で
電気的に検知する装置に関する。
［発明の背景］
従来、導電性被検出物体の移動速度を非接触で検知する
いわゆる渦電流形の速度センサとして例えば本件出願人
による特願昭６０−６３３８９号に開示されたちのが知
られている。この速度センサは簡略な構成で導電性被検
出物体の移動速度を直線炸良く測定することが可能であ
り、しかも直流励磁方式であるため、移動導体励磁用で
ある主磁束の影響を受けず高感度かつ高精度で速度の測
定を行なうことができるという利点を有していた。
いわゆる渦電流形の速度センサとして例えば本件出願人
による特願昭６０−６３３８９号に開示されたちのが知
られている。この速度センサは簡略な構成で導電性被検
出物体の移動速度を直線炸良く測定することが可能であ
り、しかも直流励磁方式であるため、移動導体励磁用で
ある主磁束の影響を受けず高感度かつ高精度で速度の測
定を行なうことができるという利点を有していた。
しかしながら、このような従来形の速度センサにおいて
は、移動導体のひずみによるセンサと該導体間の距離の
変化が測定値に影響を与えることがあり、さらに高精度
の測定を行なうためには移８５４体の加工精度を上げる
必要があった。
は、移動導体のひずみによるセンサと該導体間の距離の
変化が測定値に影響を与えることがあり、さらに高精度
の測定を行なうためには移８５４体の加工精度を上げる
必要があった。
［発明の目的１
本発明の目的は、上述の従来形における問題点に鑑み、
被検出物体のひずみによる影響を受けることなく高精度
で導電性被検出物体の移動速度および位置を計測可能と
した渦電流形速度・位置センサを提供することにある。
被検出物体のひずみによる影響を受けることなく高精度
で導電性被検出物体の移動速度および位置を計測可能と
した渦電流形速度・位置センサを提供することにある。
［発明の概要１
上記目的を達成するため本発明においては、導電性被検
出物体上の移動方向に沿って順に第１゜第２．第３の点
を該移動方向とは交叉方向にそれぞれ正、逆、正（また
は逆、正、逆）方向に直流励磁し、上記被検出物体が磁
束に交叉して移動することにより該物体に生ずる渦電流
をこの渦電流によって生ずる磁束として検出する２つの
センサ装置を、該被検出物体をはさみ互いに対称の位置
に配置し、これらの各センサ装置による該磁束の検出値
の差成分および和成分に基づき速度および位置を検知す
ることを特徴とする。
出物体上の移動方向に沿って順に第１゜第２．第３の点
を該移動方向とは交叉方向にそれぞれ正、逆、正（また
は逆、正、逆）方向に直流励磁し、上記被検出物体が磁
束に交叉して移動することにより該物体に生ずる渦電流
をこの渦電流によって生ずる磁束として検出する２つの
センサ装置を、該被検出物体をはさみ互いに対称の位置
に配置し、これらの各センサ装置による該磁束の検出値
の差成分および和成分に基づき速度および位置を検知す
ることを特徴とする。
［実施例の説明］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の１実施例に係わる速度位置センサの概
略の構成を示す。同図（ａ ）に示すように、導電性被
検出物体１をはさんで略対称の位置に２個のＥ型コア２
．３が設けられており、各Ｅ型コア２．３の中央脚４，
５にそれぞれコイル６．７が巻回されている。これらの
コイル６．７に矢印で示す方向に直流励磁電流ｆａｘを
流すと、コア２゜３の中央脚４．５および各コア２．３
の側脚に相互に逆向きの直流磁束φ１およびφ２が図示
のごとく発生し被検出物体１を貫通する。そして、第１
図（ｂ）に示されるように、これらの直流磁束φ１．φ
２のために被検出物体には、ファラデーの右手の法則で
表わされる起電力すなわち磁束および移動の方向に直角
でその移動速度Ｖｅに比例する起電力が発生する。この
起電力および被検出物体を構成する導体の導電率で定ま
る過電流Ｉｅｌ、Ｉｆ！２が該被検出物体に流れ、これ
らの過電流１ｅ１．Ｉｅ２によって図に示すような位置
に磁界−φｖｅおよびφｖｅが発生する。この磁界−φ
ｖｅ、φＶｅの強さは被検出物体１の移動速度Ｖｅに比
例しており、何らかの方法で検出すれば該速度等を検出
することができる。
略の構成を示す。同図（ａ ）に示すように、導電性被
検出物体１をはさんで略対称の位置に２個のＥ型コア２
．３が設けられており、各Ｅ型コア２．３の中央脚４，
５にそれぞれコイル６．７が巻回されている。これらの
コイル６．７に矢印で示す方向に直流励磁電流ｆａｘを
流すと、コア２゜３の中央脚４．５および各コア２．３
の側脚に相互に逆向きの直流磁束φ１およびφ２が図示
のごとく発生し被検出物体１を貫通する。そして、第１
図（ｂ）に示されるように、これらの直流磁束φ１．φ
２のために被検出物体には、ファラデーの右手の法則で
表わされる起電力すなわち磁束および移動の方向に直角
でその移動速度Ｖｅに比例する起電力が発生する。この
起電力および被検出物体を構成する導体の導電率で定ま
る過電流Ｉｅｌ、Ｉｆ！２が該被検出物体に流れ、これ
らの過電流１ｅ１．Ｉｅ２によって図に示すような位置
に磁界−φｖｅおよびφｖｅが発生する。この磁界−φ
ｖｅ、φＶｅの強さは被検出物体１の移動速度Ｖｅに比
例しており、何らかの方法で検出すれば該速度等を検出
することができる。
そこで、この実施例においては第１図（Ｃ）および（ｄ
）に示すように、高透磁率の磁性材料例えばアライド
ケミカル社製で商品名が２８２６Ｍ ［３のアモルファ
スリボンを用いたトロイダルコア（磁路長ノー ６．３
ｃｍ、断面積３ ＝ ０，０１２５ ｃｔｉ ） ２１
をＥ型コア２の中央脚４の先端部に設【プ、このｉ・ロ
イダルコア２１に３つのコイル２２．２３．２４を巻回
したものを磁束検出器２５とし、同様の磁束検出器をＦ
型コア３の側にも配置している。なお、トロイダルコア
２１は、該コア２１が磁界−φｖｅおよびφＶＯの中心
部付近を通るように配置されている。これにより、コア
２１は磁Ｗ−φｖｅ、φｖｅによって磁化される。コイ
ル２２．２３．２４はこの磁化の強さを検出するための
ものである。
）に示すように、高透磁率の磁性材料例えばアライド
ケミカル社製で商品名が２８２６Ｍ ［３のアモルファ
スリボンを用いたトロイダルコア（磁路長ノー ６．３
ｃｍ、断面積３ ＝ ０，０１２５ ｃｔｉ ） ２１
をＥ型コア２の中央脚４の先端部に設【プ、このｉ・ロ
イダルコア２１に３つのコイル２２．２３．２４を巻回
したものを磁束検出器２５とし、同様の磁束検出器をＦ
型コア３の側にも配置している。なお、トロイダルコア
２１は、該コア２１が磁界−φｖｅおよびφＶＯの中心
部付近を通るように配置されている。これにより、コア
２１は磁Ｗ−φｖｅ、φｖｅによって磁化される。コイ
ル２２．２３．２４はこの磁化の強さを検出するための
ものである。
第２図は、第１図（ｄ ）に示される磁束検出器２５等
に接続される検出回路の構成を示す。同図の回路は、パ
ルス検出器３７、サンプルホールド回路３２、３３、加
算器３４．３５．３６．３７、ゲイン調整器３８、ドラ
イバ３９．４０、および電流検出用の抵抗Ｒｅｘ。
に接続される検出回路の構成を示す。同図の回路は、パ
ルス検出器３７、サンプルホールド回路３２、３３、加
算器３４．３５．３６．３７、ゲイン調整器３８、ドラ
イバ３９．４０、および電流検出用の抵抗Ｒｅｘ。
Ｒｄを具備する。
次に、第３図を参照して以上の構成を有する速度位置セ
ンサの動作を説明する。第２図の回路における加惇器３
６の１つの入力に例えば正負対称の三角波信号１ｅＸ、
ｒが印加される。この三角波信号の周波数は例えば１０
ｋＨｚとされる。これによりドライバ３９を介して検出
器２５のコイル２２に三角波電流１ｅｘが印加される。
ンサの動作を説明する。第２図の回路における加惇器３
６の１つの入力に例えば正負対称の三角波信号１ｅＸ、
ｒが印加される。この三角波信号の周波数は例えば１０
ｋＨｚとされる。これによりドライバ３９を介して検出
器２５のコイル２２に三角波電流１ｅｘが印加される。
そして、コイル２３に誘起される電圧ｅｄがパルス検出
器３１によって検出され、該電圧ｅｄの正パルスおよび
負パルスに応じてそれぞれサンプルホールド回路３２お
よび３３が駆動され、各パルスの位置における三角波電
流１ｅｘの値が抽出保持される。各サンプルホールド回
路３２゜３３からの入力信号が加搾器３４によって加算
され、コア２１内の磁束の正負非対称性に応じた誤差信
号にφｄが検出される。この誤差信号にφｄが加算器３
５およびゲイン調節器３８および加算器３７を介してド
ライバ４０に印加され、補償電流ＩＣがコイル２４に供
給、される。これにより、コア２１内の磁束φｄの正負
非対称性が補償される。そして、］コイル４に流される
補償電流１ｃによって抵抗Ｒｄに生ずる電圧を検出し、
この電圧Ｖｅ 、ａｅｔが被検出物体の渦電流によって
コア２１内に生ずる磁束φｄに対応するセンサ出力電圧
となる。
器３１によって検出され、該電圧ｅｄの正パルスおよび
負パルスに応じてそれぞれサンプルホールド回路３２お
よび３３が駆動され、各パルスの位置における三角波電
流１ｅｘの値が抽出保持される。各サンプルホールド回
路３２゜３３からの入力信号が加搾器３４によって加算
され、コア２１内の磁束の正負非対称性に応じた誤差信
号にφｄが検出される。この誤差信号にφｄが加算器３
５およびゲイン調節器３８および加算器３７を介してド
ライバ４０に印加され、補償電流ＩＣがコイル２４に供
給、される。これにより、コア２１内の磁束φｄの正負
非対称性が補償される。そして、］コイル４に流される
補償電流１ｃによって抵抗Ｒｄに生ずる電圧を検出し、
この電圧Ｖｅ 、ａｅｔが被検出物体の渦電流によって
コア２１内に生ずる磁束φｄに対応するセンサ出力電圧
となる。
そして、磁束φｄがゼロの場合は、検出用コイル２３に
誘起する電圧ｅｄは、励磁電流１ｅｘとコア２１の磁化
特性に基づいて生じるが、この時のコア２１の磁化特性
曲線は正負対称となる。したがって、第３図（ａ ）に
示すように、検出電圧δｄは、一定間隔で交互に正およ
び負のパルスが生ずるものとなる。したがって、これら
の正および負のパルスによって三角波電流１ｅｘをサン
プルホールドした電流は絶対値が互いに等しいものとな
り誤差信号にφｄがＯとなる。したがって検出信号Ｖｅ
。
誘起する電圧ｅｄは、励磁電流１ｅｘとコア２１の磁化
特性に基づいて生じるが、この時のコア２１の磁化特性
曲線は正負対称となる。したがって、第３図（ａ ）に
示すように、検出電圧δｄは、一定間隔で交互に正およ
び負のパルスが生ずるものとなる。したがって、これら
の正および負のパルスによって三角波電流１ｅｘをサン
プルホールドした電流は絶対値が互いに等しいものとな
り誤差信号にφｄがＯとなる。したがって検出信号Ｖｅ
。
ｄ１３ｔもＯとなる。
次に、磁束φｄがゼロでない場合、コア２１はこの直流
磁束φｄににってバイアスされる。その結果、コア２１
の飽和状態が正負アンバランスとなり、検出用コイル２
３に生じる電圧ｅｄは正および負のパルスが交互に異な
る間隔で生ずる信号となる。したがって加算器３４から
出力される誤差信号にφｄは、Ｏとならず、コイル２４
にはこの誤差信号に対応する電流１ｃが流される。この
電流１ｃはコア２１内の磁束のバイアスの方向を相殺す
るような向きおよび大きさとされるから、この電流ＩＣ
は上記磁束φｄに比例したものとなる。したがって、こ
の電流ＩＣを抵抗Ｒｄによって検出することにより、検
出信号Ｖ ｅ、ｄａｔを得ればこの検出信号が例えば被
検出物体１の移動速度に対応することとなる。
磁束φｄににってバイアスされる。その結果、コア２１
の飽和状態が正負アンバランスとなり、検出用コイル２
３に生じる電圧ｅｄは正および負のパルスが交互に異な
る間隔で生ずる信号となる。したがって加算器３４から
出力される誤差信号にφｄは、Ｏとならず、コイル２４
にはこの誤差信号に対応する電流１ｃが流される。この
電流１ｃはコア２１内の磁束のバイアスの方向を相殺す
るような向きおよび大きさとされるから、この電流ＩＣ
は上記磁束φｄに比例したものとなる。したがって、こ
の電流ＩＣを抵抗Ｒｄによって検出することにより、検
出信号Ｖ ｅ、ｄａｔを得ればこの検出信号が例えば被
検出物体１の移動速度に対応することとなる。
このようなセンサ装置の速度検出特性を見るために、小
型直流機に厚さ １，５１１１のアルミ板を取り付け、
かつセンサとアルミ板との距離ＪＱを１．５ｍａｎとし
て静特性を調べた。第４図は、アルミ板の移動速度■ｅ
に対する検出信号ｙ ｅ、ｄａｔの特性の測定結果を示
すものである。なお、この場合直流機の回転数６０Ｏｒ
、ｐ、Ｉｌｌがアルミ板の移動速度５．２８ｍ／ ｓｅ
ｃ、に対応する。
型直流機に厚さ １，５１１１のアルミ板を取り付け、
かつセンサとアルミ板との距離ＪＱを１．５ｍａｎとし
て静特性を調べた。第４図は、アルミ板の移動速度■ｅ
に対する検出信号ｙ ｅ、ｄａｔの特性の測定結果を示
すものである。なお、この場合直流機の回転数６０Ｏｒ
、ｐ、Ｉｌｌがアルミ板の移動速度５．２８ｍ／ ｓｅ
ｃ、に対応する。
また、第５図はアルミ板の移動速度を一定とし、センサ
と導体間の距離ＪＱを変化した場合の特性を示す。
と導体間の距離ＪＱを変化した場合の特性を示す。
さらに、第６図は、動特性の１例であり、直流機を速度
Ｏから８０Ｏｒ、＋１．ｆｆｉまで加速し、電流を反転
して逆方向に回転させる等の動作を行なった場合におけ
る直流発電機（タコメータ）の出力と本発明のセンサの
出力とを比較して示すものである。
Ｏから８０Ｏｒ、＋１．ｆｆｉまで加速し、電流を反転
して逆方向に回転させる等の動作を行なった場合におけ
る直流発電機（タコメータ）の出力と本発明のセンサの
出力とを比較して示すものである。
これによれば、本発明に係わるセンυ”装置は橿めて良
好な直線性を有していることがわかる。
好な直線性を有していることがわかる。
ところで、上述の各測定結果の内、特に第５図から明ら
かなように、センサと移動導体間の距離が比較的小さい
範囲では、該距離の変化に対して検出電圧がほぼ１次関
数的に変化していることがわかる。本発明においては、
この点に着目し、移動導体の両側に前述のようにセンサ
装置を配置し、各々のセンサ装置の出力の差をとること
によって距離変化の影響をうけることなく移動導体の速
度の計測を可能にしたものである。また、両者のセンサ
装置の出力の和は距離変化に基づく成分になるから、導
体の位置を計測することが可能になる。
かなように、センサと移動導体間の距離が比較的小さい
範囲では、該距離の変化に対して検出電圧がほぼ１次関
数的に変化していることがわかる。本発明においては、
この点に着目し、移動導体の両側に前述のようにセンサ
装置を配置し、各々のセンサ装置の出力の差をとること
によって距離変化の影響をうけることなく移動導体の速
度の計測を可能にしたものである。また、両者のセンサ
装置の出力の和は距離変化に基づく成分になるから、導
体の位置を計測することが可能になる。
第７図は、導体板の両側にセンサ装置を配置した場合の
検出特性であり、ここでは導体板として特別にひずんだ
しの、すなわちひずみΔＪＬＪが０．８ｍｍのものを使
用した。同図から、２つのセンサ装置の検出出力Ｖｅ、
ｄｅｔ 、 Ａおよび−ｙｅ、ｄｅｔ 。
検出特性であり、ここでは導体板として特別にひずんだ
しの、すなわちひずみΔＪＬＪが０．８ｍｍのものを使
用した。同図から、２つのセンサ装置の検出出力Ｖｅ、
ｄｅｔ 、 Ａおよび−ｙｅ、ｄｅｔ 。
Ｂの差をとることによってひずみの影響がほとんど取り
除かれており、かつ両者の和をとることによって距離変
化に対応した信号が得られていることがわかる。
除かれており、かつ両者の和をとることによって距離変
化に対応した信号が得られていることがわかる。
以上を数式を用いて要約すると、例えば第１センナおよ
び第２ｔ７ンサと導体との距離をそれぞれＪｌ 、４２
とし、かつ第１センナの検出出力をＶｌ 、第２センサ
の検出出力をＶ２とするとＶｌ ＝ｆ ＜、Ｖｅ、Ｊ
ｌ） Ｖ２ ＝ｆ （Ｖｅ 、Ｉ２）。
び第２ｔ７ンサと導体との距離をそれぞれＪｌ 、４２
とし、かつ第１センナの検出出力をＶｌ 、第２センサ
の検出出力をＶ２とするとＶｌ ＝ｆ ＜、Ｖｅ、Ｊ
ｌ） Ｖ２ ＝ｆ （Ｖｅ 、Ｉ２）。
となる。そして、各センサの出力の差、すなわち絶対値
では和を求めることにより速度を検知することがでさる
。すなわら Ｖｌ −Ｖ２ ＝ＫＶｅ （１／Ｊ＋ ＋１／）２）
＝に’ Ｖ（！ となる。また、各センサの出力の和Ｖｌ ＋Ｖ２、絶対
値では差を求めることにより速度ＶＣを一定として位置
計測を行なうことができる。この場合、計測される位置
としては例えば第１センサと導体との距離ｊｃｚ ＜
＝１＋ ）が求められる。なお、位置計測の際にも本発
明のごとく第１および第２のセンサを使用することによ
り導体を横切る磁束の密度が距Ｊｌｌ Ｊ ’Ｊ Ｗに
係わらず一定となり計測の直線性が良くなる。
では和を求めることにより速度を検知することがでさる
。すなわら Ｖｌ −Ｖ２ ＝ＫＶｅ （１／Ｊ＋ ＋１／）２）
＝に’ Ｖ（！ となる。また、各センサの出力の和Ｖｌ ＋Ｖ２、絶対
値では差を求めることにより速度ＶＣを一定として位置
計測を行なうことができる。この場合、計測される位置
としては例えば第１センサと導体との距離ｊｃｚ ＜
＝１＋ ）が求められる。なお、位置計測の際にも本発
明のごとく第１および第２のセンサを使用することによ
り導体を横切る磁束の密度が距Ｊｌｌ Ｊ ’Ｊ Ｗに
係わらず一定となり計測の直線性が良くなる。
さらに、各センサの出力の和成分と差成分とを使用する
ことにより導体の移動速度Ｖｅに無関係に位置計測を行
なうこともできる。すなわち、（Ｖｌ ＋Ｖ２ ）／
（Ｖｌ −Ｖ２ ＞のような演算を行なう演算回路を使
用することにより導体の移動速度に係わりなく高精度の
位置露１測を行なうことができる。
ことにより導体の移動速度Ｖｅに無関係に位置計測を行
なうこともできる。すなわち、（Ｖｌ ＋Ｖ２ ）／
（Ｖｌ −Ｖ２ ＞のような演算を行なう演算回路を使
用することにより導体の移動速度に係わりなく高精度の
位置露１測を行なうことができる。
［発明の効果］
以上のように、本発明によれば、１電性被検出物体の移
動速度を非接触でかつ該被検出物体のひずみ等による影
響を受けることなく高精度で測定することが可能となる
。また、該導電性被検出物体の位置、ひずみ等をも的確
に検知することができる。
動速度を非接触でかつ該被検出物体のひずみ等による影
響を受けることなく高精度で測定することが可能となる
。また、該導電性被検出物体の位置、ひずみ等をも的確
に検知することができる。
第１図＜ａ、）および（ｂ）はそれぞれ本発明の１実施
例に係わる速度・位置センサの原理を示す側面図および
底面図、第１図（Ｃ）および（ｄ ）はそれぞれ本発明
の１実施例に係わるセンサの要部の構成を示す側面図お
よび底面図、第２図は第１図のセンサに接続される検出
回路を示ず電気回路図、第３図（ａ ＞および（ｂ）は
第２図の回路の各部の信号を示す波形図、第４図および
第５図はそれぞれ本発明の１実施例に係わるセンサの速
度検出特性（静特性）および位置検出特性を示すグラフ
、第６図は本発明に係わるセンサの被検出物体を正逆方
向に移動させた場合の特性を示す波形図、そして第７図
は２つのセンサ装置からの出力の和および差を示ザ波形
図である。 １：導電性被検出物体、２．３：Ｅ型コア、４゜５：中
央脚、６．７＝コイル、２１：リングコア、２２、２３
．２４：コイル、２５：磁束検出器、３１：パルス検出
器、３２．３３：ナンブルホールド回路、３４゜３５、
３（３，３７：加算器、３８ニゲイン調節器、３９．４
０：ドライバ。 特許出願人 三す１石油化学工業株式会社代理人 弁理
士 伊 東 辰 雄 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 １２図 １Ｉ３図 φｄ＝ｏ （ａ） （ｂ） ’１４ｍ 第 ５ｒＩＪ −！９ｍｍ
例に係わる速度・位置センサの原理を示す側面図および
底面図、第１図（Ｃ）および（ｄ ）はそれぞれ本発明
の１実施例に係わるセンサの要部の構成を示す側面図お
よび底面図、第２図は第１図のセンサに接続される検出
回路を示ず電気回路図、第３図（ａ ＞および（ｂ）は
第２図の回路の各部の信号を示す波形図、第４図および
第５図はそれぞれ本発明の１実施例に係わるセンサの速
度検出特性（静特性）および位置検出特性を示すグラフ
、第６図は本発明に係わるセンサの被検出物体を正逆方
向に移動させた場合の特性を示す波形図、そして第７図
は２つのセンサ装置からの出力の和および差を示ザ波形
図である。 １：導電性被検出物体、２．３：Ｅ型コア、４゜５：中
央脚、６．７＝コイル、２１：リングコア、２２、２３
．２４：コイル、２５：磁束検出器、３１：パルス検出
器、３２．３３：ナンブルホールド回路、３４゜３５、
３（３，３７：加算器、３８ニゲイン調節器、３９．４
０：ドライバ。 特許出願人 三す１石油化学工業株式会社代理人 弁理
士 伊 東 辰 雄 代理人 弁理士 伊 東 哲 也 １２図 １Ｉ３図 φｄ＝ｏ （ａ） （ｂ） ’１４ｍ 第 ５ｒＩＪ −！９ｍｍ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、導電性被検出物体に近接しかつ該被検出物体をはさ
んで略対称位置に配置され、各々この被検出物体の移動
方向に沿って順に第１、第２および第３の点に対し、第
１と第３の点に上記移動方向と交叉する第１の向きの磁
束を貫通せしめるとともに第２の点に上記第１の向きと
は逆の第２の向きに磁束を通過性しめる第１および第２
の磁気装置と、それぞれ前記被検出物体をはさんで配置
され上記被検出物体の両面において上記第１および第２
の点の中間と第２および第３の点の中間とにそれぞれ発
生する互いに逆向きの起磁力による磁束成分を検出する
第１および第２の磁束検出器とを具備し、該第１および
第２の磁束検出器の出力の差成分にもとづき上記被検出
物体の移動速度を求めることを特徴とする速度センサ。 ２、前記第１および第２の磁気装置の内少なくとも１つ
が、その側脚および中脚の各自由端を前記被検出物体に
向けて配置されたＥ型コアと、上記両側脚をそれぞれ逆
向きに励磁する巻線および直流電源とを有する特許請求
の範囲第１項記載の速度センサ。 ３、前記第１および第２の磁束検出器の内少なくとも１
つが、上記起磁力発生部分の近傍を通る高透磁率材料製
のリングコアと、このリングコアを通過する磁束を検出
する磁気センサとを有する特許請求の範囲第１または２
項記載の速度センサ。 ４、前記磁気センサが、第１ないし第３の少なくとも３
つの巻線を有する前記リングコアと、この第１の巻線に
上記リングコアを飽和するに足るピーク値の交流定電流
を供給する交流電流源と、上記第２の巻線に誘起される
交流電圧に基づき上記リングコア内の交流磁束の正負非
対称性に応じた検出出力を発生する磁束検出回路と、上
記起磁力により生じた磁束を相殺すべく上記第３の巻線
に対し上記検出出力に応じた電流を供給する直流電流源
と、この直流電流源の出力電流を上記起磁力により生じ
た磁束として検出する電流検出回路とを具備する特許請
求の範囲第３項記載の速度センサ。 ５、導電性被検出物体に近接しかつ該被検出物体をはさ
んで略対称位置に配置され、各々この被検出物体の移動
方向に沿って順に第１、第２および第３の点に対し、第
１と第３の点に上記移動方向と交叉する第１の向きの磁
束を貫通せしめるとともに第２の点に上記第１の向きと
は逆の第２の向きに磁束を通過せしめる第１および第２
の磁気装置と、それぞれ前記被検出物体をはさんで配置
され上記被検出物体の両面において上記第１および第２
の点の中間と第２および第３の点の中間とにそれぞれ発
生する互いに逆向きの起磁力による磁束成分を検出する
第１および第２の磁束検出器とを具備し、該第１および
第２の磁束検出器の出力の和成分にもとづき上記被検出
物体の位置を求めることを特徴とする位置センサ。 ６、前記第１および第２の磁気装置の内少なくとも１つ
が、その側脚および中脚の各自由端を前記被検出物体に
向けて配置されたＥ型コアと、上記両側脚をそれぞれ逆
向きに励磁する巻線および直流電源とを有する特許請求
の範囲第５項記載の位置センサ。 ７、前記第１および第２の磁束検出器の内少なくとも１
つが、上記起磁力発生部分の近傍を通る高透磁率材料製
のリングコアと、このリングコアを通過する磁束を検出
する磁気センサとを有する特許請求の範囲第５または６
項記載の位置センサ。 ８、前記磁気センサが、第１ないし第３の少なくとも３
つの巻線を有する前記リングコアと、この第１の巻線に
上記リングコアを飽和するに足るピーク値の交流定電流
を供給する交流電流源と、上記第２の巻線に誘起される
交流電圧に基づき上記リングコア内の交流磁束の正負非
対称性に応じた検出出力を発生する磁束検出回路と、上
記起磁力により生じた磁束を相殺すべく上記第３の巻線
に対し上記検出出力に応じた電流を供給する直流電流源
と、この直流電流源の出力電流を上記起磁力により生じ
た磁束として検出する電流検出回路とを具備する特許請
求の範囲第７項記載の位置センサ。 ９、導電性被検出物体に近接しかつ該被検出物体をはさ
んで略対称位置に配置され、各々この被検出物体の移動
方向に沿って順に第１、第２および第３の点に対し、第
１と第３の点に上記移動方向と交叉する第１の向きの磁
束を貫通せしめるとともに第２の点に上記第１の向きと
は逆の第２の向きに磁束を通過せしめる第１および第２
の磁気装置と、それぞれ前記被検出物体をはさんで配置
され上記被検出物体の両面において上記第１および第２
の点の中間と第２および第３の点の中間とにそれぞれ発
生する互いに逆向きの起磁力による磁束成分を検出する
第１および第２の磁束検出器とを具備し、該第１および
第２の磁束検出器の出力の和成分により求めた信号値を
該第１および第２の磁束検出器の出力差成分により求め
た信号値で除した信号値にもとづき前記被検出物体の位
置を求めることを特徴とする位置センサ。 １０、前記第１および第２の磁気装置の内少なくとも１
つが、その側脚および中脚の各自由端を前記被検出物体
に向けて配置されたＥ型コアと、上記両側脚をそれぞれ
逆向きに励磁する巻線および直流電源とを有する特許請
求の範囲第９項記載の位置センサ。 １１、前記第１および第２の磁束検出器の内少なくとも
１つが、上記起磁力発生部分の近傍を通る高透磁率材料
製のリングコアと、このリングコアを通過する磁束を検
出する磁気センサとを有する特許請求の範囲第９または
１０項記載の位置センサ。 １２、前記磁気センサが、第１ないし第３の少なくとも
３つの巻線を有する前記リングコアと、この第１の巻線
に上記リングコアを飽和するに足るピーク値の交流定電
流を供給する交流電流源と、上記第２の巻線に誘起され
る交流電圧に基づき上記リングコア内の交流磁束の正負
非対称性に応じた検出出力を発生する磁束検出回路と、
上記起磁力により生じた磁束を相殺すべく上記第３の巻
線に対し上記検出出力に応じた電流を供給する直流電流
源と、この直流電流源の出力電流を上記起磁力により生
じた磁束として検出する電流検出回路とを具備する特許
請求の範囲第１１項記載の位置センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60241300A JPH0713643B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | 速度・位置センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60241300A JPH0713643B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | 速度・位置センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62102162A true JPS62102162A (ja) | 1987-05-12 |
| JPH0713643B2 JPH0713643B2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=17072227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60241300A Expired - Lifetime JPH0713643B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | 速度・位置センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0713643B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113260867A (zh) * | 2019-03-01 | 2021-08-13 | 舍弗勒技术股份两合公司 | 用于确定导电的对象的速度或加速度的设备和方法，以及系统 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4928380A (ja) * | 1972-07-05 | 1974-03-13 | ||
| JPS50127673A (ja) * | 1974-03-27 | 1975-10-07 |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP60241300A patent/JPH0713643B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4928380A (ja) * | 1972-07-05 | 1974-03-13 | ||
| JPS50127673A (ja) * | 1974-03-27 | 1975-10-07 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113260867A (zh) * | 2019-03-01 | 2021-08-13 | 舍弗勒技术股份两合公司 | 用于确定导电的对象的速度或加速度的设备和方法，以及系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0713643B2 (ja) | 1995-02-15 |
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