JPS62103308A - 超微粒子の製造装置 - Google Patents
超微粒子の製造装置Info
- Publication number
- JPS62103308A JPS62103308A JP24140885A JP24140885A JPS62103308A JP S62103308 A JPS62103308 A JP S62103308A JP 24140885 A JP24140885 A JP 24140885A JP 24140885 A JP24140885 A JP 24140885A JP S62103308 A JPS62103308 A JP S62103308A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arc
- ultrafine particles
- base material
- poles
- electrodes
- Prior art date
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- Pending
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- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は超微粒子を効率よく製造する装置に関するもの
である。
である。
従来、アークにより超微粒子を製造する装置には、特公
昭５７−４４７２５号あるいは特公昭５８−ｆｉ４１６
６号に記載されているように、水素を含有するガスを用
い、このガス中の水素を溶融金属中に溶解・対流させ、
この水素を放出する機構を利用していたが、製造効率の
点について配慮されていなかった。
昭５７−４４７２５号あるいは特公昭５８−ｆｉ４１６
６号に記載されているように、水素を含有するガスを用
い、このガス中の水素を溶融金属中に溶解・対流させ、
この水素を放出する機構を利用していたが、製造効率の
点について配慮されていなかった。
本発明は上記に鑑みてなされたもので、超微粒子を効率
よく製造する装置を提供することを目的とする。
よく製造する装置を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段〕
上記目的は、電極の一方または両方を超微粒子原材料と
して対向配置するとともに、アーク電流による電磁力が
両極間のアークを偏向させるように両極間に所定の角度
を付与し、母材の蒸気炎の後方から搬送ガスを吹きつけ
、蒸気炎方向に超微粒子を捕集する捕集室を設置するこ
とにより達成される。
して対向配置するとともに、アーク電流による電磁力が
両極間のアークを偏向させるように両極間に所定の角度
を付与し、母材の蒸気炎の後方から搬送ガスを吹きつけ
、蒸気炎方向に超微粒子を捕集する捕集室を設置するこ
とにより達成される。
更に上記目的は、電極の一方または両方を超微粒子原材
料として対向配置するとともに、アーク電流による電磁
力が両極間のアークを偏向させるように両極間に所定の
角度を付与し、母材の蒸気炎の後方および／または前方
から搬送ガスを吹き出し、蒸気炎の方向に設置した超微
粒子を捕集する捕集室へ蒸気炎を搬送し、アーク長を一
定にするため、アーク電圧、母材の重量減の検出あるい
はこれらの子側により、アーク長を一定に制御する制御
装置を設けることにより達成される。
料として対向配置するとともに、アーク電流による電磁
力が両極間のアークを偏向させるように両極間に所定の
角度を付与し、母材の蒸気炎の後方および／または前方
から搬送ガスを吹き出し、蒸気炎の方向に設置した超微
粒子を捕集する捕集室へ蒸気炎を搬送し、アーク長を一
定にするため、アーク電圧、母材の重量減の検出あるい
はこれらの子側により、アーク長を一定に制御する制御
装置を設けることにより達成される。
電極の一方または両方を超微粒子原材料として対向配置
し、両極間でアークを発生させると、超微粒子原材料が
加熱・溶融・蒸発し、超微粒子が生成される。本発明は
、アーク電流によって発生する電磁力を利用し、両極間
のアークを偏向させるよう両極間に所定の角度を付与し
、これにより、電流の大小によって変化する電磁力を超
微粒子の生成及び搬送に利用するもので、超微粒子の製
造効率は大幅に向上する６さらに、母材の蒸気炎の後方
から搬送ガスを吹き付け、又は蒸気炎の方向に搬送ガス
の吹き出し口を設け、蒸気炎の流れを吸引することによ
り、その前方にある捕集室へ超微粒子を搬送する。これ
によりＡイｌ微粒子の製ｉ告効率が四に向−］−すると
共に、搬送ガスにより超微粒子が冷却され、品質の良い
超微粒子を得ることができる。
し、両極間でアークを発生させると、超微粒子原材料が
加熱・溶融・蒸発し、超微粒子が生成される。本発明は
、アーク電流によって発生する電磁力を利用し、両極間
のアークを偏向させるよう両極間に所定の角度を付与し
、これにより、電流の大小によって変化する電磁力を超
微粒子の生成及び搬送に利用するもので、超微粒子の製
造効率は大幅に向上する６さらに、母材の蒸気炎の後方
から搬送ガスを吹き付け、又は蒸気炎の方向に搬送ガス
の吹き出し口を設け、蒸気炎の流れを吸引することによ
り、その前方にある捕集室へ超微粒子を搬送する。これ
によりＡイｌ微粒子の製ｉ告効率が四に向−］−すると
共に、搬送ガスにより超微粒子が冷却され、品質の良い
超微粒子を得ることができる。
以下、本発明の詳細な説明する。第１図は本発明を利用
した超微粒子製造装置の一例である。
した超微粒子製造装置の一例である。
１は超微粒子製造装置のチャンバ、２は水冷されたルツ
ボであり、３は超微粒子を製造する材料（以下母材とい
う）であり、本実施例では水冷ルツボを介し陽極として
いる。４はもう一方の電極であり、材質は母材又はタン
グステンのような電極材料を使用し、本実施例では陰極
としている。
ボであり、３は超微粒子を製造する材料（以下母材とい
う）であり、本実施例では水冷ルツボを介し陽極として
いる。４はもう一方の電極であり、材質は母材又はタン
グステンのような電極材料を使用し、本実施例では陰極
としている。
５は両極間で生じたアーク（蒸気炎）であり、この中に
母材から生成した超微粒子が含まれている。
母材から生成した超微粒子が含まれている。
６は搬送ガスを吹き出すノズルであり、７は搬送ガスを
示す６８は超微粒子の捕集室であり、９はルツボの冷却
水、１０はルツボを、ヒ昇もしくは下降させる駆動部、
１１は駆動部と連結する軸、１２は母材３と電極４との
間に電圧を印加するための電源、１３はガスボンベであ
る。
示す６８は超微粒子の捕集室であり、９はルツボの冷却
水、１０はルツボを、ヒ昇もしくは下降させる駆動部、
１１は駆動部と連結する軸、１２は母材３と電極４との
間に電圧を印加するための電源、１３はガスボンベであ
る。
超微粒子を製造する場合には、まずチャンバ１内を真空
ポンプ（図示せず）により排気する。これは生成された
超微粒子の酸化を防止するためあるいは酸化物超微粒子
の組成を一定にするためである。真空排気後、チャンバ
Ｊ内に雰囲気ガス（アルゴン、ヘリウム、窒素などの不
活性ガス、あるいは水素、メタン、プロパン等の含水素
基・炭素基ガス、あるいはこれらのガスと不活性ガスと
の混合ガス、又は、酸化物超微粒子を製造するためには
酸素基を含んだガス）を所定の圧力まで封入する０次に
母材３と、電極４との間に所定の電流、電圧を付与し、
アーク５を発生させる。アーク５の長さ及び形状は、母
材３と電＋４４の角度及び電流、電圧により決定され１
両極間に流れるアーク電流によって発生する電磁力によ
り図示した長さ及び形状にすることが出来る。アーク５
の中に含まれる蒸気炎を搬送ガス用ノズル６から吹き出
す搬送ガス７（通常は雰囲気ガスを使用）により搬送・
急冷され、超微粒子と搬送ガスの混合流体となり、アー
ク５の炎尾方向に設置された捕集室８により超微粒子は
捕集される。アーク５の長さ及び形状は母材３の表面と
電極４の先端との距離により変化するため、超微粒子の
生成により母材；３が減少し、アーク長が長くなった場
合はルツボの駆動部１ｏを動作させ、軸１１を介してル
ツボを上昇させ、アーク５の長さ及び形状を良好に維持
する。
ポンプ（図示せず）により排気する。これは生成された
超微粒子の酸化を防止するためあるいは酸化物超微粒子
の組成を一定にするためである。真空排気後、チャンバ
Ｊ内に雰囲気ガス（アルゴン、ヘリウム、窒素などの不
活性ガス、あるいは水素、メタン、プロパン等の含水素
基・炭素基ガス、あるいはこれらのガスと不活性ガスと
の混合ガス、又は、酸化物超微粒子を製造するためには
酸素基を含んだガス）を所定の圧力まで封入する０次に
母材３と、電極４との間に所定の電流、電圧を付与し、
アーク５を発生させる。アーク５の長さ及び形状は、母
材３と電＋４４の角度及び電流、電圧により決定され１
両極間に流れるアーク電流によって発生する電磁力によ
り図示した長さ及び形状にすることが出来る。アーク５
の中に含まれる蒸気炎を搬送ガス用ノズル６から吹き出
す搬送ガス７（通常は雰囲気ガスを使用）により搬送・
急冷され、超微粒子と搬送ガスの混合流体となり、アー
ク５の炎尾方向に設置された捕集室８により超微粒子は
捕集される。アーク５の長さ及び形状は母材３の表面と
電極４の先端との距離により変化するため、超微粒子の
生成により母材；３が減少し、アーク長が長くなった場
合はルツボの駆動部１ｏを動作させ、軸１１を介してル
ツボを上昇させ、アーク５の長さ及び形状を良好に維持
する。
第２図は、第１図に示した装置を用い、母材コ３と電極
４との角度Ｏ（以下電極角度という）を１５度から９０
度まで変化させた時の、生成量比の変化を示す。本実施
例は、母材３をニッケル、電極４は、２％トリウ１１人
リタンゲステンで、外径４ ｎｙａ 、雰囲気はアルゴ
ン＋５０％水素の混合ガス、雰囲気圧力は約０．１ＭＰ
ａ、アーク電流１５０Ａ、アーク電圧３５Ｖの条件であ
る。電極角度が９０度、つまり鉛直に設置した場合の生
成量を１とすると、電極角度４０度の位置で生成量比は
２．８ とピーク値を示す。電極角度４０度でピーク値
を示す理由として、雰囲気ガス中に含まれている水素の
働きによりアーク５が熱ピンチにより絞られ、電源１２
から十分な電力を母材３に投入されることと、１５０Ａ
の電流により発生する電磁力に起因してア、−り５が偏
向するため、生成された超微粒子が炎尾方向に飛ばされ
るためと考えられる。これを更に助けるため、第１図に
示した搬送ガス用ノズル６から搬送ガス７を吹き出し、
搬送を助け、急冷すると超微粒子が効率良く製造できる
。この搬送ガス用のノズル６は第３図に示すような位置
で、偏向されたアーク５の炎尾を吸引することにより、
その前方にある捕集室８゜へ超微粒子を搬送・急冷する
ことができる。
４との角度Ｏ（以下電極角度という）を１５度から９０
度まで変化させた時の、生成量比の変化を示す。本実施
例は、母材３をニッケル、電極４は、２％トリウ１１人
リタンゲステンで、外径４ ｎｙａ 、雰囲気はアルゴ
ン＋５０％水素の混合ガス、雰囲気圧力は約０．１ＭＰ
ａ、アーク電流１５０Ａ、アーク電圧３５Ｖの条件であ
る。電極角度が９０度、つまり鉛直に設置した場合の生
成量を１とすると、電極角度４０度の位置で生成量比は
２．８ とピーク値を示す。電極角度４０度でピーク値
を示す理由として、雰囲気ガス中に含まれている水素の
働きによりアーク５が熱ピンチにより絞られ、電源１２
から十分な電力を母材３に投入されることと、１５０Ａ
の電流により発生する電磁力に起因してア、−り５が偏
向するため、生成された超微粒子が炎尾方向に飛ばされ
るためと考えられる。これを更に助けるため、第１図に
示した搬送ガス用ノズル６から搬送ガス７を吹き出し、
搬送を助け、急冷すると超微粒子が効率良く製造できる
。この搬送ガス用のノズル６は第３図に示すような位置
で、偏向されたアーク５の炎尾を吸引することにより、
その前方にある捕集室８゜へ超微粒子を搬送・急冷する
ことができる。
１１’）材：３と電極４との電極角度Ｏの適当な範囲は
第２図からも明らかなように］５度から５０度の間であ
る。この値は主としてアーク電流の値により変化するが
、少なくともアーク電流７０Ａから５０ＯＡまでの範囲
においては前記範囲が好ましい。電極角度が１５度以下
になるとアークスタートが非常に困難となり、アーク発
生時の溶融面の微小変化に対してアーク維持が困難で、
かつ不安定となり、アーク切れを起しやすくなる。また
、５０度以上になると超微粒子の製造効率が大きく低下
する。
第２図からも明らかなように］５度から５０度の間であ
る。この値は主としてアーク電流の値により変化するが
、少なくともアーク電流７０Ａから５０ＯＡまでの範囲
においては前記範囲が好ましい。電極角度が１５度以下
になるとアークスタートが非常に困難となり、アーク発
生時の溶融面の微小変化に対してアーク維持が困難で、
かつ不安定となり、アーク切れを起しやすくなる。また
、５０度以上になると超微粒子の製造効率が大きく低下
する。
第２図の実施例では母材がニッケルの例を示したが、他
の材料でも同様な効率が認められた。実施例を表に示す
。
の材料でも同様な効率が認められた。実施例を表に示す
。
表は、電極は２％トリウム入りタングステンで外径４ｍ
ｍ、ｆｆ囲気はアルゴン＋５０％水素の混合ガス、雰囲
気圧力は約０．１ＭＰａ、アーク電流２００Ａ、アーク
電圧３５〜４０Ｖの条件である。
ｍ、ｆｆ囲気はアルゴン＋５０％水素の混合ガス、雰囲
気圧力は約０．１ＭＰａ、アーク電流２００Ａ、アーク
電圧３５〜４０Ｖの条件である。
第２図の場合と同様しこ、電極角度が９０度の生成量を
１とした場合、電極角度４５の生成量比を示す。
１とした場合、電極角度４５の生成量比を示す。
また、搬送ガス用ノズル６は第３図に示した位置に置き
、搬送ガスは雰囲気ガスと同じ組成のガスを用い、搬送
ガス流景は１００ ｆｌ ／ｗｉｎとした場合の実施例
である。表から明らかなように、各種の材料でも本発明
の効果は認められた。
、搬送ガスは雰囲気ガスと同じ組成のガスを用い、搬送
ガス流景は１００ ｆｌ ／ｗｉｎとした場合の実施例
である。表から明らかなように、各種の材料でも本発明
の効果は認められた。
電極４の材料に、Ｗ、Ｔａのように溶融温度の高い材料
を用いて超微粒子を生成するのが一般的であるが、同種
材料を母材３と電極４の両極に用いると更に純度の高い
超微粒子を得ることができる。また２種以上の金属が混
合または合金化した超微粒子を得るには、合金原材料の
母材または電極を用いたり、両極の材質を変えることで
可能となる。３ ｊＣ＋ Ｔ、］−Ｃなどの炭化物、Ｔ
ｉＮ。
を用いて超微粒子を生成するのが一般的であるが、同種
材料を母材３と電極４の両極に用いると更に純度の高い
超微粒子を得ることができる。また２種以上の金属が混
合または合金化した超微粒子を得るには、合金原材料の
母材または電極を用いたり、両極の材質を変えることで
可能となる。３ ｊＣ＋ Ｔ、］−Ｃなどの炭化物、Ｔ
ｉＮ。
ＳｉｇＮ＋などの窒化物、 ＡＱｚＯｓ、ＳｎＯ２，な
どの酸化物などの化合物超微粒子を生成するためには、
雰囲気にそれぞれ、炭素基、窒素基、酸素基を含むガス
を混合すれば良い。
どの酸化物などの化合物超微粒子を生成するためには、
雰囲気にそれぞれ、炭素基、窒素基、酸素基を含むガス
を混合すれば良い。
超微粒子の生成量は極性により変化するが、本実施例と
逆の極性を持つ直流、または交流の電流を用いて生成す
ることもできる。
逆の極性を持つ直流、または交流の電流を用いて生成す
ることもできる。
蒸気炎の後方または前方から吹き出させる搬送ガスの吹
き出し口の位置は、捕集室８の方向が良い。また搬送ガ
スの種類は、通常は雰囲気ガスと同じガスを用いるが、
ガスの種類を変化させても可能である。′８囲気圧力は
通常はほぼ大気圧で行うが、′低圧あるいは高圧におい
ても超微粒子の製造は可能である。
き出し口の位置は、捕集室８の方向が良い。また搬送ガ
スの種類は、通常は雰囲気ガスと同じガスを用いるが、
ガスの種類を変化させても可能である。′８囲気圧力は
通常はほぼ大気圧で行うが、′低圧あるいは高圧におい
ても超微粒子の製造は可能である。
生成量の増大を計るには、母材あるいは／または電極を
複数個配置し、電極の一方は共通電位にし、搬送ガスの
吹き出し口も複数個配置し、その前方に捕集室（これは
１ケ所でも可）を設置すると、電極数に比例した生成量
の増大が可能である。
複数個配置し、電極の一方は共通電位にし、搬送ガスの
吹き出し口も複数個配置し、その前方に捕集室（これは
１ケ所でも可）を設置すると、電極数に比例した生成量
の増大が可能である。
生成される超微粒子の大きさは、従来の水素アーク法で
生成すると、蒸気炎がアークにより再加熱され、大きく
成長するが、本発明の方法によれば、アーク電流により
発生する電磁力が、アークを偏向させ、蒸気炎をアーク
の高温部から早く遠ざけられ、さらに前方または後方か
ら搬送ガスを吹き出し、蒸気炎を急冷するため、従来の
水素アーク法と比較して粒径が小さく、しかも粒径のば
らつきも小さくなる。
生成すると、蒸気炎がアークにより再加熱され、大きく
成長するが、本発明の方法によれば、アーク電流により
発生する電磁力が、アークを偏向させ、蒸気炎をアーク
の高温部から早く遠ざけられ、さらに前方または後方か
ら搬送ガスを吹き出し、蒸気炎を急冷するため、従来の
水素アーク法と比較して粒径が小さく、しかも粒径のば
らつきも小さくなる。
第４図は更に他の実施例で、制御装置１４を付加したも
のである。具体的には、制御表＠１４はアーク電圧を検
出し、この電圧が所定の値になるようにアーク長を制御
する装置で、駆動部１０に対しルツボ２を上昇もしくは
下降させる信号を出力する（なお、制御装置１４は母材
３の重量を検出することによってアーク長を一定にする
制御装置もしくは条件を入力して母材３の重量減を予測
し、アーク長を一定にする制御装置であってもよい）。
のである。具体的には、制御表＠１４はアーク電圧を検
出し、この電圧が所定の値になるようにアーク長を制御
する装置で、駆動部１０に対しルツボ２を上昇もしくは
下降させる信号を出力する（なお、制御装置１４は母材
３の重量を検出することによってアーク長を一定にする
制御装置もしくは条件を入力して母材３の重量減を予測
し、アーク長を一定にする制御装置であってもよい）。
上記構成により、アーク５の長さ及び形状は母材３の表
面と電極４の先端との距離により変化するため、制御装
置１４によりアーク電圧を検出し、制御装置１４に設定
された基準電圧と比較し、基準電圧に合うようにルツボ
駆動部１０を′ｆＪ！６整し、軸１１を上下して一定の
電圧を保つようにする。
面と電極４の先端との距離により変化するため、制御装
置１４によりアーク電圧を検出し、制御装置１４に設定
された基準電圧と比較し、基準電圧に合うようにルツボ
駆動部１０を′ｆＪ！６整し、軸１１を上下して一定の
電圧を保つようにする。
これにより良好なアーク５の長さ及び形状を維持するこ
とができる。
とができる。
本発明によれば、電極の一方または両方を超微粒子の原
材料として対向配置するとともにアーク電流による電磁
力が両極間のアークを偏向させるように両極間に適当な
角度を付与し、母材の蒸気炎の後方または前方から搬送
ガスを吹き出し、かつ蒸気炎方向に超微粒子を捕集する
捕集室を設けることにより、従来の水素アーク加熱法と
比較して２〜２０倍の高効率で超微粒子を製造できる効
果がある。
材料として対向配置するとともにアーク電流による電磁
力が両極間のアークを偏向させるように両極間に適当な
角度を付与し、母材の蒸気炎の後方または前方から搬送
ガスを吹き出し、かつ蒸気炎方向に超微粒子を捕集する
捕集室を設けることにより、従来の水素アーク加熱法と
比較して２〜２０倍の高効率で超微粒子を製造できる効
果がある。
第１図から第４図は本発明に係わる超微粒子の製造装置
の説明図で、第１図は超微粒子の製造装置の概要図、第
２図は超微粒子生成量に及ぼす電極角度の影響の説明図
、第３図は装置の他の実施例の部分図、第４図は装置の
更に他の実施例の概要図である。 １・・・チャンバ、２・・・ルツボ、３・・・母材、４
・・・電極、５・・・アーク、６・・・搬送ガス吹き出
し口、７・・・搬送ガス、８・・・捕集室、１０・・・
駆動部、１２・・・電源１４・・・制御装置。
の説明図で、第１図は超微粒子の製造装置の概要図、第
２図は超微粒子生成量に及ぼす電極角度の影響の説明図
、第３図は装置の他の実施例の部分図、第４図は装置の
更に他の実施例の概要図である。 １・・・チャンバ、２・・・ルツボ、３・・・母材、４
・・・電極、５・・・アーク、６・・・搬送ガス吹き出
し口、７・・・搬送ガス、８・・・捕集室、１０・・・
駆動部、１２・・・電源１４・・・制御装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、蒸発させる母材と電極間でアークを発生させて超微
粒子を製造する装置において、電極の一方または両方を
超微粒子原材料として対向配置するとともにアーク電流
による電磁力が両極間のアークを偏向させるように両極
間に所定の角度を付与し、母材の蒸気炎の後方に吹出し
口を設けて搬送ガスを吹き付け、蒸気炎方向に超微粒子
を捕集する捕集室を設けたことを特徴とする超微粒子の
製造装置。 ２、特許請求の範囲第１項のものにおいて、母材の蒸気
炎の方向に搬送ガスの吹き出し口を設け、蒸気炎の流れ
を吸引することにより、その前方にある捕集室へ超微粒
子を搬送することを特徴とする超微粒子の製造装置。 ３、特許請求の範囲第１項のものにおいて、アーク電流
による電磁力が両極間のアークを偏向させるように両極
間に付与する角度を１５度から５０度の間に設定するこ
とを特徴とする超微粒子の製造装置。 ４、蒸発させる母材と電極間でアークを発生させて超微
粒子を製造する装置において、電極の一方または両方を
超微粒子原材料として対向配置するとともにアーク電流
による電磁力が両極間のアークを偏向させるように両極
間に所定の角度を付与し、母材の蒸気炎の後方および／
または前方から搬送ガスを吹き出し、蒸気炎の方向に設
置した超微粒子を捕集する捕集室へ蒸気炎を搬送し、ア
ーク長を一定にするための手段を設けたことを特徴とす
る超微粒子の製造装置。 ５、特許請求の範囲第４項のものにおいて、アーク長を
一定にするための手段が、アーク電圧を検知しアーク電
圧を一定にする制御装置であることを特徴とする超微粒
子の製造装置。 ６、特許請求の範囲第４項のものにおいて、手段が、母
材の重量減少を検知して、アーク長を一定にする制御装
置であることを特徴とする超微粒子の製造装置。 ７、特許請求の範囲第４項のものにおいて、アーク長を
一定にする手段が、超微粒子生成条件と母材の重量減と
の関係を予測して、アーク長を一定にする制御装置であ
ることを特徴とする超微粒子の製造装置。 ８、特許請求の範囲第４項のものにおいて、アーク電流
による電磁力が両極間のアークを偏向させるように両極
間に付与する角度を１５度から５０度の間に設定するこ
とを特徴とする超微粒子の製造装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24140885A JPS62103308A (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | 超微粒子の製造装置 |
| US06/898,600 US4732369A (en) | 1985-10-30 | 1986-08-21 | Arc apparatus for producing ultrafine particles |
| EP86111902A EP0220420B1 (en) | 1985-10-30 | 1986-08-28 | Apparatus for producing ultrafine particles |
| DE8686111902T DE3687157T2 (de) | 1985-10-30 | 1986-08-28 | Vorrichtung zur herstellung von ultrafeinen pulvern. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24140885A JPS62103308A (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | 超微粒子の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62103308A true JPS62103308A (ja) | 1987-05-13 |
Family
ID=17073841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24140885A Pending JPS62103308A (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | 超微粒子の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62103308A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013007096A (ja) * | 2011-06-24 | 2013-01-10 | Shoei Chem Ind Co | 金属粉末製造用プラズマ装置 |
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